ເຕັກໂນໂລຊີການປິ່ນປົວພື້ນຜິວ PVD ໃນການເຄືອບແຂງ

ຍ້ອນວ່າການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝສືບຕໍ່ຕ້ອງການປະສິດທິພາບທີ່ສູງຂຶ້ນຈາກອົງປະກອບຕ່າງໆ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນອົງປະກອບທີ່ເຮັດວຽກພາຍໃຕ້ສະພາບທີ່ຮຸນແຮງເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມກົດດັນສູງ, ແລະ ແຮງສຽດທານທີ່ຮຸນແຮງ, ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບໄດ້ກາຍເປັນສິ່ງສຳຄັນເພີ່ມຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ການນຳໃຊ້ການເຄືອບແຂງມີບົດບາດສຳຄັນໃນການປັບປຸງຄວາມທົນທານຂອງເຄື່ອງມື, ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງເຄື່ອງຈັກ, ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງຜະລິດຕະພັນໂດຍລວມ. ເຕັກໂນໂລຊີການປິ່ນປົວໜ້າດິນ PVD (ການລະເຫີຍທາງກາຍະພາບ) ແມ່ນຢູ່ແຖວໜ້າຂອງນະວັດຕະກຳໃນຂົງເຂດນີ້, ເຊິ່ງເປັນການຊຸກຍູ້ຄວາມກ້າວໜ້າໃນເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບ.

ເລກທີ 1 ຂະບວນການ PVD ແມ່ນຫຍັງ?

ຂະບວນການ PVD ກ່ຽວຂ້ອງກັບການໃຊ້ວິທີການທາງກາຍະພາບເພື່ອປ່ຽນວັດສະດຸເຄືອບຈາກສະຖານະແຂງ ຫຼື ແຫຼວໄປເປັນສະຖານະອາຍແກັສ, ຈາກນັ້ນວາງມັນໄວ້ເທິງໜ້າດິນຂອງຊັ້ນວາງໂດຍຜ່ານການລະເຫີຍໄອນ້ຳເພື່ອສ້າງເປັນຊັ້ນເຄືອບທີ່ເປັນເອກະພາບ, ແຂງ ແລະ ທົນທານ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບການລະເຫີຍໄອນ້ຳເຄມີແບບດັ້ງເດີມ (CVD), ຂໍ້ໄດ້ປຽບຕົ້ນຕໍຂອງ PVD ແມ່ນຢູ່ໃນຄວາມສາມາດໃນການວາງຊັ້ນເຄືອບໃນອຸນຫະພູມຕ່ຳ, ຄວບຄຸມຄວາມໜາ ແລະ ສ່ວນປະກອບຂອງຊັ້ນເຄືອບໄດ້ຢ່າງຊັດເຈນ, ແລະ ລັກສະນະທີ່ເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ ແລະ ປະຫຍັດພະລັງງານ.

ຂໍ້ດີອັນດັບທີ 2 ຂອງ PVD ໃນການເຄືອບແຂງ
ເນື່ອງຈາກຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນ, ເຕັກໂນໂລຊີ PVD ໄດ້ຮັບການຍອມຮັບຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການນໍາໃຊ້ການເຄືອບແຂງ, ​​ໂດຍສະເພາະໃນພື້ນທີ່ທີ່ຕ້ອງການຄວາມແຂງສູງ, ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ແລະ ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທີ່ດີກວ່າ. ຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສໍາຄັນຂອງຂະບວນການ PVD ປະກອບມີ:

1. ຄວາມແຂງກະດ້າງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ສູງຫຼາຍ
ການເຄືອບແຂງ PVD ຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມແຂງຂອງອົງປະກອບໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ໂດຍການວາງວັດສະດຸເຊັ່ນ TiN (Titanium Nitride), TiAlN (Titanium Aluminum Nitride), ແລະ CrN (Chromium Nitride), ຄວາມແຂງຂອງການເຄືອບສາມາດບັນລຸ 25GPa–63GPa ຫຼືສູງກວ່າ. ການເຄືອບແຂງເຫຼົ່ານີ້ປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ຫຼຸດຜ່ອນການຂັດຂອງພື້ນຜິວ, ເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງ, ແລະຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງເຄື່ອງມື, ແມ່ພິມ, ແລະສ່ວນປະກອບອື່ນໆ.

2. ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ
ການເຄືອບ PVD ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງທີ່ໂດດເດັ່ນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມສຳລັບອົງປະກອບທີ່ຕ້ອງປະເຊີນກັບອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ ແລະ ແຮງສຽດທານສູງ ຫຼື ການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ. ຕົວຢ່າງ, ການເຄືອບ TiAlN ບໍ່ພຽງແຕ່ໃຫ້ຄວາມແຂງທີ່ໂດດເດັ່ນເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງໃນອຸນຫະພູມທີ່ສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເຄື່ອງມືຕັດ ແລະ ແມ່ພິມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.

3. ຄ່າສຳປະສິດແຮງສຽດທານຕໍ່າ ເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງເຄື່ອງຈັກ
ການເຄືອບ PVD ຊ່ວຍໃຫ້ໄດ້ຄ່າສຳປະສິດແຮງສຽດທານຕໍ່າຫຼາຍ, ຫຼຸດຜ່ອນແຮງສຽດທານ ແລະ ການສວມໃສ່ຂອງວັດສະດຸ, ເຊິ່ງຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງພື້ນຜິວ. ສິ່ງນີ້ເປັນປະໂຫຍດໂດຍສະເພາະສຳລັບເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ຂະບວນການຕັດຄວາມໄວສູງ.

4. ເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ ແລະ ມີປະສິດທິພາບສູງ
ເມື່ອປຽບທຽບກັບເຕັກນິກການເຄືອບແບບດັ້ງເດີມ, ຂະບວນການ PVD ບໍ່ຕ້ອງການສານເຄມີທີ່ເປັນອັນຕະລາຍຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນເຕັກໂນໂລຊີທີ່ເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ. ນອກຈາກນັ້ນ, ອຸປະກອນເຄືອບ PVD ເຮັດວຽກດ້ວຍປະສິດທິພາບສູງ, ເຮັດໃຫ້ການວາງຊັ້ນໄດ້ໄວເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດຂະໜາດໃຫຍ່.

ສາຂາການນຳໃຊ້ PVD ແຂງ ອັນດັບທີ 3
ເຄື່ອງເຄືອບແຂງ PVD ສຳລັບການເຄືອບແຂງຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກຳທີ່ຕ້ອງການປະສິດທິພາບພື້ນຜິວທີ່ດີກວ່າ. ບາງຂົງເຂດການນຳໃຊ້ທີ່ສຳຄັນລວມມີ:

1. ເຄື່ອງມືຕັດ ແລະ ແມ່ພິມ
ໃນການຜະລິດເຄື່ອງມື ແລະ ແມ່ພິມ, ໂດຍສະເພາະສຳລັບເຄື່ອງມືຕັດທີ່ຕ້ອງປະເຊີນກັບອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ແຮງສຽດທານ, ການເຄືອບ PVD ຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ ແລະ ຄວາມແຂງໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ການເຄືອບ TiN ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນເຄື່ອງມືກ້ຽວ, ເຄື່ອງຕັດ, ແລະ ເຄື່ອງເຈາະ, ໃນຂະນະທີ່ການເຄືອບ TiAlN ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຕັດຄວາມໄວສູງ, ເຊິ່ງປັບປຸງປະສິດທິພາບການຕັດເຄື່ອງມື ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

2. ຊິ້ນສ່ວນລົດຍົນ
ສຳລັບສ່ວນປະກອບເຄື່ອງຈັກລົດຍົນ ເຊັ່ນ: ກະບອກສູບ, ລູກສູບ ແລະ ວາວ, ການເຄືອບແຂງ PVD ມີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ຫຼຸດຜ່ອນແຮງສຽດທານຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງສ່ວນປະກອບ ແລະ ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບໂດຍລວມຂອງຍານພາຫະນະ.

4. ການແນະນຳອຸປະກອນເຄືອບແຂງ Zhenhua FMA0605 PVD
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງອຸປະກອນ
ການກັ່ນຕອງອະນຸພາກມະຫາພາກທີ່ມີປະສິດທິພາບ; ການເຄືອບ Ta-C ໃຫ້ທັງປະສິດທິພາບສູງ ແລະ ປະສິດທິພາບທີ່ດີກວ່າ.
ບັນລຸຄວາມແຂງສູງເປັນພິເສດ, ການເຄືອບແຂງທີ່ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ສຳປະສິດແຮງສຽດທານຕ່ຳ, ແລະ ຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ດີເລີດ. ຄວາມແຂງສະເລ່ຍຮອດ 25GPa–63GPa.

ແຄໂທດຮັບຮອງເອົາເທັກໂນໂລຢີໄດຣຟ໌ຄູ່ທີ່ປະສົມປະສານຂົດລວດທີ່ຕັ້ງຢູ່ດ້ານໜ້າ ແລະ ການຈັດວາງແມ່ເຫຼັກຖາວອນ, ເຮັດວຽກຮ່ວມກັບລະບົບການແກະສະຫຼັກໄອອອນ ແລະ ອຸປະກອນຫຼາຍມຸມສາມມິຕິເພື່ອໃຫ້ໄດ້ການວາງກະແສໄຟຟ້າທີ່ມີປະສິດທິພາບ.
ມາພ້ອມກັບລະບົບ cathodic arc ທີ່ມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂະໜາດໃຫຍ່, ເຊິ່ງຮັບປະກັນຄຸນສົມບັດການເຮັດໃຫ້ເຢັນທີ່ດີເລີດພາຍໃຕ້ສະພາບກະແສໄຟຟ້າສູງ. ຄວາມໄວໃນການເຄື່ອນທີ່ຂອງຈຸດ arc ແມ່ນໄວ, ອັດຕາການ ionization ແມ່ນສູງ, ແລະອັດຕາການ deposition ແມ່ນໄວ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ການ deposition ຂອງຊັ້ນເຄືອບທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ລຽບນຽນຂຶ້ນດ້ວຍຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງທີ່ດີກວ່າ ແລະ ປະສິດທິພາບໃນອຸນຫະພູມສູງ.
ຂອບເຂດການນໍາໃຊ້:
ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວສາມາດສະສົມ AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN, ແລະ ເຄືອບແຂງທີ່ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງອື່ນໆ, ເຊິ່ງໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນແມ່ພິມ, ເຄື່ອງມືຕັດ, ເຄື່ອງເຈາະ, ຊິ້ນສ່ວນລົດຍົນ, ລູກສູບ ແລະ ຜະລິດຕະພັນອື່ນໆ.

— ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍອຸປະກອນເຄືອບແຂງ PVDເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua