Bí iṣẹ́-ẹ̀rọ òde òní ṣe ń tẹ̀síwájú láti béèrè fún iṣẹ́ tó ga jù láti ọ̀dọ̀ àwọn èròjà, pàápàá jùlọ àwọn tí ń ṣiṣẹ́ lábẹ́ àwọn ipò líle bíi iwọ̀n otútù gíga, ìfúnpá gíga, àti ìfọ́ra líle, ìmọ̀-ẹ̀rọ ìbòrí ti di ohun pàtàkì síi. Lílo àwọn ìbòrí líle ń kó ipa pàtàkì nínú mímú kí irinṣẹ́ le, ṣíṣe iṣẹ́ dáadáa, àti iṣẹ́ gbogbogbòò ọjà pọ̀ sí i. Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìtọ́jú ojú ilẹ̀ PVD (Physical Vapor Deposition) ló wà ní iwájú nínú ìṣẹ̀dá tuntun ní ẹ̀ka yìí, èyí tó ń mú kí ìlọsíwájú bá ìmọ̀-ẹ̀rọ ìbòrí.
No.1 Kí ni Ìlànà PVD?
Ilana PVD kan nipa lilo awọn ọna ti ara lati yi awọn ohun elo ibora pada lati ipo lile tabi omi si ipo gaasi, lẹhinna fifi wọn si oju ilẹ substrate nipasẹ ifipamọ oru lati ṣẹda ibora ti o dọgba, lile, ati ti o tọ. Ni akawe pẹlu ifipamọ oru kemikali ibile (CVD), awọn anfani akọkọ ti PVD wa ni agbara rẹ lati fi awọn ibora pamọ ni awọn iwọn otutu kekere, ṣakoso sisanra ati akojọpọ ibora gangan, ati iseda ti o jẹ ore-ayika ati agbara ti o munadoko.
No.2 Awọn Anfaani ti PVD ninu Awọn Aṣọ Lile
Nítorí àwọn àǹfààní àrà ọ̀tọ̀ rẹ̀, ìmọ̀ ẹ̀rọ PVD gbajúmọ̀ gidigidi nínú lílo àwọn ìbòrí líle, pàápàá jùlọ ní àwọn agbègbè tí ó nílò líle gíga, resistance ìfàmọ́ra tí ó tayọ, àti resistance ìpalára tí ó ga jùlọ. Àwọn àǹfààní pàtàkì ti ilana PVD ni:
1. Líle àti Àìlera Wíwọ tó ga jùlọ
Àwọn ìbòrí líle PVD mú kí agbára àwọn èròjà náà pọ̀ sí i ní pàtàkì. Nípa fífi àwọn ohun èlò bíi TiN (Titanium Nitride), TiAlN (Titanium Aluminum Nitride), àti CrN (Chromium Nitride) pamọ́, agbára ìbòrí náà lè dé 25GPa–63GPa tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn ìbòrí líle wọ̀nyí ń mú kí agbára ìgbónára sunwọ̀n síi, wọ́n ń dín ìfọ́ ojú ilẹ̀ kù, wọ́n ń mú kí agbára ìgbónára pọ̀ sí i, wọ́n sì ń mú kí iṣẹ́ àwọn irinṣẹ́, àwọn mọ́ọ̀dì, àti àwọn èròjà mìíràn pẹ́ sí i.
2. Resistance to gaju to dara julọ
Àwọn ìbòrí PVD fi agbára ìdènà ooru gíga hàn, èyí tí ó mú kí wọ́n dára fún àwọn èròjà tí wọ́n fara gbá sí igbóná líle àti ìfọ́ra tó ga tàbí ìbàjẹ́ kẹ́míkà. Fún àpẹẹrẹ, àwọn ìbòrí TiAlN kìí ṣe pé wọ́n ní agbára gíga nìkan ni, wọ́n tún ń mú kí ìdúróṣinṣin ìṣètò wà ní igbóná tó ga, èyí sì mú kí wọ́n máa lò wọ́n fún àwọn irinṣẹ́ gígé àti àwọn mọ́ọ̀dì fún àwọn ohun èlò ìgbóná ooru gíga.
3. Ìṣọ̀kan Ìfọ́mọ́ra Kéré Jù Fún Ìmúṣe Ìṣiṣẹ́ Tí Ó Dára Jù
Àwọn ìbòrí PVD ń ran lọ́wọ́ láti ní àwọn ìṣọ̀kan ìfọ́ra-ẹni-lágbára púpọ̀, wọ́n ń dín ìfọ́ra-ẹni-lágbára àti ìbàjẹ́ ohun èlò kù, èyí tí ó ń mú kí iṣẹ́ ẹ̀rọ àti dídára ojú ilẹ̀ pọ̀ sí i. Èyí ṣe pàtàkì fún iṣẹ́ ẹ̀rọ tí ó péye àti àwọn iṣẹ́ gígé iyàrá gíga.
