I. بررسی اجمالی
دستگاه پوششدهی نوری مسطح بزرگ، وسیلهای برای رسوب یکنواخت یک لایه نازک روی سطح یک عنصر نوری مسطح است. این لایهها اغلب برای بهبود عملکرد اجزای نوری مانند بازتاب، انتقال، ضد بازتاب، ضد انعکاس، فیلتر، آینه و سایر عملکردها استفاده میشوند. این تجهیزات عمدتاً در صنایع نوری، لیزر، نمایشگر، ارتباطات، هوافضا و سایر صنایع استفاده میشوند.
دوم، اصل اساسی پوشش نوری
پوششدهی نوری تکنیکی است که با رسوب یک یا چند لایه از مواد (معمولاً فلز، سرامیک یا اکسید) بر روی سطح یک عنصر نوری (مانند لنز، فیلتر، منشور، فیبر نوری، صفحه نمایش و غیره) خواص نوری آن را تغییر میدهد. این لایههای فیلم میتوانند فیلم بازتابنده، فیلم انتقالی، فیلم ضد بازتاب و غیره باشند. روشهای رایج پوششدهی عبارتند از رسوب فیزیکی بخار (PVD)، رسوب شیمیایی بخار (CVD)، رسوبدهی کندوپاش، پوششدهی تبخیری و غیره.
سوم، ترکیب تجهیزات
تجهیزات پوششدهی اپتیکی مسطح بزرگ معمولاً شامل قطعات اصلی زیر هستند:
محفظه پوششدهی: این بخش اصلی فرآیند پوششدهی است و معمولاً یک محفظه خلاء است. پوششدهی با کنترل خلاء و اتمسفر انجام میشود. به منظور بهبود کیفیت پوششدهی و کنترل ضخامت فیلم، لازم است محیط محفظه پوششدهی به طور دقیق کنترل شود.
منبع تبخیر یا منبع کندوپاش:
منبع تبخیر: مادهای که باید رسوب داده شود، معمولاً با تبخیر پرتو الکترونی یا تبخیر حرارتی، تا حالت بخار گرم میشود و سپس در خلاء روی عنصر نوری رسوب داده میشود.
منبع کندوپاش: با برخورد یونهای پرانرژی به هدف، اتمها یا مولکولهای هدف کندوپاش میشوند که در نهایت روی سطح نوری رسوب میکنند تا یک فیلم تشکیل دهند.
سیستم چرخشی: برای اطمینان از توزیع یکنواخت لایه نازک روی سطح، عنصر نوری باید در طول فرآیند پوششدهی چرخانده شود. سیستم چرخشی، ضخامت یکنواخت لایه نازک را در طول فرآیند پوششدهی تضمین میکند.
سیستم خلاء: سیستم خلاء برای ایجاد محیطی با فشار کم استفاده میشود که معمولاً از طریق یک سیستم پمپ، محفظه پوشش را خلاء میکند و تضمین میکند که فرآیند پوششدهی توسط ناخالصیهای موجود در هوا مختل نشود و در نتیجه فیلم با کیفیتی حاصل شود.
سیستمهای اندازهگیری و کنترل: شامل حسگرهایی برای نظارت بر ضخامت لایه نازک (مانند حسگرهای QCM)، کنترل دما، تنظیم توان و غیره، برای کنترل دقیق فرآیند پوششدهی.
سیستم خنککننده: گرمای تولید شده در طول فرآیند پوششدهی میتواند بر کیفیت فیلم و یکپارچگی عنصر نوری تأثیر بگذارد، بنابراین برای حفظ دمای پایدار محیط، به یک سیستم خنککننده کارآمد نیاز است.
۴. زمینه کاربرد
تولید قطعات نوری: تجهیزات پوششدهی به طور گسترده در تولید قطعات نوری مانند لنزهای نوری، میکروسکوپها، تلسکوپها و لنزهای دوربین استفاده میشود. از طریق انواع مختلف پوششها، میتوان عناصر نوری را برای ضد انعکاس، ضد بازتاب، بازتاب آینهای، فیلتر کردن و غیره بهینه کرد تا کیفیت تصویر، روشنایی و کنتراست بهبود یابد.
فناوری نمایشگر: در فرآیند تولید نمایشگر کریستال مایع (LCD)، دیود ساطع کننده نور ارگانیک (OLED) و سایر نمایشگرها، از فناوری پوشش برای بهبود جلوه نمایشگر، افزایش رنگ، کنتراست و قابلیت ضد انعکاس استفاده میشود.
تجهیزات لیزری: در فرآیند تولید لیزرها و قطعات نوری لیزر (مانند لنزهای لیزر، آینهها و غیره)، از فناوری پوششدهی برای تنظیم ویژگیهای بازتاب و انتقال لیزر استفاده میشود تا خروجی انرژی و کیفیت انتقال لیزر تضمین شود.
فتوولتائیک خورشیدی: در تولید پنلهای خورشیدی، از پوشش نوری برای بهبود راندمان تبدیل فوتوالکتریک استفاده میشود. به عنوان مثال، پوشش یک لایه فیلم ضد انعکاس روی سطح مواد فتوولتائیک میتواند اتلاف نور را کاهش دهد و در نتیجه عملکرد سلولهای خورشیدی را بهبود بخشد.
هوافضا: در حوزه هوافضا، لنزهای نوری، حسگرهای نوری، تلسکوپها و سایر تجهیزات باید پوشش داده شوند تا مقاومت در برابر تابش، مقاومت در برابر دمای بالا و اثر ضد انعکاس آنها افزایش یابد و عملکرد طبیعی تجهیزات در محیطهای سخت تضمین شود.
حسگرها و ابزارها: پوششدهی میتواند عملکرد حسگرهای مادون قرمز، حسگرهای نوری و سایر تجهیزات تولیدی را بهبود بخشد. به عنوان مثال، حسگرهای مادون قرمز اغلب به یک پوشش فیلم خاص نیاز دارند تا بتوانند طول موجهای خاصی از نور را به طور مؤثر فیلتر کرده و از خود عبور دهند.
V. چالشهای فناوری و روندهای توسعه
کنترل کیفیت فیلم: در تجهیزات پوششدهی اپتیکی مسطح بزرگ، اطمینان از یکنواختی و ثبات فیلم یک مشکل فنی است. نوسانات کوچک دما، تغییرات ترکیب گاز یا نوسانات فشار در طول فرآیند پوششدهی میتواند بر کیفیت فیلم تأثیر بگذارد.
فناوری پوشش چندلایه: قطعات نوری با کارایی بالا اغلب به سیستمهای فیلم چندلایه نیاز دارند و تجهیزات پوششدهی باید بتوانند ضخامت و ترکیب مواد هر فیلم را به طور دقیق کنترل کنند تا به اثر نوری مطلوب دست یابند.
هوشمندی و اتوماسیون: با پیشرفت فناوری، تجهیزات پوششدهی آینده هوشمندتر و خودکارتر خواهند بود و قادر به نظارت و تنظیم پارامترهای مختلف در فرآیند پوششدهی در زمان واقعی، بهبود راندمان تولید و کیفیت محصول خواهند بود.
حفاظت از محیط زیست و صرفهجویی در مصرف انرژی: با توجه به الزامات سختگیرانه مقررات زیستمحیطی، تجهیزات پوششدهی نوری نیاز به کاهش مصرف انرژی و کاهش انتشار مواد مضر دارند. در عین حال، توسعه مواد و فرآیندهای پوششدهی سازگارتر با محیط زیست نیز از جهتگیریهای مهم تحقیقات فعلی است.
تجهیزات پوششدهی نوری کندوپاش مگنترون پیوسته SOM2550
مزایای تجهیزات:
درجه اتوماسیون بالا، ظرفیت بارگذاری بالا، عملکرد عالی فیلم
عبور نور مرئی تا ۹۹٪
سختی فوق سخت AR + AF تا 9H
کاربرد: عمدتاً AR/NCVM+DLC+AF و همچنین آینه دید عقب هوشمند، شیشه محافظ صفحه نمایش خودرو/صفحه لمسی، AR فوق سخت دوربین، IR-CUT و سایر فیلترها، تشخیص چهره و سایر محصولات را تولید میکند.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: ۲۴ ژانویه ۲۰۲۵
