Ho koaheleng ka vacuum, taolo ea mocheso ha se feela paramethara - ke motheo oa boleng ba filimi, ho khomarela, le ho pheta-pheta. Ho tloha ho futhumatseng ha substrate ho ea ho pholiseng, mohato o mong le o mong oa curve ea mocheso o susumetsa ka ho toba sebopeho sa filimi, sebopeho sa bokaholimo, le ts'ebetso ea mahlo kapa ea mechini. Boemo ba mocheso bo ntlafalitsoeng bo netefatsa maemo a tsitsitseng a koahele, sekhahla se tsitsitseng sa ho boloka, le chai e tšepahalang ea sehlahisoa.
1. Karolo ea Mocheso hoSekoahelo sa lephaka
Nakong ea ho kenngoa ha mouoane oa 'mele (PVD) kapa ho kenngoa ha mouoane oa lik'hemik'hale (CVD), mocheso o sebetsa e le phetoho ea bohlokoa ea ts'ebetso e amang ho tsamaea ha adatom, nucleation ea filimi, le kinetics ea kholo.
Mocheso o tlase haholo o lebisa ho hasana ho fokolang ha bokaholimo, e leng se fellang ka meaho e menyenyane, matheba a sekoti, kapa masoba a pinhole.
Ka lehlakoreng le leng, mocheso o feteletseng o ka baka khatello ea mocheso, phetoho ea substrate, kapa phetoho e sa batleheng ea mohato.
Ka hona, taolo e nepahetseng ea mohatsela e lumella baenjiniere ho leka-lekanya boholo ba filimi, matla a ho khomarela le boemo ba khatello, ho netefatsa ts'ebetso ea ho roala e sebetsang le e ntle.
2. Mehato ea Bohlokoa ea Taolo ea Kou ea Mocheso
Mokhahlelo o felletseng oa mocheso ts'ebetsong ea ho roala ka vacuum hangata o kenyelletsa ho futhumatsa pele, ho futhumatsa ha depositi, ho tsitsisa mocheso le ho pholisa ho laoloang.
(1) Ho Futhumatsa ka tlas'a substrate
Pele ho tshelwa, di-substrate di futhumatswa butle-butle ho fihlela mochesong o rerilweng ho tlosa ditshila tse ka hodima metsi (jwalo ka dimolek'hule tsa metsi kapa di-hydrocarbon) le ho ntlafatsa ho kgomarela ha filimi. Mokgahlelo ona o hloka taolo e tshwanang ya sekgahla sa ho futhumatsa ho thibela ho tshoha ha mocheso kapa katoloso e sa lekanang.
(2) Taolo ea Mocheso oa ho Fetola Tekanyo
Nakong ea ho thehoa ha filimi, mocheso o lokela ho lula o tsitsitse ka hare ho ±2–3°C ho tloha sebakeng se behiloeng. Ho feto-fetoha ha maemo ho ka fetola tsela e mahareng ea mahala ea liathomo tse nang le mouoane le ho fetola stoichiometry ea filimi kapa li-constant tsa optical. Litsamaisong tsa sputtering tsa magnetron, karabelo ea mocheso o sebetsang ka li-thermocouples kapa li-sensor tsa infrared hangata li kopanngoa le taolo ea PID e koetsoeng bakeng sa taolo e nepahetseng.
(3) Ntlafatso ea Kou ea ho Pholisa
Ho phodisa ka mora ho ntsha mocheso ho bohlokwa ka ho lekana. Ho phodisa ka potlako ho ka lebisa ho petsoheng ha filimi kapa kgatellong e setseng, ha phodiso e liehang e thusa ho boloka botsitso ba lera le ho kgomarela. Phodiso e laolwang e boetse e fokotsa dikotsi tsa oxidation ha e fetoha ho tloha sepakapakeng se se nang mokelikeli ho ya sepakapakeng se nang le moya.
3. Mekhoa ea Tsamaiso e Nepahetseng ea Thermal
Ho netefatsa taolo e nepahetseng ea mocheso nakong eohle ea ts'ebetso, litsamaiso tse tsoetseng pele li kopanya maano a mangata a moralo le a tlhokomelo:
Ho futhumatsa ka libaka tse ngata: Libaka tse ikemetseng tsa ho futhumatsa li netefatsa kabo e tšoanang ea mocheso bakeng sa li-substrate tse kholo kapa tse rarahaneng.
Li-loops tsa maikutlo tsa nako ea sebele: Tlhokomelo e tsoelang pele ka li-sensor tse kentsoeng e nolofalletsa phetoho e matla ea matla a hitara.
Ho leka-lekanya mahlaseli le ho tsamaisa motlakase: Sebaka se ntlafalitsoeng sa hitara se fokotsa maemo a mocheso.
Ho lokisa tshebetso ho itshetlehile ka ketsiso: Ho etsa mohlala wa mocheso ho thusa ho hlalosa sekgahla se setle sa ho nyoloha le ho theoha bakeng sa risepe e nngwe le e nngwe ya ho roala.
Tekanyo e ikgethang ya thepa: Disebediswa tse fapaneng tsa substrate—tse kang dipolasetiki, khalase, kapa diseramike—di hloka diprofaele tsa ho futhumatsa tse ikgethileng ka lebaka la ho tsamaisa ha tsona mocheso ka tsela e ikgethang le di-coefficient tsa tsona tsa katoloso.
4. Tšusumetso Boleng ba Filimi le Tlhahiso ea Tlhahiso
Mocheso o entsoeng hantle o fetolela ka ho toba liphetho tse ntle tsa ho roala:
Ho khomarela filimi ho matlafalitsoe ka ho hasana ha sebopeho se ntlafetseng.
Khatello ea ka hare le ho ba le sekoli ho fokotsehile.
Ponahalo e tšoanang ea mahlo kapa ea tšepe holim'a li-geometri tse rarahaneng.
Sekhahla se tsitsitseng sa ho boloka le ho pheta-pheta ha ts'ebetso ho hoholo.
Bakeng sa likarolo tsa likoloi, tsa mahlo le tsa elektroniki, taolo e tsitsitseng ea mocheso e netefatsa hore liphahlo li fihlela maemo a thata a ts'ebetso le a pono - ho tloha ho khanya ea seipone ho isa ho tšoarelleng ha phahlo e thata.
5. Qetello
Taolo ea mothapo oa mocheso ke motheo o khutsitseng oa sistimi e 'ngoe le e 'ngoe ea ho roala ka vacuum. Ka ho tseba matla a mocheso - ho e-na le ho beha mocheso feela - baenjiniere ba ka fihlela boleng bo holimo ba filimi, sekhahla se tlase sa liphoso, le ts'epo e kholo ea ts'ebetso.
Ha lits'ebetso tsa ho koahela ka vacuum li ntse li atoloha ho pholletsa le kahare ho likoloi, lisebelisoa tsa mahlo, le liphutheloana tsa semiconductor, taolo ea mocheso o bohlale e tla tsoela pele ho hlalosa moeli pakeng tsa ho koahela ka mokhoa o tloaelehileng le lifilimi tse tšesaane tse entsoeng ka 'nete.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke lisebelisoa tsa ho roala ka vacuummoetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Mphalane-09-2025