I. Aperçu
Un dispositif de revêtement optique planaire de grande taille permet de déposer uniformément une couche mince sur la surface d'un élément optique plan. Ces couches sont souvent utilisées pour améliorer les performances des composants optiques, notamment en matière de réflexion, de transmission, d'antireflet, de filtrage, de miroir, etc. Cet équipement est principalement utilisé dans les secteurs de l'optique, du laser, de l'affichage, des communications, de l'aérospatiale et autres.
Deuxièmement, le principe de base du revêtement optique
Le revêtement optique est une technique qui modifie les propriétés optiques d'un élément optique (tel qu'une lentille, un filtre, un prisme, une fibre optique, un écran, etc.) en déposant une ou plusieurs couches de matériau (généralement du métal, de la céramique ou de l'oxyde) à sa surface. Ces couches peuvent être réfléchissantes, translucides, antireflets, etc. Les méthodes de revêtement les plus courantes sont le dépôt physique en phase vapeur (PVD), le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt par pulvérisation cathodique, le revêtement par évaporation, etc.
Troisièmement, la composition de l’équipement
Les grands équipements de revêtement optique planaire comprennent généralement les pièces principales suivantes :
Chambre de revêtement : Il s'agit de l'élément central du processus de revêtement et il s'agit généralement d'une chambre à vide. Le revêtement est réalisé en contrôlant le vide et l'atmosphère. Afin d'améliorer la qualité du revêtement et de contrôler l'épaisseur du film, il est nécessaire de contrôler précisément l'environnement de la chambre de revêtement.
Source d'évaporation ou source de pulvérisation :
Source d'évaporation : Le matériau à déposer est chauffé jusqu'à un état vaporisé, généralement par évaporation par faisceau d'électrons ou évaporation thermique, puis déposé sur l'élément optique sous vide.
Source de pulvérisation : En impactant la cible avec des ions à haute énergie, les atomes ou molécules de la cible sont pulvérisés, qui se déposent finalement sur la surface optique pour former un film.
Système rotatif : L'élément optique doit être tourné pendant le processus de revêtement afin de garantir une répartition uniforme du film sur sa surface. Le système rotatif garantit une épaisseur de film constante tout au long du processus.
Système de vide : Le système de vide est utilisé pour fournir un environnement à basse pression, généralement via un système de pompe pour aspirer la chambre de revêtement, garantissant que le processus de revêtement n'est pas perturbé par les impuretés présentes dans l'air, ce qui donne un film de haute qualité.
Systèmes de mesure et de contrôle : comprenant des capteurs pour surveiller l'épaisseur du film (tels que les capteurs QCM), le contrôle de la température, la régulation de la puissance, etc., pour contrôler avec précision le processus de revêtement.
Système de refroidissement : La chaleur générée pendant le processus de revêtement peut affecter la qualité du film et l'intégrité de l'élément optique. Un système de refroidissement efficace est donc nécessaire pour maintenir un environnement de température stable.
4. Champ d'application
Fabrication de composants optiques : Les équipements de revêtement sont largement utilisés dans la production de composants optiques tels que les lentilles optiques, les microscopes, les télescopes et les objectifs d'appareil photo. Grâce à différents types de revêtements, les éléments optiques peuvent être optimisés pour l'antireflet, l'antireflet, la réflexion spéculaire, le filtrage, etc., afin d'améliorer la qualité d'image, la luminosité et le contraste.
Technologie d'affichage : Dans le processus de production d'écrans à cristaux liquides (LCD), de diodes électroluminescentes organiques (OLED) et d'autres écrans, la technologie de revêtement est utilisée pour améliorer l'effet d'affichage, améliorer la couleur, le contraste et la capacité antireflet.
Équipement laser : Dans le processus de fabrication des lasers et des composants optiques laser (tels que les lentilles laser, les miroirs, etc.), la technologie de revêtement est utilisée pour ajuster les caractéristiques de réflexion et de transmission du laser afin de garantir la production d'énergie et la qualité de transmission du laser.
Photovoltaïque solaire : Lors de la production de panneaux solaires, un revêtement optique est utilisé pour améliorer le rendement de conversion photoélectrique. Par exemple, l'application d'une couche antireflet à la surface des matériaux photovoltaïques peut réduire la perte de lumière et ainsi améliorer les performances des cellules solaires.
Aérospatiale : Dans le domaine aérospatial, les lentilles optiques, les capteurs optiques, les télescopes et autres équipements doivent être revêtus pour améliorer leur résistance aux radiations, leur résistance aux hautes températures et leur effet antireflet afin de garantir le fonctionnement normal des équipements dans des environnements difficiles.
Capteurs et instruments : Utilisés pour la fabrication d'instruments de précision, de capteurs infrarouges, de capteurs optiques et d'autres équipements, les revêtements peuvent améliorer leurs performances. Par exemple, les capteurs infrarouges nécessitent souvent un revêtement spécifique pour filtrer et laisser passer efficacement des longueurs d'onde lumineuses spécifiques.
V. Défis technologiques et tendances de développement
Contrôle de la qualité du film : Dans les grands équipements de revêtement optique planaire, garantir l'uniformité et la cohérence du film constitue un problème technique. De légères variations de température, de composition du gaz ou de pression pendant le processus de revêtement peuvent affecter la qualité du film.
Technologie de revêtement multicouche : les composants optiques hautes performances nécessitent souvent des systèmes de films multicouches, et l'équipement de revêtement doit être capable de contrôler avec précision l'épaisseur et la composition du matériau de chaque film pour obtenir l'effet optique souhaité.
Intelligent et automatisé : avec l'avancement de la technologie, les futurs équipements de revêtement seront plus intelligents et automatisés, capables de surveiller et d'ajuster divers paramètres du processus de revêtement en temps réel, d'améliorer l'efficacité de la production et la qualité du produit.
Protection de l'environnement et économies d'énergie : Face aux exigences strictes de la réglementation environnementale, les équipements de revêtement optique doivent réduire leur consommation d'énergie et leurs émissions de substances nocives. Parallèlement, le développement de matériaux et de procédés de revêtement plus respectueux de l'environnement constitue un axe de recherche important.
Équipement de revêtement optique par pulvérisation magnétron continue SOM2550
Avantages de l'équipement :
Haut degré d'automatisation, grande capacité de chargement, excellentes performances du film
La transmission de la lumière visible peut atteindre 99 %
Dureté super dure AR + AF jusqu'à 9H
Application : Produit principalement des AR/NCVM+DLC+AF, ainsi que des rétroviseurs intelligents, des écrans de voiture/verres de protection d'écran tactile, des filtres AR ultra-durs pour caméra, IR-CUT et autres filtres, la reconnaissance faciale et d'autres produits.
–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 24 janvier 2025