4. O ni ore fun ayika ati pe o mu ki o munadoko pupọ
Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ọ̀nà ìbòrí ìbílẹ̀, ìlànà PVD kò nílò ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn kẹ́míkà tí ó léwu, èyí tí ó mú kí ó jẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ tí ó dára fún àyíká. Ní àfikún, àwọn ohun èlò ìbòrí PVD ń ṣiṣẹ́ ní agbára gíga, èyí tí ó ń jẹ́ kí ìbòrí kíákíá lè bá àwọn ìbéèrè iṣẹ́-ṣíṣe ńlá mu.
No.3 Awọn aaye Lilo ti Aṣọ Lile PVD
Àwọn ẹ̀rọ PVD Lile Coating fún àwọn ìbòrí líle ni a ń lò ní àwọn ilé iṣẹ́ tí wọ́n nílò iṣẹ́ ojú ilẹ̀ tí ó dára jùlọ. Àwọn agbègbè pàtàkì kan ní:
1. Àwọn Ohun Èlò Gígé àti Àwọn Mọ́lù
Nínú iṣẹ́ ọnà irinṣẹ́ àti mọ́ọ̀dì, pàápàá jùlọ fún àwọn irinṣẹ́ gígé tí a fi sí ojú otútù gíga àti ìfọ́, àwọn ìbòrí PVD máa ń mú kí ìdènà ìfàmọ́ra, ìdènà ìbàjẹ́, àti líle pọ̀ sí i. A sábà máa ń lo àwọn ìbòrí TiN nínú àwọn irinṣẹ́ yíyípo, àwọn ohun èlò ìgé milling, àti àwọn ohun èlò ìdánrawò, nígbà tí a ń lo àwọn ìbòrí TiAlN ní gígé kíákíá, èyí sì máa ń mú kí iṣẹ́ gígé irinṣẹ́ àti ìgbésí ayé iṣẹ́ sunwọ̀n sí i.
2. Àwọn Ẹ̀yà Ọkọ̀ Ayọ́kẹ́lẹ́
Fún àwọn èròjà ẹ̀rọ ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́ bíi sílíńdà, pístónì, àti fáàfù, àwọn ìbòrí líle PVD ní agbára ìdènà ooru gíga àti ìdènà ìfàmọ́ra tó dára, wọ́n ń dín ìfọ́ra kù dáadáa, wọ́n ń mú kí àwọn èròjà pẹ́ sí i, wọ́n sì ń mú kí iṣẹ́ ọkọ̀ náà pọ̀ sí i.
4. Ifihan ti Zhenhua FMA0605 PVD Lile Coating Equipment
Àwọn Àǹfààní Ẹ̀rọ
Agbára ìṣàlẹ̀ àwọn èròjà macro-particles tó péye; àwọn ìbòrí Ta-C ń fúnni ní agbára gíga àti iṣẹ́ tó ga jùlọ.
Ó ní agbára gíga, àwọ̀ tó lágbára tó sì lè fara da ooru, ìwọ̀n ìfọ́ra tó kéré, àti agbára ìdènà ipata tó dára. Àròpọ̀ agbára tó lágbára dé 25GPa–63GPa.
Katode naa gba imọ-ẹrọ awakọ meji ti o so okun onirin-meji pọ mọ okun onirin-iwaju ati stacking oofa titilai, ti n ṣiṣẹ lẹgbẹẹ eto etching ion ati ohun elo igun-pupọ onisẹpo mẹta lati ṣaṣeyọri ifipamọ daradara.
A fi cathodic arc tó ní iwọn ila opin nla, èyí tó máa ń mú kí ìtútù dára gan-an lábẹ́ àwọn ipò tó ga. Iyàrá ìṣípo arc spot yára, ìwọ̀n ionization ga, àti ìwọ̀n ìtúpalẹ̀ yára. Èyí mú kí àwọn ìbòrí tó nípọn àti tó mọ́lẹ̀ pọ̀ sí i pẹ̀lú resistance oxidation tó ga àti iṣẹ́ otutu tó ga.
Ààlà Ohun elo:
Àwọn ohun èlò náà lè gbé AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN, àti àwọn ìbòrí mìíràn tí ó le koko tí ó sì ní agbára ìgbóná gíga, èyí tí a ti lò ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ibi tí a ti ń ṣe àwọn ohun èlò bíi mọ́ọ̀dì, irinṣẹ́ gígé, àwọn ohun èlò ìkọ́lé, àwọn ohun èlò ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́, àwọn piston, àti àwọn ọjà mìíràn.
— Àpilẹ̀kọ yìí ni a gbé jáde láti ọwọ́Awọn ohun elo ti a fi awọ lile PVD boẸ̀rọ ìfọṣọ Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Feb-20-2025