ۋاكۇئۇم قاپلاشتا، تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش پەقەت بىر پارامېتىر ئەمەس، بەلكى پىلاستىنكا سۈپىتى، يېپىشقاقلىقى ۋە تەكرارلىنىشچانلىقىنىڭ ئاساسى. ئاساسىي قاتلامنى قىزىتىشتىن تارتىپ سوۋۇتۇشقىچە، تېمپېراتۇرا ئەگرى سىزىقىنىڭ ھەر بىر باسقۇچى پىلاستىنكا قۇرۇلمىسى، يۈزەكى مورفولوگىيەسى ۋە ئوپتىكىلىق ياكى مېخانىكىلىق ئىقتىدارغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. ئەلالاشتۇرۇلغان ئىسسىقلىق پىروفىلى مۇقىم قاپلاش شارائىتى، مۇقىم چۆكۈش نىسبىتى ۋە ئىشەنچلىك مەھسۇلات مىقدارىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
1. تېمپېراتۇرىنىڭ رولىۋاكۇئۇم قاپلاش
فىزىكىلىق پارغا چۆكۈش (PVD) ياكى خىمىيىلىك پارغا چۆكۈش (CVD) جەريانىدا، تېمپېراتۇرا ئادەمتومنىڭ ھەرىكەتچانلىقى، پەردە يادروسى ۋە ئۆسۈش كىنېتىكىسىغا تەسىر كۆرسىتىدىغان مۇھىم جەريان ئۆزگەرگۈچىسى سۈپىتىدە رول ئوينايدۇ.
تېمپېراتۇرا بەك تۆۋەن بولسا، يۈزەكى تارقىلىش ناچارلىشىپ، تۈۋرۈك شەكىللىك قۇرۇلمىلار، بوشلۇقلار ياكى ئىنچىكە تۆشۈكلەر پەيدا بولىدۇ.
يەنە بىر تەرەپتىن، تېمپېراتۇرىنىڭ ئېشىپ كېتىشى ئىسسىقلىق بېسىمى، ئاساسىي قاتلامنىڭ دېفورماتسىيەسى ياكى ئىستەلمىگەن باسقۇچ ئۆزگىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
شۇڭا، ئېنىق تېمپېراتۇرا ئەگرى سىزىقىنى كونترول قىلىش ئىنژېنېرلارنىڭ پىلاستىنكا زىچلىقى، چاپلىشىش كۈچى ۋە بېسىم دەرىجىسىنى تەڭپۇڭلاشتۇرۇشىغا يول قويۇپ، ئىقتىدارلىق ۋە گۈزەل قاپلاش ئىقتىدارىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
2. تېمپېراتۇرا ئېگرى سىزىقىنى كونترول قىلىشنىڭ ئاساسلىق باسقۇچلىرى
ۋاكۇئۇم قاپلاش جەريانىدىكى تولۇق تېمپېراتۇرا ئەگرى سىزىقى ئادەتتە ئالدىن قىزىتىش، چۆكمە قىزىتىش، تېمپېراتۇرىنى مۇقىملاشتۇرۇش ۋە كونترول قىلىنىدىغان سوۋۇتۇش قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
(1) ئاساسىي قاتلامنى ئالدىن قىزىتىش
چۆكمە قىلىشتىن بۇرۇن، ئاساسىي قاتلاملار ئاستا-ئاستا نىشان تېمپېراتۇرىغا قىزىتىلىپ، يۈزەكى بۇلغانمىلارنى (مەسىلەن، سۇ مولېكۇلاسى ياكى كاربون سۇ بىرىكمىلىرى) سۈمۈرۈۋېلىپ، پەردىنىڭ يېپىشقاقلىقىنى ياخشىلايدۇ. بۇ باسقۇچ ئىسسىقلىق زەربىسى ياكى تەكشىسىز كېڭىيىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن بىردەك قىزىتىش سۈرئىتىنى كونترول قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ.
(2) چۆكمە تېمپېراتۇرىسىنى باشقۇرۇش
پىلىنكا شەكىللىنىش جەريانىدا، تېمپېراتۇرا بەلگىلەنگەن نۇقتىدىن ±2–3°C ئىچىدە مۇقىم تۇرۇشى كېرەك. تەۋرىنىشلەر پارغا ئايلانغان ئاتوملارنىڭ ئوتتۇرىچە ئەركىن يولىنى ئۆزگەرتىپ، پىلىنكا ستېخىئومېتىرىيەسى ياكى ئوپتىكىلىق تۇراقلىقنى ئۆزگەرتىشى مۇمكىن. ماگنىترون پۈركۈش سىستېمىسىدا، ئېنىق تەڭشەش ئۈچۈن تېرموجۇپلار ياكى ئىنفىرا قىزىل نۇر سېنزورلىرى ئارقىلىق ئاكتىپ تېمپېراتۇرا ئىنكاسى كۆپىنچە يېپىق ئايلانما PID كونترول قىلىش بىلەن بىرلەشتۈرۈلىدۇ.
