Ann an raon teicneòlas tasgadh film tana, tha sputtering magnetron siolandair air a thighinn gu bhith na dhòigh èifeachdach agus ioma-chruthach. Tha an teicneòlas ùr-ghnàthach seo a’ toirt dòigh do luchd-rannsachaidh agus proifeiseantaich gnìomhachais filmichean tana a thasgadh le mionaideachd agus cunbhalachd air leth. Tha sputtering magnetron siolandair air a chleachdadh gu farsaing ann an diofar ghnìomhachasan agus tha e ag ath-bhualadh a’ phròiseis tasgadh film tana.
'S e teicneòlas tasgadh smùid corporra a th' ann an sputtering magnetron siolandair, ris an canar cuideachd còmhdach sputtering magnetron siolandair. Tha a phrionnsabal obrach a' toirt a-steach cruthachadh plasma anns a bheil ianan air an luathachadh a dh'ionnsaigh stuth targaid agus a' cur a-mach na dadaman aige. Tha na dadaman sin an uairsin air an tasgadh air fo-strat gus film tana a chruthachadh.
Is e aon de na prìomh bhuannachdan a tha an lùib spùtadh magnetron siolandair an comas ìrean àrda tasgaidh a choileanadh agus càileachd film sàr-mhath a chumail suas. Eu-coltach ri dòighean spùtadh traidiseanta, a bhios gu tric a’ leantainn gu càileachd film nas ìsle aig ìrean tasgaidh nas àirde, bidh spùtadh magnetron siolandair a’ dèanamh cinnteach gu bheil ionracas agus co-dhèanamh film air an cumail suas tron phròiseas tasgaidh.
A bharrachd air sin, leigidh dealbhadh siolandair catod a’ mhaighneatròin le sgaoileadh plasma is achaidh mhaighneataich nas cunbhalaiche, agus mar sin a’ neartachadh cunbhalachd an fhilm. Tha an cunbhalachd seo deatamach airson tagraidhean a dh’ fheumas feartan film cunbhalach thar uachdar an t-substrate gu lèir. Tha gnìomhachasan leithid optaig, eileagtronaig agus lùth na grèine air buannachd mhòr fhaighinn bho chomasan adhartach sputtering mhaighneatròin siolandair.
Tha cleachdadh sputtering magnetron siolandair a’ dol nas fhaide na cleachdaidhean traidiseanta. Tha luchd-rannsachaidh agus innleadairean an-còmhnaidh a’ sgrùdadh dhòighean ùra air an teicneòlas seo a chleachdadh ann an raointean ùr-nodha leithid nanoteicneòlas agus bith-leighis. Tha an comas smachd a chumail gu mionaideach air paramadairean tasgaidh, leithid co-dhèanamh gas, cuideam agus cumhachd, a’ leigeil le filmichean gnàthaichte a chruthachadh le feartan sònraichte a tha freagarrach airson cleachdaidhean sònraichte.
Tha toirt a-steach gasaichean ath-ghnìomhach a’ leudachadh comasan sputtering magnetron siolandair. Le bhith a’ toirt a-steach gasaichean ath-ghnìomhach leithid naitridean no ogsaidean, faodar co-dhèanamh a thasgadh no faodar co-dhèanamh film tana le feartan sònraichte a thoirt gu buil. Tha seo a’ fosgladh shlighean ùra gus stuthan adhartach a sgrùdadh le gnìomhachd nas fheàrr, leithid strì an aghaidh caitheamh nas fheàrr, cruas nas motha no strì an aghaidh creimeadh nas fheàrr.
A bharrachd air sin, faodar am pròiseas sputtering magnetron siolandair a leudachadh gu furasta, ga dhèanamh freagarrach airson tagraidhean gnìomhachais air sgèile mhòr. Tha an comas sgèileachaidh seo, còmhla ri a èifeachdas agus a ioma-chruthachd, air leantainn gu barrachd gabhail ris an teicneòlas seo le gnìomhachasan a dh’ fheumas filmichean tana a bhith air an tasgadh rè phròiseasan saothrachaidh.
Coltach ri teicneòlas adhartach sam bith, tha oidhirpean rannsachaidh is leasachaidh leantainneach a’ leantainn air adhart a’ leasachadh comasan sputtering magnetron siolandair. Tha luchd-rannsachaidh ag obair gus paramadairean a’ phròiseis a leasachadh, stuthan targaid a bharrachadh agus dealbhadh catod eile a sgrùdadh gus èifeachdas tasgadh agus coileanadh iomlan na teicneòlais a leasachadh tuilleadh.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 26 Dàmhair 2023