I. Ümumi baxış
Böyük planar optik örtük cihazı, planar optik elementin səthinə nazik bir filmin bərabər şəkildə yerləşdirilməsi üçün bir cihazdır. Bu filmlər çox vaxt optik komponentlərin, məsələn, əks etdirmə, ötürmə, əks etdirmə, əks əks etdirmə, filtr, güzgü və digər funksiyaların işini yaxşılaşdırmaq üçün istifadə olunur. Avadanlıqlar əsasən optik, lazer, displey, rabitə, aerokosmik və digər sənaye sahələrində istifadə olunur.
İkincisi, optik örtünün əsas prinsipi
Optik örtük optik elementin (məsələn, linza, filtr, prizma, optik lif, displey və s.) onun səthinə bir və ya bir neçə material qatını (adətən metal, keramika və ya oksid) yerləşdirməklə onun optik xüsusiyyətlərini dəyişdirən bir texnikadır. Bu plyonka təbəqələri əks etdirən film, ötürücü film, əks etdirmə əleyhinə film və s. ola bilər. Ümumi örtük üsulları fiziki buxar çökdürmə (PVD), kimyəvi buxar çökdürmə (CVD), püskürən çökmə, buxarlanma örtüyü və s.
Üçüncüsü, avadanlıq tərkibi
Böyük planar optik örtük avadanlığı adətən aşağıdakı əsas hissələrdən ibarətdir:
Kaplama otağı: Bu örtük prosesinin əsas hissəsidir və adətən vakuum kamerasıdır. Kaplama vakuum və atmosferə nəzarət etməklə həyata keçirilir. Kaplama keyfiyyətini yaxşılaşdırmaq və filmin qalınlığına nəzarət etmək üçün örtük kamerasının ətraf mühitinə dəqiq nəzarət etmək lazımdır.
Buxarlanma mənbəyi və ya püskürtmə mənbəyi:
Buxarlanma mənbəyi: Yatırılacaq material adətən elektron şüa buxarlanması və ya termal buxarlanma yolu ilə buxarlanmış vəziyyətə qədər qızdırılır və sonra vakuumda optik elementə yerləşdirilir.
Püskürtmə mənbəyi: Hədəfə yüksək enerjili ionlarla təsir edərək, hədəfin atomları və ya molekulları püskürür və nəticədə bir film yaratmaq üçün optik səthə yerləşdirilir.
Fırlanan sistem: Filmin səthində bərabər paylanmasını təmin etmək üçün örtük prosesində optik elementi döndərmək lazımdır. Fırlanan sistem bütün örtük prosesində ardıcıl film qalınlığını təmin edir.
Vakuum sistemi: Vakuum sistemi aşağı təzyiq mühitini təmin etmək üçün istifadə olunur, adətən örtük kamerasını vakuum etmək üçün nasos sistemi vasitəsilə, örtük prosesinin havadakı çirklər tərəfindən pozulmamasını təmin edir, nəticədə yüksək keyfiyyətli bir film yaranır.
Ölçmə və nəzarət sistemləri: örtük prosesinə dəqiq nəzarət etmək üçün film qalınlığının monitorinqi üçün sensorlar (məsələn, QCM sensorları), temperaturun tənzimlənməsi, gücün tənzimlənməsi və s.
Soyutma sistemi: Kaplama prosesi zamanı yaranan istilik filmin keyfiyyətinə və optik elementin bütövlüyünə təsir göstərə bilər, buna görə də sabit temperatur mühitini saxlamaq üçün səmərəli soyutma sistemi tələb olunur.
4. Tətbiq sahəsi
Optik komponentlərin istehsalı: Kaplama avadanlığı optik linzalar, mikroskoplar, teleskoplar və kamera linzaları kimi optik komponentlərin istehsalında geniş istifadə olunur. Müxtəlif növ örtüklər vasitəsilə təsvirin keyfiyyətini, parlaqlığını və kontrastı yaxşılaşdırmaq üçün optik elementləri əks etdirmə, əks əks etdirmə, spekulyar əks, filtrləmə və s. üçün optimallaşdırmaq olar.
