I le ufiufiina o le vacuum, o le puleaina o le vevela e lē na o se parakalafa — ae o le faavae lea o le lelei o le ata tifaga, le pipii, ma le toe faia. Mai le fa'avevela o le substrate i le fa'amālūlūina, o la'asaga ta'itasi o le pi'o o le vevela e a'afia sa'o ai le fausaga o le ata tifaga, foliga o luga, ma le fa'atinoga opitika po'o masini. O se fa'atulagaga fa'avevela ua fa'aleleia atili e fa'amautinoa ai tulaga mautu o le ufiufi, fua fa'atatau tutusa o le fa'aputuina, ma le fa'atuatuaina o le gaosiga.
1. O le Matafaioi a le Vevela iUfiufi Vacuum
I le taimi o le fa'aputuga o le ausa faaletino (PVD) po'o le fa'aputuga o le ausa kemikolo (CVD), e avea le vevela o se fesuia'iga taua i le fa'agasologa e a'afia ai le gaoioi o le adatom, le fa'avaeina o le ata tifaga, ma le saoasaoa o le tuputupu a'e.
O le maualalo tele o le vevela e mafua ai ona lē lelei le sosolo o le fogaeleele, ma iu ai i ni fausaga fa'akoluma, avanoa, po'o ni pu laiti.
O le tele o le vevela, i le isi itu, e mafai ona mafua ai le atuatuvalega fa'avevela, fa'aleagaina o le substrate, po'o le suiga le mana'omia o le vaega.
O le mea lea, o le puleaina sa'o o le pi'o o le vevela e mafai ai e inisinia ona paleni le mafiafia o le ata tifaga, le malosi o le pipii, ma le tulaga o le atuatuvale, ma mautinoa ai le lelei o le fa'atinoga o le ufiufi ma le matagofie.
2. Vaega Autū o le Puleaina o le Pi'o o le Vevela
O se pi'oga atoa o le vevela i le faiga o le ufiufiina o le vacuum e masani ona aofia ai le fa'avevela muamua, fa'avevela o le teuina, fa'amautuina o le vevela, ma le fa'amālūlūina fa'atonutonu.
(1) Fa'avevela Muamua o le Substrate
A'o le'i fa'aputuina, e fa'avevela malie mea fa'apipi'i i le vevela fa'amoemoeina e fa'amamago ai mea leaga i luga (e pei o molela'au vai po'o hydrocarbons) ma fa'aleleia atili ai le pipii o le ata. O lenei la'asaga e mana'omia ai le puleaina tutusa o le fua fa'avevela e puipuia ai le te'i fa'avevela po'o le fa'alauteleina le tutusa.
(2) Pulega o le Vevela o le Fa'aputuga
I le taimi o le fausiaina o le ata tifaga, e tatau ona tumau le vevela i totonu ole ±2–3°C o le seti. E mafai e suiga ona suia le averesi o le ala sa'oloto o atomu ua fa'apuna ma suia ai le stoichiometry o ata tifaga po'o le optical constants. I totonu o faiga fa'amagnetron sputtering, o le fa'asalalauga o le vevela malosi e ala i thermocouples po'o infrared sensors e masani ona tu'ufa'atasia ma le pulea o le PID tapuni mo le fa'atonutonuina sa'o.
(3) Fa'aleleia atili o le Pi'o Fa'amālūlūina
E tutusa lava le tāua o le fa'amālūlūina pe a uma ona fa'aputu. O le fa'amālūlūina vave e mafai ona o'o atu ai i le māvaevae o le ata tifaga po'o le fa'alavelave fa'asolosolo, ae o le fa'amālūlūina lemu e fesoasoani e fa'atumauina le mautu o le lattice ma le pipi'i. O le fa'amālūlūina fa'atonutonu e fa'aitiitia ai fo'i lamatiaga o le oxidation pe a fesuia'i mai le vacuum i le ea ambient.
3. Tomai mo le Puleaina Sa'o o le Vevela
Ina ia mautinoa le sa'o o le puleaina o le vevela i le faagasologa atoa, o polokalama fa'aonaponei e fa'apipi'i ai le tele o mamanu ma ta'iala mata'ituina:
Fa'avevela e tele-sone: O sone tuto'atasi o le fa'avevela e fa'amautinoa ai le tufatufaina tutusa o le vevela mo mea tetele pe faigata.
Fa'asologa o manatu faaalia i le taimi moni: O le mata'ituina pea e ala i masini fa'alogo ua fa'apipi'iina e mafai ai ona fetu'una'i fa'afuase'i le malosi o le masini fa'avevela.
Paleni o le fa'avevela ma le fa'avevela: O le fa'atulagaina lelei o le masini fa'avevela e fa'aitiitia ai le fesuisuia'i o le vevela.
Fa'asa'oina o le fa'agasologa e fa'avae i le fa'ata'ita'iga: E fesoasoani le fa'ata'ita'iga o le vevela e fa'amalamalama ai le fua fa'atatau sili ona lelei o le fa'atupula'ia ma le fa'atupula'ia mo fua fa'atatau ta'itasi o ufiufi.
Fa'atulagaina fa'apitoa mo meafaitino: O meafaitino eseese o lo'o i lalo—e pei o palasitika, tioata, po'o seramika—e mana'omia ni fa'atulagaga fa'apitoa mo le fa'avevela ona o lo latou fa'agasologa eseese o le vevela ma le fa'alauteleina.
4. Aafiaga i le Tulaga Lelei o Ata Tifaga ma le Mauaina o le Gaosiga
O se mamanu lelei o le pi'o o le vevela e fa'aliliu sa'o atu i ni taunuuga sili ona lelei o le ufiufi:
Fa'aleleia atili le pipii o le ata tifaga e ala i le fa'aleleia atili o le fa'asalalauina o le va'aiga.
Fa'aitiitia le atuatuvale i totonu ma le mafiafia o mea sese.
O foliga vaaia tutusa po'o le foliga u'amea i luga o mamanu lavelave.
Fua faatatau mautu o le teuina ma le maualuga o le toe faia o le faagasologa.
Mo vaega o ta'avale, vaega opitika, ma vaega eletise, o le puleaina faifai pea o le vevela e fa'amautinoa ai o lo'o ausia e vali tulaga fa'atonuina fa'atino ma va'aia — mai le atagia mai o le fa'ata i le tumau o le vali malo.
5. Faaiuga
O le puleaina o le pi'o o le vevela o le fatu filemu lea o faiga ufiufi uma o le vacuum. O le puleaina o le malosi o le vevela - nai lo le na o le setiina o le vevela - e mafai e inisinia ona ausia le maualuga o le tulaga lelei o le ata tifaga, maualalo le fua faatatau o faaletonu, ma sili atu le faatuatuaina o le faagasologa.
A'o fa'alauteleina le fa'aogaina o le ufiufi e aunoa ma le ea i totonu o ta'avale, masini va'ai, ma afifiina o semiconductor, o le pulea atamai o le pi'o o le vevela o le a fa'aauau pea ona fa'amatalaina le tuaoi i le va o ufiufi masani ma ata manifinifi ua fa'ainisinia moni lava.
—O lenei tusiga na lomia e meafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le eakamupani gaosi oloa Zhenhua Vacuum
Taimi na lafoina ai: Oke-09-2025