Dahaarka faakuumka, xakamaynta heerkulku maaha halbeeg oo keliya - waa aasaaska tayada filimka, dhegdhegga, iyo ku celcelinta. Laga bilaabo kuleylka substrate-ka ilaa qaboojinta, marxalad kasta oo qalooca heerkulka ah ayaa si toos ah u saamaysa qaab-dhismeedka filimka, qaab-dhismeedka dusha sare, iyo waxqabadka indhaha ama farsamada. Astaanta kulaylka ee la hagaajiyay waxay hubisaa xaaladaha dahaarka ee deggan, heerarka dhigista joogtada ah, iyo wax-soo-saarka badeecada ee la isku halleyn karo.
1. Doorka Heerkulka eeDahaarka faakuumka
Inta lagu jiro kaydinta uumiga jirka (PVD) ama kaydinta uumiga kiimikada (CVD), heerkulku wuxuu u dhaqmaa sidii isbeddel muhiim ah oo habka ah oo saameeya dhaqdhaqaaqa adatom, nucleation-ka filimka, iyo dhaqdhaqaaqa koritaanka.
Heerkulka aadka u hooseeya wuxuu keenaa faafitaan liita oo dusha sare ah, taasoo keenta qaab-dhismeedyo tiirar ah, godad, ama godad biin ah.
Heerkulka xad-dhaafka ah, dhanka kale, wuxuu sababi karaa cadaadis kul, qaab-dhismeedka substrate-ka, ama isbeddel aan loo baahnayn oo wejiga ah.
Sidaa darteed, xakamaynta qalooca heerkulka saxda ah waxay u oggolaanaysaa injineerada inay dheellitiraan cufnaanta filimka, xoogga dhegdhegga, iyo heerka walbahaarka, iyagoo hubinaya waxqabadka dahaarka shaqada iyo bilicda labadaba.
2. Marxaladaha Muhiimka ah ee Xakamaynta Qalooca Heerkulka
Qallooca heerkulka oo dhammaystiran ee habka dahaarka faakuumka ayaa badanaa ka mid ah horay u kululaynta, kulaylinta dhigista, dejinta heerkulka, iyo qaboojinta la xakameeyey.
(1) Kuleylinta Substrate-ka
Kahor inta aan la dhigin, substrates-ka ayaa si tartiib tartiib ah loogu kululeeyaa heerkulka bartilmaameedka ah si looga takhaluso wasakhda dusha sare (sida molecules-ka biyaha ama hydrocarbons) loona hagaajiyo ku dhegganaanta filimka. Marxaladani waxay u baahan tahay xakamaynta heerka kuleylka oo isku mid ah si looga hortago shoogga kulaylka ama fiditaanka aan sinnayn.
(2) Maareynta Heerkulka Dhigista
Inta lagu jiro sameynta filimka, heerkulku waa inuu ahaadaa mid deggan ±2–3°C inta lagu jiro meesha la dejiyay. Isbeddellada ayaa laga yaabaa inay beddelaan wadada xorta ah ee atomyada uumiga leh waxayna beddeli karaan stoichiometry-ga filimka ama joogtada indhaha. Nidaamyada buufinta magnetron, jawaab celinta heerkulka firfircoon iyada oo loo marayo kuleyliyeyaasha ama dareemayaasha infrared-ka ayaa badanaa lagu daraa xakamaynta PID ee xiran si loo habeeyo saxnaanta.
(3) Hagaajinta Qalooca Qaboojinta
Qaboojinta ka dib marka la dhigo meel bannaan ayaa sidoo kale muhiim ah. Qaboojinta degdegga ah waxay keeni kartaa dildilaac filim ama cadaadis haraaga ah, halka qaboojinta gaabiska ah ay gacan ka geysaneyso ilaalinta xasilloonida shabagga iyo isku dhejinta. Qaboojinta la xakameeyey waxay sidoo kale yareysaa khataraha oksaydhka marka laga gudbayo vacuum una gudbayo jawiga deegaanka.
3. Farsamooyinka Maareynta Kulaylka Saxda ah
Si loo hubiyo xakamaynta heerkulka saxda ah inta lagu jiro hawsha, nidaamyada horumarsan waxay isku daraan istaraatiijiyado naqshadeyn iyo kormeer oo badan:
Kuleyliyaha aagag badan: Aagagga kululeeyaha ee madaxa-bannaan waxay hubiyaan in heerkul isku mid ah loo qaybiyo substrate-yada waaweyn ama kuwa adag.
Wareegyada jawaab celinta waqtiga-dhabta ah: La socodka joogtada ah iyada oo loo marayo dareemayaasha ku dhex jira waxay suurtogal ka dhigaysaa hagaajinta firfircoon ee awoodda kuleyliyaha.
Isku dheelitirka shucaaca iyo kan gudbiya: Meelaynta kuleyliyaha ee la hagaajiyay waxay yareysaa heerarka heerkulka.
Hagaajinta habka ku salaysan jilitaanka: Qaabaynta kulaylka waxay ka caawisaa qeexidda heerarka ugu wanaagsan ee kor u qaadista iyo hoos u dhigista cuntada dahaadhka ah.
Habaynta gaarka ah ee walxaha: Alaabada kala duwan ee substrate-ka - sida balaastikada, galaaska, ama dhoobada - waxay u baahan yihiin astaamo kuleylin oo gaar ah sababtoo ah isku-xidhka kulaylka ee kala duwan iyo isku-xidhka ballaarinta.
4. Saamaynta Tayada Filimada iyo Waxsoosaarka Soo-saarka
Qalooca heerkulka si fiican loo qaabeeyey wuxuu si toos ah u tarjumaa natiijooyin dahaadh sare leh:
Ku dhegganaanta filimka oo la xoojiyay iyada oo loo marayo faafinta is-dhexgalka oo la hagaajiyay.
Cadaadiska gudaha iyo cufnaanta cilladaha oo yaraatay.
Muuqaal isku mid ah oo muuqaal ama bir ah oo ka jira joomatari isku dhafan.
Heerka dhigista deggan iyo soo celinta habka sare.
Qaybaha baabuurta, indhaha, iyo elektiroonigga, maaraynta heerkulka joogtada ah waxay hubisaa in dahaadhku uu buuxiyo heerarka shaqada iyo muuqaalka ee adag - laga bilaabo iftiinka muraayadda ilaa cimri dhererka dahaarka adag.
5. Gunaanad
Xakamaynta qalooca heerkulka waa xudunta aamusnaanta ee nidaam kasta oo dahaarka faakuumka ah. Iyagoo baranaya dhaqdhaqaaqa kulaylka - halkii ay ka dejin lahaayeen heerkulka oo keliya - injineeradu waxay gaari karaan tayo filim oo sare, heerarka cilladaha oo hooseeya, iyo isku hallayn weyn oo habka ah.
Maadaama codsiyada dahaarka faakuumka ay ku fidaan gudaha baabuurta, aaladaha indhaha, iyo baakadaha semiconductor-ka, xakamaynta qalooca heerkulka caqliga leh ayaa sii wadi doonta inay qeexdo xadka u dhexeeya dahaarka caadiga ah iyo filimada khafiifka ah ee si dhab ah loo farsameeyay.
—Maqaalkan waxaa daabacay qalabka dahaadhka faakuumkasaaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Oktoobar-09-2025