A. Kiʻekiʻe sputtering rate. No ka laʻana, i ka sputtering SiO2, hiki i ka helu deposition ke piʻi i 200nm / min, maʻamau a hiki i 10 ~ 100nm / min. A ʻo ka wikiwiki o ka hoʻokumu ʻana i ke kiʻiʻoniʻoni e pili pono ana i ka mana alapine kiʻekiʻe. B. ʻOi aku ka nui o ka pili ʻana ma waena o ke kiʻiʻoniʻoni a me ka substrate ma mua o ka vacuum vap ...
ʻO nā laina hana kiʻiʻoniʻoni kukui kaʻa he ʻāpana koʻikoʻi o ka ʻoihana hana kaʻa. ʻO kēia mau laina hana ke kuleana no ka uhi ʻana a me ka hana ʻana i nā kiʻi ʻoniʻoni kukui kaʻa, kahi mea koʻikoʻi i ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka aesthetics a me ka hana o nā kukui kaʻa. E like me ke koi ʻana no ke kūlana kiʻekiʻe ...
Hoʻopili ka Magnetron sputtering i ka lawe plasma hoʻokuʻu, etching target, deposition kiʻiʻoniʻoni ʻoniʻoni a me nā kaʻina hana ʻē aʻe, e loaʻa ka hopena i ke kahua magnetic ma ke kaʻina hana sputtering magnetron. I ka ʻōnaehana sputtering magnetron me ke kahua magnetic orthogonal, pili nā electrons i ka ...
Loaʻa i ka mīkini hoʻoheheʻe ʻana i ka ʻenekini ma lalo o nā koi kumu: (1) Pono e loaʻa i ka ʻōnaehana hoʻoheheʻe ʻana i ka nui o ka pumping rate, ʻaʻole pono e hoʻokuʻu wale i nā kinoea i hoʻokuʻu ʻia mai ka substrate a me nā mea evaporated a me nā mea i loko o ka vacuum ch...
Ke hoʻohana nei ka mīkini hoʻoheheʻe PVD nani i kahi kaʻina i kapa ʻia ʻo Physical Vapor Deposition (PVD) e hoʻopili i kahi uhi lahilahi akā lōʻihi ma luna o nā ʻāpana nani. ʻO kēia kaʻina hana i ka hoʻohana ʻana i nā pahu metala paʻa maʻemaʻe kiʻekiʻe, i hoʻoheheʻe ʻia i loko o kahi kaʻawale. ʻO ka mahu metala i loaʻa a laila cond...
ʻO kekahi o nā pōmaikaʻi nui o nā mīkini hoʻoheheʻe PVD liʻiliʻi liʻiliʻi ko lākou versatility. Hoʻolālā ʻia kēia mau mīkini e hoʻokipa i nā ʻano nui a me nā ʻano like ʻole o ka substrate, e hoʻolilo iā lākou i mea kūpono no nā kaʻina hana liʻiliʻi a i ʻole ka hana maʻamau. Hoʻohui ʻia, kona nui compact a me ka hoʻopili maʻalahi ...
I loko o ka ʻoihana hana e ulu mau nei, hana nui nā mea hana ʻoki i ka hana ʻana i nā huahana a mākou e hoʻohana ai i kēlā me kēia lā. Mai ka ʻoki pololei ʻana i ka ʻoihana aerospace a hiki i nā hoʻolālā paʻakikī i ka lāʻau lapaʻau, e piʻi mau ana ke koi no nā mea ʻoki kiʻekiʻe. No ka hoʻokō ʻana i kēia koi, ʻo mākou ...
I ka hoʻomaka ʻana o ka waiho ʻana o nā ʻātoma membrane, loaʻa i ka pōʻino ion nā hopena ma hope o ka membrane/substrate interface. (1) Hui kino. Ma muli o ke kiʻekiʻe o ka ikehu ion injection, sputtering o nā ʻātoma waiho ʻia a me ka hoʻihoʻi ʻana o nā ʻāpana o ka ʻili a me ka hanana cascade collision, wi ...
ʻO ka sputtering kahi hanana i paʻi ai nā ʻāpana ikaika (maʻa mau iona maikaʻi o nā kinoea) i ka ʻili o kahi paʻa (i kapa ʻia ma lalo o ka mea i hoʻopaʻa ʻia), e hoʻoheheʻe ai i nā ʻātoma (a i ʻole nā mole) ma ka ʻili o ka mea paʻa. Ua ʻike ʻia kēia ʻano e Grove i ka makahiki 1842 i ka wā ...
ʻO nā hiʻohiʻona o ka uhi ʻana o ka magnetron sputtering (3) ʻO ka haʻahaʻa haʻahaʻa o ka ikehu. Ma muli o ka haʻahaʻa cathode voltage i hoʻopili ʻia i ka pahu hopu, ua hoʻopaʻa ʻia ka plasma e ke kahua magnetic ma kahi kokoke i ka cathode, no laila ke kāohi nei i nā ʻāpana kiʻekiʻe o ka ikehu i ka ʻaoʻao o ka poʻe substrate pana. ʻO ka...
Ke hoʻohālikelike ʻia me nā ʻenehana hoʻonaninani ʻē aʻe, ʻike ʻia ka magnetron sputtering coating e nā hiʻohiʻona aʻe: ʻo nā ʻāpana hana i ka nui o ka hoʻololi hoʻololi ʻana o ka wikiwiki deposition coating a me ka mānoanoa (ke kūlana o ka wahi i uhi ʻia) hiki ke maʻalahi, a ʻaʻohe hoʻolālā ...
ʻO ka ʻenehana hoʻoheheʻe i kōkua ʻia e ka Ion beam ʻo ia ka ʻenehana hoʻoheheʻe ion beam a me ka ʻenehana hoʻoheheʻe ʻana i ka mahu i hui pū ʻia me ka ʻenehana hoʻoheheʻe ʻia o ka ion surface composite. I ke kaʻina hana o ka ili hoʻololi o ka ion injected mea, ina semiconductor mea a me 'enekinia mea, He o...
I nā makahiki i hala iho nei, ua hana ʻia ka holomua nui a me nā holomua ma ke kahua o ka ʻenehana hoʻoheheʻe ʻana. Hiki wale kēia ma muli o nā hana luhi ʻole i ka hoʻokolohua a me ka noiʻi. Ma waena o nā mīkini he nui i hoʻohana ʻia ma kēia kahua, ʻo nā mīkini hoʻoheheʻe hoʻokolohua hoʻokolohua nā mea hana nui no ka loaʻa ʻana o ...
Hoʻokumu ʻia ka ʻenehana CVD i ka hopena kemika. ʻO ka pane i loko o ke kinoea a ʻo kekahi o nā huahana i loko o ke kūlana paʻa i kapa ʻia ʻo CVD reaction, no laila e hoʻokō kāna ʻōnaehana kemika i nā kūlana ʻekolu. (1) I ka manawa hoʻopaʻa ...
I kēia ao wikiwiki, ua lilo nā aniani i mea nui o ko mākou ola. Ua ulu kēia mau mea hana maʻalahi mai ka pono a hiki i ka ʻōlelo hoʻohālike. Eia nō naʻe, ʻaʻole ʻike ka nui o ka poʻe i ke kaʻina hana paʻakikī i ka hana ʻana i nā aniani aniani maikaʻi loa. ʻO kēia ka w...