I. Oorsig
'n Groot planêre optiese bedekkingstoestel is 'n toestel vir die eenvormige neerlegging van 'n dun film op die oppervlak van 'n planêre optiese element. Hierdie films word dikwels gebruik om die werkverrigting van optiese komponente te verbeter, soos weerkaatsing, transmissie, anti-weerkaatsing, filter, spieël en ander funksies. Die toerusting word hoofsaaklik in optiese, laser-, vertoon-, kommunikasie-, lugvaart- en ander nywerhede gebruik.
Tweedens, die basiese beginsel van optiese bedekking
Optiese bedekking is 'n tegniek wat die optiese eienskappe van 'n optiese element (soos 'n lens, filter, prisma, optiese vesel, skerm, ens.) verander deur een of meer lae materiaal (gewoonlik metaal, keramiek of oksied) op die oppervlak daarvan neer te sit. Hierdie filmlae kan reflektiewe film, transmissiefilm, anti-refleksiefilm, ens. wees. Algemene bedekkingsmetodes is fisiese dampafsetting (PVD), chemiese dampafsetting (CVD), verstuiwingsafsetting, verdampingsbedekking, ensovoorts.
Derdens, toerustingsamestelling
Groot planêre optiese bedekkingstoerusting bevat gewoonlik die volgende hoofonderdele:
Bedekkingskamer: Dit is die kerndeel van die bedekkingsproses en is gewoonlik 'n vakuumkamer. Bedekking word uitgevoer deur die vakuum en atmosfeer te beheer. Om die bedekkingskwaliteit te verbeter en die dikte van die film te beheer, is dit nodig om die omgewing van die bedekkingskamer presies te beheer.
Verdampingsbron of sputterbron:
Verdampingsbron: Die materiaal wat neergelê moet word, word verhit tot 'n verdampte toestand, gewoonlik deur elektronstraalverdamping of termiese verdamping, en dan in 'n vakuum op die optiese element neergelê.
Verstuiwingsbron: Deur die teiken met hoë-energie-ione te tref, word die atome of molekules van die teiken uitgesputter, wat uiteindelik op die optiese oppervlak neergelê word om 'n film te vorm.
Roterende stelsel: Die optiese element moet tydens die bedekkingsproses geroteer word om te verseker dat die film eweredig oor die oppervlak versprei word. Die roterende stelsel verseker konsekwente filmdikte dwarsdeur die bedekkingsproses.
Vakuumstelsel: 'n Vakuumstelsel word gebruik om 'n laedruk-omgewing te bied, gewoonlik deur 'n pompstelsel om die bedekkingskamer te stofsuig, wat verseker dat die bedekkingsproses nie deur onsuiwerhede in die lug versteur word nie, wat 'n hoë kwaliteit film tot gevolg het.
Meet- en beheerstelsels: insluitend sensors vir die monitering van filmdikte (soos QCM-sensors), temperatuurbeheer, kragregulering, ens., om die bedekkingsproses presies te beheer.
Verkoelingstelsel: Die hitte wat tydens die bedekkingsproses gegenereer word, kan die kwaliteit van die film en die integriteit van die optiese element beïnvloed, daarom is 'n doeltreffende verkoelingstelsel nodig om 'n stabiele temperatuuromgewing te handhaaf.
4. Toepassingsveld
Vervaardiging van optiese komponente: Bedekkingstoerusting word wyd gebruik in die produksie van optiese komponente soos optiese lense, mikroskope, teleskope en kameralense. Deur verskillende tipes bedekkings kan optiese elemente geoptimaliseer word vir anti-refleksie, anti-refleksie, spiegelrefleksie, filterering, ens., om beeldkwaliteit, helderheid en kontras te verbeter.
Skermtegnologie: In die produksieproses van vloeibare kristalskerms (LCD), organiese lig-emitterende diodes (OLED) en ander skerms, word bedekkingstegnologie gebruik om die skermeffek te verbeter, die kleur, kontras en anti-refleksievermoë te verbeter.
Lasertoerusting: In die vervaardigingsproses van lasers en laseroptiese komponente (soos laserlense, spieëls, ens.) word bedekkingstegnologie gebruik om die weerkaatsing- en transmissie-eienskappe van die laser aan te pas om die energie-uitset en transmissiekwaliteit van die laser te verseker.
Sonfotovoltaïese energie: In die vervaardiging van sonpanele word optiese bedekkings gebruik om die fotoëlektriese omskakelingsdoeltreffendheid te verbeter. Byvoorbeeld, die bedekking van 'n laag anti-refleksiefilm op die oppervlak van fotovoltaïese materiale kan die verlies aan lig verminder en sodoende die werkverrigting van sonselle verbeter.
Lugvaart: In die lugvaartveld moet optiese lense, optiese sensors, teleskope en ander toerusting bedek word om hul stralingsweerstand, hoë temperatuurweerstand en anti-refleksie-effek te verbeter om die normale werking van toerusting in strawwe omgewings te verseker.
Sensors en instrumente: Gebruik vir presisie-instrumente, infrarooi sensors, optiese sensors en ander toerustingvervaardiging, kan bedekkings hul werkverrigting verbeter. Infrarooi sensors benodig byvoorbeeld dikwels 'n spesifieke filmbedekking om effektief te kan filter en deur spesifieke golflengtes van lig te kan laat gaan.
V. Tegnologiese uitdagings en ontwikkelingstendense
Filmkwaliteitsbeheer: In groot planêre optiese bedekkingstoerusting is die versekering van die eenvormigheid en konsekwentheid van die film 'n tegniese probleem. Klein temperatuurskommelings, veranderinge in gassamestelling of drukskommelings tydens die bedekkingsproses kan die kwaliteit van die film beïnvloed.
Meerlaagbedekkingstegnologie: Hoëprestasie-optiese komponente benodig dikwels meerlaag-filmstelsels, en die bedekkingstoerusting moet die dikte en materiaalsamestelling van elke film presies kan beheer om die verlangde optiese effek te verkry.
Intelligent en outomatisering: Met die vooruitgang van tegnologie sal die toekomstige bedekkingstoerusting meer intelligent en outomaties wees, in staat wees om verskeie parameters in die bedekkingsproses intyds te monitor en aan te pas, produksiedoeltreffendheid en produkkwaliteit te verbeter.
Omgewingsbeskerming en energiebesparing: Met die streng vereistes van omgewingsregulasies moet optiese bedekkingstoerusting energieverbruik verminder en die uitstoot van skadelike stowwe verminder. Terselfdertyd is die ontwikkeling van meer omgewingsvriendelike bedekkingsmateriale en -prosesse ook 'n belangrike rigting van huidige navorsing.
SOM2550 deurlopende magnetron-sputtering optiese bedekkingstoerusting
Voordele van toerusting:
Hoë mate van outomatisering, groot laaikapasiteit, uitstekende filmprestasie
Die deurlaatbaarheid van sigbare lig is tot 99%
Superharde AR + AF hardheid tot 9H
Toepassing: Vervaardig hoofsaaklik AR/NCVM+DLC+AF, sowel as intelligente truspieël, motorskerm-/aanraakskerm-dekselglas, kamera ultra-harde AR, IR-CUT en ander filters, gesigsherkenning en ander produkte.
–Hierdie artikel word vrygestel deurvervaardiger van vakuumbedekkingsmasjieneGuangdong Zhenhua
Plasingstyd: 24 Januarie 2025
