Teknụzụ Ọgwụgwọ Elu PVD na Mkpuchi siri ike

Ka mmepụta ihe ọgbara ọhụrụ na-aga n'ihu na-achọ arụmọrụ ka mma site na ihe ndị mejupụtara ya, ọkachasị ndị na-arụ ọrụ n'okpuru ọnọdụ dị oke njọ dịka okpomọkụ dị elu, nrụgide dị elu, na esemokwu siri ike, teknụzụ mkpuchi aghọọla ihe dị oke mkpa. Itinye mkpuchi siri ike na-arụ ọrụ dị mkpa n'ime ka ngwaọrụ sie ike, izi ezi nke igwe, na arụmọrụ ngwaahịa zuru oke. Teknụzụ ọgwụgwọ elu PVD (Physical Vapor Deposition) bụ isi ihe ọhụrụ n'ọhịa a, na-akwalite ọganihu na teknụzụ mkpuchi.

Nke 1 Gịnị bụ Usoro PVD?

Usoro PVD gụnyere iji ụzọ anụ ahụ gbanwee ihe mkpuchi site na ọnọdụ siri ike ma ọ bụ mmiri mmiri ka ọ bụrụ ọnọdụ gas, wee tinye ha n'elu ihe mkpuchi ahụ site na ntinye uzuoku iji mepụta mkpuchi otu, siri ike, na nke na-adịgide adịgide. Ma e jiri ya tụnyere ntinye uzuoku kemịkalụ ọdịnala (CVD), uru bụ isi nke PVD dị na ikike ya itinye mkpuchi na obere okpomọkụ, chịkwaa ọkpụrụkpụ na ihe mejupụtara mkpuchi ahụ kpọmkwem, yana ọdịdị ya na-adịghị ize ndụ gburugburu ebe obibi na nke na-eme ka ike dị mma.

Uru nke abụọ nke PVD na mkpuchi siri ike
N'ihi uru pụrụ iche ya, teknụzụ PVD a ma ama nke ukwuu n'iji mkpuchi siri ike eme ihe, ọkachasị n'ebe chọrọ nnukwu ike, ezigbo ike iyi, na oke ike nchara. Uru ndị bụ isi nke usoro PVD gụnyere:

1. Ike siri ike na iyi nke ukwuu
Mkpuchi siri ike nke PVD na-eme ka ike nke ihe mejupụtara ya dịkwuo elu nke ukwuu. Site n'itinye ihe ndị dị ka TiN (Titanium Nitride), TiAlN (Titanium Aluminium Nitride), na CrN (Chromium Nitride), ike nke mkpuchi ahụ nwere ike iru 25GPa–63GPa ma ọ bụ karịa. Mkpuchi siri ike ndị a na-eme ka iguzogide iyi dịkwuo mma, belata mmịpụta elu, na-eme ka iguzogide oxidation dịkwuo elu, ma na-agbatị ndụ ọrụ nke ngwaọrụ, ebu, na ihe ndị ọzọ.

2. Ezigbo Nguzogide Okpomọkụ Dị Elu
Mkpuchi PVD na-egosipụta oke iguzogide okpomọkụ dị elu, na-eme ka ha dị mma maka ihe ndị a na-etinye n'ọnọdụ okpomọkụ dị oke elu na nnukwu esemokwu ma ọ bụ nchara kemịkalụ. Dịka ọmụmaatụ, mkpuchi TiAlN abụghị naanị na ọ na-enye ike pụrụ iche kamakwa ọ na-eme ka nhazi ya sie ike na okpomọkụ dị elu, na-eme ka a na-eji ha eme ihe n'ọtụtụ ebe maka ngwa ịkpụ na ebu maka ngwa igwe ọkụ dị elu.

3. Ọnụọgụ esemokwu dị ala maka arụmọrụ igwe ka mma
Mkpuchi PVD na-enyere aka inweta oke esemokwu dị ala, na-ebelata esemokwu na iyi ihe, nke na-eme ka arụmọrụ igwe na ịdị mma elu dịkwuo mma. Nke a bara uru karịsịa maka nhazi ziri ezi na usoro ịkpụcha ọsọ ọsọ.

