Mukuvhara vacuum, kudzora tembiricha hakusi kungori parameter - ndiyo hwaro hwemhando yefirimu, kunamira, uye kugona kudzokorora. Kubva pakupisa substrate kusvika pakutonhorera, nhanho yega yega ye curve yetembiricha inokanganisa zvakananga chimiro chefirimu, chimiro chepamusoro, uye mashandiro e optical kana mechanical. Iyo optimized thermal profile inovimbisa mamiriro ekufukidza akagadzikana, mwero wekuisa zvinhu nguva dzose, uye goho rezvigadzirwa rakavimbika.
1. Basa reTembiricha muKuputira Vacuum
Munguva yekuiswa kwemhepo inodziya (PVD) kana kuiswa kwemhepo inodziya (CVD), tembiricha inoshanda sechinhu chakakosha chinokanganisa kufamba kweatomu, firimu, uye kukura kwechinhu.
Tembiricha yakaderera zvikuru inokonzera kusapararira zvakanaka kwenzvimbo, zvichikonzera kuti pave nemakomba, maburi, kana maburi emapini.
Kupisa kwakanyanya, kune rumwe rutivi, kunogona kukonzera kushushikana kwekupisa, kushanduka kwe substrate, kana kushanduka kwechikamu chisingadiwi.
Saka, kudzora tembiricha nemazvo kunobvumira mainjiniya kuyera huwandu hwefirimu, simba rekunamatira, uye huwandu hwekushushikana, zvichiita kuti coating ishande zvakanaka uye ishande zvakanaka.
2. Matanho Akakosha Ekudzora Kukombama Kwetembiricha
Kutevedza tembiricha yakakwana mukushandisa vacuum coating kunowanzo sanganisira kudziyisa, kudziyisa, kudzikisa tembiricha, uye kutonhora kunodzorwa.
(1) Kupisa pasi pevhu
Zvisati zvaiswa, zvinhu zvinodziya zvishoma nezvishoma kusvika pakupisa kwakatarwa kuti zvibvise tsvina pamusoro (senge mamorekuru emvura kana mahydrocarbon) uye zvivandudze kunamira kwefirimu. Danho iri rinoda kudzora kupisa kwakafanana kudzivirira kuvhunduka kwekupisa kana kuwedzera kusina kuenzana.
(2) Kutarisira Kupisa Kwenzvimbo
Panguva yekuumbwa kwefirimu, tembiricha inofanira kuramba yakadzikama mukati me ±2–3°C kubva panzvimbo yakatarwa. Kuchinja-chinja kunogona kuchinja nzira yakasununguka yemaatomu akapiswa uye kuchinja stoichiometry yefirimu kana ma optical constants. Muma magnetron sputtering systems, active temperature feedback kuburikidza ne thermocouples kana infrared sensors inowanzo sanganiswa ne closed-loop PID control kuti pave nemutemo chaiwo.
(3) Kugadzirisa Kutonhodza Kwemakomba
Kutonhodza mushure mekudonhedza zvinhu kwakakoshawo. Kutonhodza nekukurumidza kunogona kukonzera kutsemuka kwefirimu kana kusara kwekushushikana, nepo kutonhora zvishoma nezvishoma kuchibatsira kuchengetedza kugadzikana uye kunamira kwelattice. Kutonhodza kwakadzorwa kunoderedzawo njodzi dze oxidation kana uchichinja kubva kumhepo inotonhorera kuenda kumhepo iri mukati.
3. Matekiniki Ekutarisira Kupisa Kwakarurama
Kuti ive nechokwadi chekudzora tembiricha kwakarurama mukati mekuita kwese, masisitimu epamusoro anobatanidza nzira dzakawanda dzekugadzira nekutarisa:
Kupisa kwenzvimbo dzakawanda: Nzvimbo dzekupisa dzakazvimiririra dzinoita kuti tembiricha iparadzirwe zvakaenzana kune nzvimbo dzakakura kana dzakaoma.
Zvidimbu zvemhinduro panguva chaiyo: Kuramba uchitarisa kuburikidza nemasensa akaiswa mukati kunogonesa kugadzirisa simba reheater nenzira inochinja-chinja.
Kuenzanisa kwechiedza nemhepo inoyerera: Kuisa hita zvakanaka kunoderedza kupisa.
Kugadzirisa maitiro ekushandisa pakuenzanisa: Kuenzanisa kwekupisa kunobatsira kutsanangura mwero wakakodzera wekuwedzera nekudzikamisa kwemhando yega yega yekubika.
Kuenzanisa zvinhu zvakasiyana-siyana: Zvinhu zvakasiyana-siyana zvepasi—zvakaita sepurasitiki, girazi, kana ceramics—zvinoda mapurofayiri ekupisa akagadzirwa nemaoko nekuda kwekuchinjana kwekupisa uye kuwedzera kwemafuta.
4. Kukanganisa Hunhu hweMafirimu uye Mubereko weKugadzirwa
Kucheka kwekushisa kwakagadzirwa zvakanaka kunoshandura zvakananga kuva mhedzisiro yepamusoro yekuputira:
Kunamira kwefirimu kwakawedzerwa kuburikidza nekupararira kuri nani kweinterface.
Kuderedzwa kwekushushikana kwemukati uye kuwanda kwezvikanganiso.
Chitarisiko chakafanana chemaziso kana chesimbi pamitsetse yakaoma.
Mwero wekuisa zvinhu wakagadzikana uye kudzokorora kwakawanda kwemaitiro.
Pazvinhu zvemotokari, zvemaziso, uye zvemagetsi, kugadziriswa kwekushisa nguva dzose kunoita kuti machira asvike pakushanda kwakasimba uye kwekuona - kubva pakupenya kwegirazi kusvika pakusimba kwejira rakasimba.
5. Mhedziso
Kudzora tembiricha ndiyo musimboti wechinhu chega chega chinoputira vacuum. Nekuziva mafambiro ekupisa — pane kungoisa tembiricha — mainjiniya vanogona kuwana mhando yepamusoro yefirimu, mwero wakaderera wezvikanganiso, uye kuvimbika kukuru kwemaitiro.
Sezvo mashandisirwo ekuputira vacuum achiwedzera mukati memotokari, zvishandiso zve optical, uye ma semiconductor packaging, intelligent temperature curve control icharamba ichitsanangura muganhu uripo pakati pemachira akajairwa nemafirimu matete akagadzirwa zvechokwadi.
—Nyaya iyi yakaburitswa na midziyo yekunamira ye vacuummugadziri Zhenhua Vacuum
Nguva yekutumira: Gumiguru-09-2025