(3) سوۋۇتۇش ئەگرى سىزىقىنى ئەلالاشتۇرۇش
چۆكمە قىلىنغاندىن كېيىنكى سوۋۇتۇش ئوخشاشلا مۇھىم. تېز سوۋۇتۇش پەردە يېرىلىشى ياكى قالدۇق بېسىمنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، ئاستا سوۋۇتۇش بولسا تورنىڭ مۇقىملىقى ۋە يېپىشىشىنى ساقلاشقا ياردەم بېرىدۇ. كونترول قىلىنىدىغان سوۋۇتۇش يەنە ۋاكۇئۇمدىن مۇھىت ئاتموسفېراسىغا ئۆتكەندە ئوكسىدلىنىش خەۋپىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ.
3. ئېنىق ئىسسىقلىقنى باشقۇرۇش تېخنىكىلىرى
جەرياننىڭ ھەممە يېرىدە تېمپېراتۇرىنى توغرا كونترول قىلىشقا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن، ئىلغار سىستېمىلار كۆپ خىل لايىھەلەش ۋە نازارەت قىلىش ئىستراتېگىيىلىرىنى بىرلەشتۈرىدۇ:
كۆپ رايونلۇق ئىسسىتىش: مۇستەقىل ئىسسىتىش رايونلىرى چوڭ ياكى مۇرەككەپ ئاساسىي قاتلاملارنىڭ تېمپېراتۇرا تەقسىملىنىشىنى بىردەك كاپالەتلەندۈرىدۇ.
ھەقىقىي ۋاقىتلىق ئىنكاس ھالقىسى: ئىچكى سېنزورلار ئارقىلىق ئۈزلۈكسىز نازارەت قىلىش ئىسسىتقۇچنىڭ قۇۋۋىتىنى دىنامىك تەڭشەشكە شارائىت ھازىرلايدۇ.
رادىئاتسىيە ۋە ئۆتكۈزگۈچلۈكنى تەڭشەش: ئىسسىتقۇچنىڭ ئورنىنى ئەلالاشتۇرۇش تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ.
سىمۇلياتسىيەگە ئاساسلانغان جەرياننى تەڭشەش: ئىسسىقلىق مودېلى ھەر بىر قاپلاش رېتسېپى ئۈچۈن ئەڭ ياخشى ئۆستۈرۈش ۋە تۆۋەنلىتىش سۈرئىتىنى بەلگىلەشكە ياردەم بېرىدۇ.
ماتېرىيالغا خاس تەڭشەش: سۇلياۋ، ئەينەك ياكى ساپال قاتارلىق ھەر خىل ئاساسىي ماتېرىياللار ئۆزلىرىنىڭ ئالاھىدە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى سەۋەبىدىن خاسلاشتۇرۇلغان قىزىتىش پىروفىللىرىنى تەلەپ قىلىدۇ.
4. كىنو سۈپىتى ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىگە تەسىرى
ياخشى لايىھەلەنگەن تېمپېراتۇرا ئەگرى سىزىقى بىۋاسىتە يۇقىرى سۈپەتلىك قاپلاش نەتىجىسىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ:
پەردە يۈزىنىڭ تارقىلىشىنى ياخشىلاش ئارقىلىق پەردە يېپىشتۇرۇشنى كۈچەيتىدۇ.
ئىچكى بېسىم ۋە نۇقسان زىچلىقى تۆۋەنلىدى.
مۇرەككەپ گېئومېتىرىيەلەردە بىردەك ئوپتىكىلىق ياكى مېتال كۆرۈنۈش.
مۇقىم چۆكمە سۈرئىتى ۋە يۇقىرى جەريان تەكرارلىنىشچانلىقى.
ئاپتوموبىل، ئوپتىكىلىق ۋە ئېلېكترونلۇق زاپچاسلارغا نىسبەتەن، تېمپېراتۇرىنى مۇقىم باشقۇرۇش قاپلاملارنىڭ ئەينەك قايتۇرۇش ئىقتىدارىدىن تارتىپ قاتتىق قاپلامنىڭ چىدامچانلىقىغىچە بولغان قاتتىق ئىقتىدار ۋە كۆرۈنۈش ئۆلچىمىگە يېتىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
5. خۇلاسە
تېمپېراتۇرا ئەگرى سىزىقىنى كونترول قىلىش ھەر قانداق ۋاكۇئۇم قاپلاش سىستېمىسىنىڭ جىمجىت يادروسى. ئىنژېنېرلار پەقەت تېمپېراتۇرىنى تەڭشەشنىڭ ئورنىغا، ئىسسىقلىق دىنامىكىسىنى ئىگىلەش ئارقىلىق يۇقىرى پىلاستىنكا سۈپىتىگە، تۆۋەن نۇقسان نىسبىتىگە ۋە يۇقىرى ئىشەنچلىك جەريانغا ئېرىشەلەيدۇ.
ۋاكۇئۇم قاپلاش قوللىنىلىشى ئاپتوموبىل ئىچكى قىسمى، ئوپتىكىلىق ئۈسكۈنىلەر ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئورالمىلارغا كېڭىيىۋاتقان بولغاچقا، ئەقلىي تېمپېراتۇرا ئەگرى سىزىقىنى كونترول قىلىش ئادەتتىكى قاپلاش بىلەن ھەقىقىي لايىھەلەنگەن نېپىز پەردىلەر ئوتتۇرىسىدىكى چېگرانى بەلگىلەشنى داۋاملاشتۇرىدۇ.
—بۇ ماقالە ئېلان قىلىندى ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرىئىشلەپچىقارغۇچى Zhenhua چاڭ-توزان سۈمۈرگۈچ
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2025-يىلى 10-ئاينىڭ 9-كۈنى
