Quá trình lắng đọng hơi chân không

Quy trình lắng đọng hơi chân không thường bao gồm các bước như làm sạch bề mặt vật liệu nền, chuẩn bị trước khi phủ, lắng đọng hơi, nhặt các mảnh, xử lý sau khi mạ, thử nghiệm và hoàn thiện sản phẩm.
(1) Vệ sinh bề mặt nền. Tường buồng chân không, khung nền và các bề mặt dầu, rỉ sét, vật liệu mạ còn sót lại dễ bốc hơi trong chân không, ảnh hưởng trực tiếp đến độ tinh khiết của lớp màng và lực liên kết, phải được vệ sinh trước khi mạ.
(2) Chuẩn bị trước khi phủ. Phủ chân không rỗng đến độ chân không thích hợp, chất nền và vật liệu phủ để xử lý trước. Làm nóng chất nền, mục đích là để loại bỏ độ ẩm và tăng cường lực liên kết của đế màng. Làm nóng chất nền dưới chân không cao có thể giải hấp khí hấp phụ trên bề mặt chất nền, sau đó xả khí ra khỏi buồng chân không bằng bơm chân không, có lợi cho việc cải thiện độ chân không của buồng phủ, độ tinh khiết của lớp màng và lực liên kết của đế màng. Sau khi đạt đến độ chân không nhất định, nguồn bốc hơi đầu tiên có công suất điện thấp hơn, làm nóng trước màng hoặc làm nóng chảy trước. Để ngăn ngừa sự bốc hơi đến chất nền, hãy che nguồn bốc hơi và vật liệu nguồn bằng một tấm chắn, sau đó đi vào công suất điện cao hơn, vật liệu phủ được làm nóng nhanh đến nhiệt độ bốc hơi, bốc hơi rồi tháo tấm chắn.
(3) Bốc hơi. Ngoài giai đoạn bốc hơi để lựa chọn nhiệt độ nền thích hợp, nhiệt độ bốc hơi vật liệu mạ bên ngoài lắng đọng áp suất không khí cũng là một thông số rất quan trọng. Áp suất khí lắng đọng là chân không phòng phủ, xác định phạm vi tự do trung bình của các phân tử khí di chuyển trong không gian bốc hơi và khoảng cách bốc hơi nhất định dưới các nguyên tử hơi và khí còn lại và số lần va chạm giữa các nguyên tử hơi.
(4) Dỡ hàng. Sau khi độ dày của lớp màng đạt yêu cầu, dùng vách ngăn che nguồn bốc hơi và ngừng gia nhiệt, nhưng không hướng dẫn không khí ngay lập tức, cần tiếp tục làm mát trong điều kiện chân không trong một khoảng thời gian để làm mát, để ngăn ngừa mạ, vật liệu mạ còn sót lại và điện trở, nguồn bốc hơi, v.v. bị oxy hóa, sau đó dừng bơm, sau đó thổi phồng, mở buồng chân không để lấy chất nền ra.

– Bài viết này được phát hành bởisản xuất máy phủ chân khôngr Quảng Đông Chấn Hoa