Hauv kev txheej txheej nqus tsev, kev tswj qhov kub thiab txias tsis yog ib qho parameter xwb - nws yog lub hauv paus ntawm qhov zoo ntawm zaj duab xis, kev nplaum, thiab kev rov ua dua. Txij li thaum cua sov rau cov khoom siv mus txog rau qhov txias, txhua theem ntawm qhov kub thiab txias cuam tshuam ncaj qha rau cov qauv zaj duab xis, cov qauv ntawm qhov chaw, thiab kev ua haujlwm ntawm qhov muag lossis kev kho tshuab. Ib qho profile thermal zoo tshaj plaws ua kom muaj kev ruaj khov ntawm cov txheej txheej, cov nqi tso dej sib xws, thiab cov khoom tsim tau zoo.
1. Lub Luag Haujlwm ntawm Kub thiab Txias hauvTxheej Tshuab Nqus Tsev
Thaum lub sijhawm tso cov pa roj (physical vapor deposition - PVD) lossis cov pa roj tshuaj lom neeg (chemical vapor deposition - CVD), qhov kub thiab txias ua rau muaj qhov hloov pauv tseem ceeb uas cuam tshuam rau kev txav mus los ntawm adatom, kev tsim cov zaj duab xis, thiab kev loj hlob ntawm kinetics.
Qhov kub qis dhau ua rau qhov chaw tsis sib kis tau zoo, ua rau muaj cov qauv columnar, voids, lossis pinholes.
Qhov kub ntau dhau, ntawm qhov tod tes, tuaj yeem ua rau muaj kev ntxhov siab thermal, kev hloov pauv ntawm cov substrate, lossis kev hloov pauv theem tsis xav tau.
Yog li ntawd, kev tswj qhov kub thiab txias kom meej tso cai rau cov engineers kom sib npaug qhov ceev ntawm zaj duab xis, lub zog lo, thiab qib kev ntxhov siab, kom ntseeg tau tias ob qho tib si kev ua haujlwm thiab kev zoo nkauj ntawm cov txheej txheem.
2. Cov Theem Tseem Ceeb ntawm Kev Tswj Kub Kub
Ib qho nkhaus kub tag nrho hauv cov txheej txheem nqus tsev feem ntau suav nrog kev ua kom sov ua ntej, kev tso cua sov, kev ruaj khov kub, thiab kev tswj cua txias.
(1) Kev Ua Ntej Rau Cov Khoom Siv
Ua ntej tso cov khoom, cov substrates maj mam raug cua sov mus rau qhov kub uas xav tau kom tshem tawm cov pa phem ntawm qhov chaw (xws li cov dej molecules lossis hydrocarbons) thiab txhim kho kev nplaum ntawm zaj duab xis. Theem no xav tau kev tswj hwm qhov kub thiab txias kom tsis txhob muaj kev kub ntxhov lossis kev nthuav dav tsis sib xws.
(2) Kev Tswj Xyuas Kub ntawm Qhov Chaw Tso Khoom
Thaum lub sijhawm tsim zaj duab xis, qhov kub yuav tsum ruaj khov hauv ± 2–3 ° C ntawm qhov chaw teeb tsa. Kev hloov pauv yuav hloov pauv txoj kev dawb nruab nrab ntawm cov atoms vaporized thiab hloov cov zaj duab xis stoichiometry lossis optical constants. Hauv magnetron sputtering systems, cov lus teb kub nquag ntawm thermocouples lossis infrared sensors feem ntau yog ua ke nrog kaw-loop PID tswj rau kev tswj hwm meej.
(3) Kev Txhim Kho Qhov Txias
Kev txias tom qab tso tawm kuj tseem ceeb ib yam. Kev txias sai tuaj yeem ua rau zaj duab xis tawg lossis muaj kev ntxhov siab seem, thaum kev txias qeeb pab tswj kev ruaj khov thiab kev sib txuas. Kev tswj hwm kev txias kuj tseem txo qis kev pheej hmoo ntawm oxidation thaum hloov pauv ntawm lub tshuab nqus tsev mus rau huab cua ib puag ncig.
3. Cov txheej txheem rau kev tswj hwm qhov kub thiab txias kom meej
Yuav kom paub tseeb tias qhov kub thiab txias raug tswj thoob plaws hauv cov txheej txheem, cov txheej txheem siab heev sib xyaw ntau txoj kev tsim qauv thiab kev saib xyuas:
Kev cua sov ntau thaj chaw: Cov cheeb tsam cua sov ywj pheej ua kom muaj kev faib tawm kub sib npaug rau cov khoom loj lossis cov khoom sib xyaw.
Cov voj voog tawm tswv yim tiag tiag: Kev saib xyuas tas mus li los ntawm cov sensors uas tau teeb tsa ua rau muaj kev hloov kho lub zog ntawm lub tshuab cua sov.
Kev sib npaug ntawm kev tawm hluav taws xob thiab kev coj hluav taws xob: Qhov chaw tso cua sov zoo tshaj plaws txo qhov kub thiab txias.
Kev kho cov txheej txheem raws li kev simulation: Kev ua qauv thermal pab txhais cov nqi ramp up thiab ramp-down zoo tshaj plaws rau txhua daim ntawv qhia txheej.
Kev ntsuas qhov tshwj xeeb ntawm cov khoom siv: Cov ntaub ntawv sib txawv ntawm cov khoom siv hauv qab - xws li yas, iav, lossis ceramics - xav tau cov qauv cua sov tshwj xeeb vim lawv cov thermal conductivity thiab expansion coefficients sib txawv.
4. Kev cuam tshuam rau qhov zoo ntawm zaj duab xis thiab kev tsim khoom
Ib qho nkhaus kub uas tsim tau zoo txhais tau tias yuav ua rau muaj txiaj ntsig zoo dua:
Kev nplaum zaj duab xis zoo dua los ntawm kev txhim kho interface diffusion.
Txo kev ntxhov siab sab hauv thiab qhov ceev ntawm qhov tsis zoo.
Cov tsos pom kev zoo sib xws lossis cov xim hlau thoob plaws cov qauv geometries nyuaj.
Kev ruaj khov ntawm kev tso dej thiab kev ua haujlwm siab.
Rau cov khoom siv hauv tsheb, kho qhov muag, thiab hluav taws xob, kev tswj qhov kub thiab txias tas li ua kom cov txheej txheej ua tau raws li cov qauv kev ua haujlwm thiab kev pom tseeb - los ntawm kev cuam tshuam daim iav mus rau kev ruaj khov ntawm cov txheej txheej tawv.
5. Xaus Lus
Kev tswj qhov kub thiab txias yog lub hauv paus tseem ceeb ntawm txhua lub tshuab nqus tsev. Los ntawm kev tswj hwm qhov kub thiab txias - es tsis yog tsuas yog teeb tsa qhov kub xwb - cov kws ua haujlwm tuaj yeem ua tiav cov yeeb yaj kiab zoo dua, txo qis qhov tsis zoo, thiab kev ntseeg siab dua ntawm cov txheej txheem.
Thaum cov ntawv thov txheej nqus tsev nthuav dav thoob plaws sab hauv tsheb, cov khoom siv kho qhov muag, thiab cov ntim khoom semiconductor, kev tswj hwm qhov kub thiab txias ntse yuav txuas ntxiv txhais cov ciam teb ntawm cov txheej txheem ib txwm muaj thiab cov yeeb yaj kiab nyias nyias uas tsim tiag tiag.
— Tsab xov xwm no tau luam tawm los ntawm cov khoom siv nqus tsev txheejChaw tsim khoom Zhenhua Lub Tshuab Nqus Tsev
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Hli-09-2025