4. Enyi na Gburugburu Ebe Obibi na Ọdịmma Dị Elu
Ma e jiri ya tụnyere usoro mkpuchi ọdịnala, usoro PVD anaghị achọ nnukwu kemịkalụ na-emerụ ahụ, nke na-eme ka ọ bụrụ teknụzụ na-adịghị emerụ gburugburu ebe obibi. Na mgbakwunye, akụrụngwa mkpuchi PVD na-arụ ọrụ nke ọma, na-eme ka nchekwa ngwa ngwa mezuo mkpa mmepụta buru ibu.

Nke 3 Ngwa Ubi nke PVD mkpuchi siri ike
A na-ejikarị igwe mkpuchi siri ike nke PVD eme ihe n'ọtụtụ ụlọ ọrụ ndị chọrọ arụmọrụ elu dị elu. Ụfọdụ ebe dị mkpa maka ojiji gụnyere:

1. Ngwaọrụ Ịcha na Ebu
N'imepụta ngwaọrụ na ebu, ọkachasị maka ngwaọrụ ịkpụ ihe nke a na-etinye n'ọnọdụ okpomọkụ na esemokwu dị elu, mkpuchi PVD na-eme ka iguzogide iyi, iguzogide nchara, na ike dịkwuo elu. A na-ejikarị mkpuchi TiN eme ihe na ngwaọrụ ịtụgharị, igwe e ji egwe ihe, na igwe ihe eji eme ihe, ebe a na-etinye mkpuchi TiAlN nke ukwuu na ngwa ịkpụ ihe dị elu, na-eme ka arụmọrụ ịkpụ ihe na ndụ ọrụ dịkwuo mma.

2. Akụkụ Ụgbọala
Maka ihe ndị dị na injin ụgbọala dịka silinda, piston, na valvụ, mkpuchi siri ike nke PVD na-enye ezigbo iguzogide okpomọkụ dị elu na iguzogide iyi, na-ebelata esemokwu nke ọma, na-agbatị ndụ akụkụ ahụ, ma na-eme ka arụmọrụ ụgbọ ala zuru oke dịkwuo mma.

4. Okwu Mmalite nke Zhenhua FMA0605 PVD Ngwaọrụ Mkpuchi Ike
Uru nke akụrụngwa
Nzacha dị irè nke arc macro-particles; mkpuchi Ta-C na-enye ma arụmọrụ dị elu ma arụmọrụ ka mma.
Ọ na-enweta ike siri ike dị elu, mkpuchi siri ike nke na-eguzogide okpomọkụ dị elu, obere ihe mgbakasị ahụ, na ezigbo iguzogide nchara. Ike nkezi ruru 25GPa–63GPa.

Katode ahụ na-eji teknụzụ draịva abụọ eme ihe nke na-ejikọta eriri dị n'ihu na ebe ndọta na-adịgide adịgide, na-arụkọ ọrụ na sistemụ etching ion na ihe eji etinye ọtụtụ akụkụ atọ iji nweta nchekwa dị mma.
E ji nnukwu arc cathodic nke nwere dayameta buru ibu, nke na-eme ka o kwe omume na ihe ndị dị mma maka oyi n'okpuru ọnọdụ ọkụ dị elu. Ọsọ ngagharị nke arc spot dị ngwa ngwa, ọnụego ionization dị elu, na ọnụego ntinye dị ngwa ngwa. Nke a na-eme ka itinye mkpuchi dị nkọ ma dị nro yana iguzogide oxidation dị elu na arụmọrụ okpomọkụ dị elu.
Oke Ngwa:
Ngwa ndị a nwere ike itinye AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN, na ihe mkpuchi ndị ọzọ siri ike nke na-eguzogide okpomọkụ dị elu, nke etinyere n'ọtụtụ ebe na ebu, ngwaọrụ ịkpụ ihe, ọkpọ, ihe ndị dị na ụgbọala, piston, na ngwaahịa ndị ọzọ.

— E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeNgwa mkpuchi siri ike nke PVDZhenhua Vacuum