Орчин үеийн үйлдвэрлэл нь эд ангиудаас, ялангуяа өндөр температур, өндөр даралт, хүчтэй үрэлт зэрэг эрс тэс нөхцөлд ажилладаг эд ангиудаас илүү өндөр гүйцэтгэл шаардаж байгаа тул бүрэх технологи нь улам бүр чухал болж байна. Хатуу бүрэх нь багажны бат бөх чанар, боловсруулалтын нарийвчлал, бүтээгдэхүүний нийт гүйцэтгэлийг сайжруулахад гол үүрэг гүйцэтгэдэг. PVD (Физик уурын тунадасжуулалт) гадаргуугийн боловсруулалтын технологи нь энэ салбарын инновацийн тэргүүн эгнээнд орж, бүрэх технологийн дэвшлийг бий болгож байна.
№1 PVD процесс гэж юу вэ?
PVD процесс нь бүрэх материалыг хатуу эсвэл шингэн төлөвөөс хийн төлөвт хувиргахын тулд физик аргуудыг ашиглан, дараа нь уурын тунадасжуулалтаар дамжуулан суурь гадаргуу дээр хуримтлуулж, жигд, хатуу, бат бөх бүрхүүл үүсгэхийг хэлнэ. Уламжлалт химийн уурын тунадасжуулалттай (CVD) харьцуулахад PVD-ийн гол давуу талууд нь бага температурт бүрэх, бүрэх зузаан, найрлагыг нарийн хянах чадвар, байгаль орчинд ээлтэй, эрчим хүчний хэмнэлттэй шинж чанартай байдагт оршино.
Хатуу бүрхүүлд PVD-ийн №2 давуу талууд
Өвөрмөц давуу талуудынхаа ачаар PVD технологи нь хатуу бүрхүүл хэрэглэхэд, ялангуяа өндөр хатуулаг, маш сайн элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтээс хамгаалах чадвар өндөртэй газарт өргөн хэрэглэгддэг. PVD процессын гол давуу талууд нь:
1. Хэт өндөр хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй
PVD хатуу бүрхүүл нь эд ангийн хатуулгийг мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлдэг. TiN (титаны нитрид), TiAlN (титаны хөнгөн цагаан нитрид), CrN (хромын нитрид) зэрэг материалыг хуримтлуулснаар бүрхүүлийн хатуулаг 25GPa–63GPa буюу түүнээс дээш хүрч болно. Эдгээр хатуу бүрхүүл нь элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг үр дүнтэй сайжруулж, гадаргуугийн үрэлтийг бууруулж, исэлдэлтийн эсэргүүцлийг нэмэгдүүлж, багаж хэрэгсэл, хэв болон бусад эд ангийн ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.
2. Өндөр температурт маш сайн тэсвэртэй
PVD бүрхүүл нь өндөр температурт маш сайн тэсвэртэй тул хэт өндөр температур, өндөр үрэлт эсвэл химийн зэврэлтэд өртсөн эд ангиудад тохиромжтой. Жишээлбэл, TiAlN бүрхүүл нь зөвхөн онцгой хатуулаг өгөхөөс гадна өндөр температурт бүтцийн тогтвортой байдлыг хадгалдаг тул өндөр температурт боловсруулах зориулалттай зүсэх хэрэгсэл, хэвэнд өргөн хэрэглэгддэг.
3. Машины үр ашгийг сайжруулахын тулд бага үрэлтийн коэффициент
PVD бүрхүүл нь хэт бага үрэлтийн коэффициентийг бий болгоход тусалдаг бөгөөд материалын үрэлт болон элэгдлийг бууруулдаг бөгөөд энэ нь боловсруулалтын үр ашиг болон гадаргуугийн чанарыг сайжруулдаг. Энэ нь ялангуяа нарийн боловсруулалт болон өндөр хурдтай зүсэлтийн процесст ашигтай байдаг.