Ekran texnologiyası: Maye kristal displey (LCD), üzvi işıq yayan diod (OLED) və digər displeylərin istehsal prosesində ekran effektini yaxşılaşdırmaq, rəngi, kontrastı və əks etdirmə qabiliyyətini artırmaq üçün örtük texnologiyasından istifadə olunur.
Lazer avadanlıqları: Lazerlərin və lazer optik komponentlərinin (məsələn, lazer linzaları, güzgülər və s.) istehsalı prosesində lazerin enerji çıxışını və ötürülmə keyfiyyətini təmin etmək üçün lazerin əks etdirmə və ötürmə xüsusiyyətlərini tənzimləmək üçün örtük texnologiyasından istifadə olunur.
Günəş fotovoltaik: Günəş panellərinin istehsalında fotoelektrik çevrilmə səmərəliliyini artırmaq üçün optik örtük istifadə olunur. Məsələn, fotovoltaik materialların səthinə əks əks etdirən bir təbəqənin örtülməsi işıq itkisini azalda bilər və bununla da günəş batareyalarının işini yaxşılaşdıra bilər.
Aerokosmik: Aerokosmik sahədə optik linzalar, optik sensorlar, teleskoplar və digər avadanlıqlar sərt mühitlərdə avadanlığın normal işləməsini təmin etmək üçün onların radiasiya müqavimətini, yüksək temperatur müqavimətini və əks etdirmə əleyhinə təsirini artırmaq üçün örtülməlidir.
Sensorlar və alətlər: Dəqiq alətlər, infraqırmızı sensorlar, optik sensorlar və digər avadanlıqların istehsalı üçün istifadə olunur, örtük onların işini yaxşılaşdıra bilər. Məsələn, infraqırmızı sensorlar işığın müəyyən dalğa uzunluqlarını effektiv şəkildə süzmək və keçmək üçün tez-tez xüsusi bir film örtüyü tələb edir.
V. Texnoloji problemlər və inkişaf meylləri
Filmin keyfiyyətinə nəzarət: Böyük planar optik örtük avadanlıqlarında filmin vahidliyini və tutarlılığını təmin etmək texniki problemdir. Kaplama prosesində kiçik temperatur dalğalanmaları, qaz tərkibinin dəyişməsi və ya təzyiqin dəyişməsi filmin keyfiyyətinə təsir göstərə bilər.
Çox qatlı örtük texnologiyası: Yüksək performanslı optik komponentlər çox vaxt çox qatlı film sistemlərini tələb edir və örtük avadanlığı istənilən optik effekti əldə etmək üçün hər bir filmin qalınlığını və material tərkibini dəqiq idarə edə bilməlidir.
Ağıllı və avtomatlaşdırma: Texnologiyanın inkişafı ilə gələcək örtük avadanlığı daha ağıllı və avtomatlaşdırılmış olacaq, real vaxt rejimində örtük prosesində müxtəlif parametrləri izləyə və tənzimləyə, istehsal səmərəliliyini və məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdıra biləcəkdir.
Ətraf mühitin mühafizəsi və enerjiyə qənaət: Ətraf mühitin mühafizəsi qaydalarının ciddi tələbləri ilə optik örtük avadanlığı enerji istehlakını azaltmalı və zərərli maddələrin emissiyasını azaltmalıdır. Eyni zamanda, daha ekoloji cəhətdən təmiz örtük materiallarının və proseslərinin işlənib hazırlanması da cari tədqiqatların mühüm istiqamətidir.
SOM2550 davamlı maqnetron püskürən optik örtük avadanlığı
Avadanlığın üstünlükləri:
Yüksək dərəcədə avtomatlaşdırma, böyük yükləmə qabiliyyəti, mükəmməl film performansı
Görünən işığın keçiriciliyi 99%-ə qədərdir
9H-ə qədər superhard AR +AF sərtliyi
Tətbiq: Əsasən AR/NCVM+DLC+AF, həmçinin intellektual arxa görünüş güzgüsü, avtomobil displeyi/touch ekran örtüyü şüşəsi, kamera ultra sərt AR, IR-CUT və digər filtrlər, üz tanıma və digər məhsullar istehsal edir.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 24 yanvar 2025-ci il