’S e còmhdach PVD aon de na prìomh theicneòlasan airson stuthan film tana ullachadh
Bheir an còmhdach film inneach meatailt agus dath beairteach do uachdar an toraidh, leasaichidh e strì an aghaidh caitheamh agus strì an aghaidh creimeadh, agus leudaichidh e fad-beatha an toraidh.
Is e sputtering agus falmhachadh falamh an dà dhòigh còmhdach PVD as mòr-chòrdte.
1. Mìneachadh
'S e seòrsa de dhòigh fàis ath-bhualadh smùid corporra a th' ann an tasgadh smùid corporra. Tha am pròiseas tasgadh air a dhèanamh fo chumhachan falamh no sgaoilidh gas cuideam ìosal, is e sin, ann am plasma teòthachd ìosal.
’S e stuth cruaidh stòr an còmhdach. Às dèidh “falmhachadh no spùtadh”, thèid còmhdach stuth cruaidh ùr a chruthachadh air uachdar a’ phàirt, agus tha e gu tur eadar-dhealaichte bho choileanadh an stuth bunaiteach.
2, Pròiseas bunaiteach còmhdach PVD
1. Sgaoileadh mìrean bho stuthan amh (tro ghalachadh, fo-shruthadh, spùtadh agus lobhadh);
2. Tha na mìrean air an giùlan chun an t-substrate (bidh mìrean a’ bualadh ri chèile, agus mar thoradh air sin bidh ianachadh, ath-cho-chur, ath-bhualadh, iomlaid lùtha agus atharrachadh stiùireadh gluasaid ann);
3. Bidh na mìrean a’ dlùthachadh, a’ niùclasachadh, a’ fàs agus a’ cruthachadh film air an t-substrate.
Àm puist: 31 Faoilleach 2023