Процес вакуумного осадження з парової фази зазвичай включає такі етапи, як очищення поверхні підкладки, підготовка перед нанесенням покриття, осадження з парової фази, збирання деталей, обробка після покриття, тестування та отримання готової продукції.
(1) Очищення поверхні підкладки. Стінки вакуумної камери, каркас підкладки та інші поверхні, такі як олія, іржа, залишки матеріалу покриття, легко випаровуються у вакуумі, що безпосередньо впливає на чистоту шару плівки та міцність зчеплення, тому їх необхідно очистити перед нанесенням покриття.
(2) Підготовка перед нанесенням покриття. Покриття порожнє у вакуумі до відповідного ступеня вакууму, підкладка та матеріали покриття для попередньої обробки. Нагрівання підкладки має на меті видалення вологи та підвищення міцності зчеплення мембрани з основою. Нагрівання підкладки під високим вакуумом може десорбувати адсорбований газ на поверхні підкладки, а потім відкачувати газ з вакуумної камери за допомогою вакуумного насоса, що сприяє покращенню ступеня вакууму в камері покриття, чистоти шару плівки та міцності зчеплення з основою плівки. Після досягнення певного ступеня вакууму, перше джерело випаровування з меншою потужністю електроенергії попередньо нагріває або плавить плівку. Щоб запобігти випаровування на підкладку, джерело випаровування та матеріал джерела покриття покривають перегородкою, а потім вводять електроенергію більшої потужності, матеріал покриття швидко нагрівають до температури випаровування, випаровують, а потім перегородку знімають.
(3) Випаровування. Окрім вибору відповідної температури підкладки на етапі випаровування, важливим параметром також є температура випаровування матеріалу покриття поза тиском повітря, що осаджується. Тиск газу, тобто вакуум у приміщенні для нанесення покриття, визначає середній вільний пробіг молекул газу, що рухаються у просторі випаровування, та певну відстань випаровування під парою та залишковими атомами газу, а також кількість зіткнень між атомами пари.
(4) Розвантаження. Після того, як товщина шару плівки досягне потрібного рівня, накрийте джерело випаровування перегородкою та припиніть нагрівання, але не направляйте повітря негайно. Необхідно продовжувати охолодження у вакуумі протягом певного часу, щоб запобігти окисленню покриття, залишкового матеріалу покриття та опору, джерела випаровування тощо, а потім припинити накачування, а потім надувати, відкрити вакуумну камеру, щоб вийняти підкладку.
–Цю статтю опубліковановиробництво вакуумної машини для покриттяр Гуандун Чженьхуа
Час публікації: 23 серпня 2024 р.