İncə təbəqənin çökdürülməsi texnologiyası sahəsində silindrik maqnetronla püskürtmə səmərəli və çox yönlü bir üsula çevrilmişdir. Bu innovativ texnologiya tədqiqatçılara və sənaye mütəxəssislərinə nazik təbəqələri müstəsna dəqiqlik və vahidliklə yerləşdirmək üçün bir yol təqdim edir. Silindrik maqnetron püskürtmə müxtəlif sənaye sahələrində geniş istifadə olunur və nazik təbəqənin çökmə prosesində inqilab edir.
Silindrik maqnetron püskürtmə, həmçinin silindrik maqnetron püskürtmə örtüyü kimi tanınan silindrik maqnetron katodlarından istifadə edən fiziki buxar çökdürmə texnologiyasıdır. Onun iş prinsipi ionların hədəf materiala doğru sürətləndirildiyi və atomlarını xaric etdiyi bir plazma yaratmaqdan ibarətdir. Bu atomlar daha sonra nazik bir film yaratmaq üçün substratın üzərinə yerləşdirilir.
Silindrik maqnetron püskürtmənin əsas üstünlüklərindən biri mükəmməl film keyfiyyətini qoruyarkən yüksək çökmə sürətinə nail olmaq qabiliyyətidir. Ənənəvi püskürtmə üsullarından fərqli olaraq, çox vaxt daha yüksək çökmə sürətlərində film keyfiyyətinin azalması ilə nəticələnir, silindrik maqnetron püskürtmə filmin bütünlüyünün və tərkibinin bütün çökmə prosesi boyunca saxlanılmasını təmin edir.
Bundan əlavə, maqnetron katodunun silindrik dizaynı plazma və maqnit sahəsinin daha vahid paylanmasına imkan verir və bununla da filmin vahidliyini artırır. Bu vahidlik bütün substrat səthində ardıcıl film xüsusiyyətləri tələb edən tətbiqlər üçün vacibdir. Optika, elektronika və günəş enerjisi kimi sənayelər silindrik maqnetron püskürtmənin qabaqcıl imkanlarından böyük fayda əldə etmişdir.
Silindrik maqnetron püskürtmənin istifadəsi ənənəvi tətbiqlərdən kənara çıxır. Tədqiqatçılar və mühəndislər daima nanotexnologiya və biotibb kimi qabaqcıl sahələrdə bu texnologiyadan istifadə etmək üçün yeni yollar axtarırlar. Qazın tərkibi, təzyiqi və gücü kimi çökmə parametrlərinə dəqiq nəzarət etmək bacarığı, xüsusi tətbiqlər üçün uyğunlaşdırılmış xüsusi xüsusiyyətlərə malik fərdi filmlər yaratmağa imkan verir.
Reaktiv qazların tətbiqi silindrik maqnetron püskürtmə imkanlarını daha da genişləndirir. Azot və ya oksigen kimi reaktiv qazların tətbiqi ilə kompozitlər çökə bilər və ya unikal xüsusiyyətlərə malik nazik təbəqə kompozitləri istehsal edilə bilər. Bu, təkmilləşdirilmiş aşınma müqaviməti, artan sərtlik və ya üstün korroziyaya davamlılıq kimi təkmilləşdirilmiş funksionallığı olan qabaqcıl materialları araşdırmaq üçün yeni imkanlar açır.
Bundan əlavə, silindrik maqnetron püskürtmə prosesi asanlıqla böyüdülə bilər, bu da onu geniş miqyaslı sənaye tətbiqləri üçün uyğun edir. Bu genişlənmə qabiliyyəti, səmərəliliyi və çox yönlüliyi ilə birlikdə, istehsal prosesləri zamanı nazik təbəqələrin yığılmasını tələb edən sənayelər tərəfindən bu texnologiyanın daha çox qəbul edilməsinə səbəb oldu.
Hər hansı qabaqcıl texnologiyada olduğu kimi, davam edən tədqiqat və inkişaf səyləri silindrik maqnetron püskürtmə imkanlarını artırmaqda davam edir. Tədqiqatçılar texnologiyanın çökmə səmərəliliyini və ümumi performansını daha da yaxşılaşdırmaq üçün proses parametrlərini dəqiqləşdirmək, hədəf materialları optimallaşdırmaq və alternativ katod dizaynlarını araşdırmaq üzərində işləyirlər.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 26 oktyabr 2023-cü il