I. Yleiskatsaus
Suuri tasomainen optinen pinnoituslaite on laite ohuen kalvon tasaiseksi kerrostamiseksi tasomaisen optisen elementin pinnalle. Näitä kalvoja käytetään usein optisten komponenttien suorituskyvyn parantamiseen, kuten heijastukseen, läpäisyyn, heijastuksenestoon, suodatukseen, peiliin ja muihin toimintoihin. Laitteita käytetään pääasiassa optiikan, lasereiden, näyttöjen, tietoliikenteen, ilmailu- ja avaruusteollisuuden sekä muiden teollisuudenalojen aloilla.
Toiseksi, optisen pinnoitteen perusperiaate
Optinen pinnoitus on tekniikka, joka muuttaa optisen elementin (kuten linssin, suodattimen, prisman, optisen kuidun, näytön jne.) optisia ominaisuuksia kerrostamalla sen pinnalle yksi tai useampi materiaalikerros (yleensä metalli, keraaminen tai oksidi). Nämä kalvokerrokset voivat olla heijastavaa kalvoa, läpäisykalvoa, heijastamatonta kalvoa jne. Yleisiä pinnoitusmenetelmiä ovat fysikaalinen höyrypinnoitus (PVD), kemiallinen höyrypinnoitus (CVD), sputterointipinnoitus, höyrystyspinnoitus ja niin edelleen.
Kolmanneksi, laitteiden koostumus
Suuret tasomaiset optiset pinnoituslaitteet sisältävät yleensä seuraavat pääosat:
Pinnoituskammio: Tämä on pinnoitusprosessin ydinosa ja yleensä tyhjiökammio. Pinnoitus suoritetaan säätämällä tyhjiötä ja ilmakehää. Pinnoituslaadun parantamiseksi ja kalvon paksuuden säätämiseksi on tarpeen säätää pinnoituskammion ympäristöä tarkasti.
Höyrystyslähde tai sputterointilähde:
Höyrystyslähde: Kerrostettava materiaali kuumennetaan höyrystyneeseen tilaan, yleensä elektronisuihkuhaihdutuksella tai lämpöhaihdutuksella, ja sitten se kerrostetaan optiselle elementille tyhjiössä.
Sputterointilähde: Kohteeseen kohdistetaan korkeaenergisiä ioneja, joiden avulla kohteen atomit tai molekyylit sputteroituvat ja lopulta kerrostuvat optiselle pinnalle kalvon muodostamiseksi.
Pyörivä järjestelmä: Optista elementtiä on pyöritettävä pinnoitusprosessin aikana, jotta kalvo jakautuu tasaisesti sen pinnalle. Pyörivä järjestelmä varmistaa tasaisen kalvonpaksuuden koko pinnoitusprosessin ajan.
Tyhjiöjärjestelmä: Tyhjiöjärjestelmää käytetään matalapaineisen ympäristön luomiseen, yleensä pumppujärjestelmän avulla pinnoituskammion tyhjentämiseksi, varmistaen, että ilman epäpuhtaudet eivät häiritse pinnoitusprosessia, mikä johtaa korkealaatuiseen kalvoon.
Mittaus- ja ohjausjärjestelmät: mukaan lukien anturit kalvon paksuuden valvontaan (kuten QCM-anturit), lämpötilan säätöön, tehon säätöön jne. pinnoitusprosessin tarkkaan ohjaamiseen.
Jäähdytysjärjestelmä: Pinnoitusprosessin aikana syntyvä lämpö voi vaikuttaa kalvon laatuun ja optisen elementin eheyteen, joten tehokas jäähdytysjärjestelmä on tarpeen vakaan lämpötilaympäristön ylläpitämiseksi.
4. Sovellusalue
Optisten komponenttien valmistus: Pinnoituslaitteita käytetään laajalti optisten komponenttien, kuten optisten linssien, mikroskooppien, teleskooppien ja kameran linssien, valmistuksessa. Erilaisten pinnoitteiden avulla optisia elementtejä voidaan optimoida heijastukseneston, heijastukseneston, peiliheijastuksen, suodatuksen jne. osalta kuvanlaadun, kirkkauden ja kontrastin parantamiseksi.