4. Байгаль орчинд ээлтэй, өндөр үр ашигтай
Уламжлалт бүрэх техниктэй харьцуулахад PVD процесс нь их хэмжээний хортой химийн бодис шаарддаггүй тул байгаль орчинд ээлтэй технологи юм. Нэмж дурдахад, PVD бүрэх төхөөрөмж нь өндөр үр ашигтай ажилладаг тул томоохон хэмжээний үйлдвэрлэлийн шаардлагыг хангахын тулд хурдан тунадасжуулах боломжийг олгодог.
PVD хатуу бүрхүүлийн №3 хэрэглээний талбарууд
Хатуу бүрхүүлд зориулсан PVD хатуу бүрхүүлийн машинууд нь гадаргуугийн гүйцэтгэл сайтай үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг. Зарим гол хэрэглээний чиглэлүүд нь:
1. Зүсэх хэрэгсэл ба хэв
Багаж хэрэгсэл, хэвний үйлдвэрлэлд, ялангуяа өндөр температур болон үрэлтэд өртдөг зүсэх багаж хэрэгслийн хувьд PVD бүрхүүл нь элэгдэлд тэсвэртэй байдал, зэврэлтээс хамгаалах чадвар, хатуулгийг мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлдэг. TiN бүрхүүлийг эргэлтийн хэрэгсэл, фрезерийн зүсэгч, өрөмдлөгт түгээмэл ашигладаг бол TiAlN бүрхүүлийг өндөр хурдтай зүсэх хэрэглээнд өргөнөөр ашигладаг тул багажны зүсэлтийн үр ашиг, ашиглалтын хугацааг эрс сайжруулдаг.
2. Автомашины эд ангиуд
Цилиндр, поршень, хавхлага зэрэг автомашины хөдөлгүүрийн эд ангиудын хувьд PVD хатуу бүрхүүл нь өндөр температурт маш сайн тэсвэртэй, элэгдэлд тэсвэртэй бөгөөд үрэлтийг үр дүнтэй бууруулж, эд ангийн ашиглалтын хугацааг уртасгаж, тээврийн хэрэгслийн нийт гүйцэтгэлийг сайжруулдаг.
4. Zhenhua FMA0605 PVD хатуу бүрхүүлийн тоног төхөөрөмжийн танилцуулга
Тоног төхөөрөмжийн давуу талууд
Нуман макро хэсгүүдийг үр ашигтай шүүх; Ta-C бүрхүүл нь өндөр үр ашиг болон дээд зэргийн гүйцэтгэлийг хоёуланг нь санал болгодог.
Хэт өндөр хатуулаг, өндөр температурт тэсвэртэй хэт хатуу бүрхүүл, бага үрэлтийн коэффициент, маш сайн зэврэлтээс хамгаалах чадварыг бий болгодог. Дундаж хатуулаг нь 25GPa–63GPa хүрдэг.
Катод нь урд байрлалтай ороомог болон байнгын соронзон давхаргыг хослуулсан хос хөтлөгчтэй технологийг ашиглан ионы сийлбэрийн систем болон гурван хэмжээст олон өнцөгт бэхэлгээтэй хамтран ажиллаж, үр ашигтай тунадасжуулалтыг бий болгодог.
Өндөр гүйдлийн нөхцөлд маш сайн хөргөлтийн шинж чанарыг хангадаг том диаметртэй катодын нумаар тоноглогдсон. Нумын цэгийн хөдөлгөөний хурд хурдан, ионжуулалтын хурд өндөр, тунадасжих хурд хурдан. Энэ нь исэлдэлтэд тэсвэртэй, өндөр температурын гүйцэтгэлтэй илүү нягт, жигд бүрхүүлийг тунадасжуулах боломжийг олгодог.
Хэрэглээний хүрээ:
Тоног төхөөрөмж нь AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN болон бусад өндөр температурт тэсвэртэй хэт хатуу бүрхүүлийг хадгалах боломжтой бөгөөд эдгээрийг хэв, зүсэх хэрэгсэл, цоолтуур, автомашины эд анги, поршен болон бусад бүтээгдэхүүнд өргөнөөр ашигладаг.
— Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнPVD хатуу бүрэх тоног төхөөрөмжЖэнхуа тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 2-р сарын 20