Näyttötekniikka: Nestekidenäyttöjen (LCD), orgaanisten valodiodien (OLED) ja muiden näyttöjen tuotantoprosessissa käytetään pinnoitustekniikkaa näyttöefektin parantamiseksi, värien, kontrastin ja heijastamattomuuden parantamiseksi.
Laserlaitteet: Lasereiden ja laseroptisten komponenttien (kuten laserlinssien, peilien jne.) valmistusprosessissa pinnoitustekniikkaa käytetään laserin heijastus- ja läpäisyominaisuuksien säätämiseen laserin energiantuotannon ja läpäisylaadun varmistamiseksi.
Aurinkosähkö: Aurinkopaneelien tuotannossa optista pinnoitetta käytetään parantamaan valosähköisen muunnoksen hyötysuhdetta. Esimerkiksi heijastamaton kalvo päällystämällä aurinkosähkömateriaalien pinta voi vähentää valon menetystä ja parantaa siten aurinkokennojen suorituskykyä.
Ilmailu: Ilmailu- ja avaruusalalla optiset linssit, optiset anturit, kaukoputket ja muut laitteet on päällystettävä niiden säteilynkestävyyden, korkean lämpötilan kestävyyden ja heijastamattomuuden parantamiseksi, jotta laitteet toimivat normaalisti ankarissa olosuhteissa.
Anturit ja instrumentit: Tarkkuusinstrumenteissa, infrapuna-antureissa, optisissa antureissa ja muissa laitevalmistuksissa käytettyjen anturien suorituskykyä voidaan parantaa pinnoitteella. Esimerkiksi infrapuna-anturit vaativat usein erityisen kalvopinnoitteen, jotta ne voivat tehokkaasti suodattaa ja läpäistä tiettyjä valon aallonpituuksia.
V. Teknologiset haasteet ja kehitystrendit
Kalvon laadunvalvonta: Suurissa tasomaisissa optisissa pinnoituslaitteissa kalvon tasaisuuden ja johdonmukaisuuden varmistaminen on tekninen ongelma. Pienet lämpötilan vaihtelut, kaasun koostumuksen muutokset tai paineen vaihtelut pinnoitusprosessin aikana voivat vaikuttaa kalvon laatuun.
Monikerrospinnoitustekniikka: Korkean suorituskyvyn omaavat optiset komponentit vaativat usein monikerroskalvojärjestelmiä, ja pinnoituslaitteiden on kyettävä tarkasti hallitsemaan kunkin kalvon paksuutta ja materiaalikoostumusta halutun optisen vaikutelman saavuttamiseksi.
Älykäs ja automatisoitu: Teknologian kehittyessä tulevaisuuden pinnoituslaitteet ovat älykkäämpiä ja automatisoidumpia, ja ne pystyvät valvomaan ja säätämään pinnoitusprosessin eri parametreja reaaliajassa, parantamaan tuotannon tehokkuutta ja tuotteiden laatua.
Ympäristönsuojelu ja energiansäästö: Ympäristömääräysten tiukkojen vaatimusten vuoksi optisten pinnoituslaitteiden on vähennettävä energiankulutusta ja haitallisten aineiden päästöjä. Samalla ympäristöystävällisempien pinnoitusmateriaalien ja -prosessien kehittäminen on myös tärkeä nykyisen tutkimuksen suunta.
SOM2550 jatkuvatoiminen magnetronisputterointioptinen pinnoituslaitteisto
Laitteiden edut:
Korkea automaatioaste, suuri lastauskapasiteetti, erinomainen kalvon suorituskyky
Näkyvän valon läpäisykyky on jopa 99 %
Superhard AR +AF -kovuus jopa 9H
Sovellus: Tuottaa pääasiassa AR/NCVM+DLC+AF-suodinlaitteita sekä älykkäitä taustapeilejä, auton näyttöjen/kosketusnäyttöjen suojalaseja, kameroiden erittäin kovia AR-, IR-CUT- ja muita suodattimia, kasvojentunnistusta ja muita tuotteita.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 24. tammikuuta 2025