ການຄວບຄຸມເສັ້ນໂຄ້ງອຸນຫະພູມໃນຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ

ໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນຕົວກໍານົດເທົ່ານັ້ນ - ມັນເປັນພື້ນຖານຂອງຄຸນນະພາບຂອງຟິມ, ການຍຶດຕິດ, ແລະ ການເຮັດຊ້ຳອີກ. ຕັ້ງແຕ່ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງຊັ້ນວາງຈົນເຖິງການເຮັດໃຫ້ເຢັນ, ທຸກໆຂັ້ນຕອນຂອງເສັ້ນໂຄ້ງອຸນຫະພູມມີອິດທິພົນໂດຍກົງຕໍ່ໂຄງສ້າງຟິມ, ຮູບຮ່າງຂອງພື້ນຜິວ, ແລະ ປະສິດທິພາບທາງດ້ານແສງ ຫຼື ກົນຈັກ. ໂປຣໄຟລ໌ຄວາມຮ້ອນທີ່ດີທີ່ສຸດຮັບປະກັນສະພາບການເຄືອບທີ່ໝັ້ນຄົງ, ອັດຕາການວາງຊັ້ນທີ່ສອດຄ່ອງ, ແລະ ຜົນຜະລິດຜະລິດຕະພັນທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື.

1. ບົດບາດຂອງອຸນຫະພູມໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ

ໃນລະຫວ່າງການວາງໄອທາງກາຍະພາບ (PVD) ຫຼື ການວາງໄອທາງເຄມີ (CVD), ອຸນຫະພູມເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວແປຂະບວນການທີ່ສຳຄັນທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການເຄື່ອນທີ່ຂອງອາດາມ, ການສ້າງນິວເຄຼຍສຂອງຟິມ, ແລະ ຈັງລະວິທະຍາການຈະເລີນເຕີບໂຕ.

ອຸນຫະພູມຕໍ່າເກີນໄປຈະເຮັດໃຫ້ການແຜ່ກະຈາຍຂອງໜ້າດິນບໍ່ດີ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ເກີດໂຄງສ້າງເປັນເສົາ, ຮູນ້ອຍ ຫຼື ຮູນ້ອຍ.

ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ອຸນຫະພູມທີ່ຫຼາຍເກີນໄປສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ, ການຜິດຮູບຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ຫຼື ການຫັນປ່ຽນໄລຍະທີ່ບໍ່ຕ້ອງການ.

ດັ່ງນັ້ນ, ການຄວບຄຸມເສັ້ນໂຄ້ງອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນຊ່ວຍໃຫ້ວິສະວະກອນສາມາດດຸ່ນດ່ຽງຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟິມ, ຄວາມແຂງແຮງຂອງການຍຶດຕິດ, ແລະ ລະດັບຄວາມກົດດັນ, ຮັບປະກັນທັງປະສິດທິພາບການເຄືອບທີ່ເປັນປະໂຫຍດ ແລະ ຄວາມງາມ.

2. ຂັ້ນຕອນຫຼັກຂອງການຄວບຄຸມເສັ້ນໂຄ້ງອຸນຫະພູມ

ເສັ້ນໂຄ້ງອຸນຫະພູມທີ່ສົມບູນໃນຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຈະປະກອບມີການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນລ່ວງໜ້າ, ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນການວາງຊັ້ນ, ການເຮັດໃຫ້ອຸນຫະພູມຄົງທີ່, ແລະ ການເຮັດໃຫ້ເຢັນທີ່ຄວບຄຸມໄດ້.

(1) ການອຸ່ນພື້ນຜິວກ່ອນ

ກ່ອນການວາງຊັ້ນ, ຊັ້ນຮອງພື້ນຈະຖືກໃຫ້ຄວາມຮ້ອນເທື່ອລະກ້າວຈົນເຖິງອຸນຫະພູມເປົ້າໝາຍເພື່ອດູດຊຶມສິ່ງປົນເປື້ອນເທິງໜ້າດິນ (ເຊັ່ນ: ໂມເລກຸນນ້ຳ ຫຼື ໄຮໂດຄາບອນ) ແລະ ປັບປຸງການຍຶດຕິດຂອງຟິມ. ຂັ້ນຕອນນີ້ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຄວບຄຸມອັດຕາການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຢ່າງເປັນເອກະພາບເພື່ອປ້ອງກັນການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ ຫຼື ການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ.

(2) ການຄຸ້ມຄອງອຸນຫະພູມການຕົກຄ້າງ

ໃນລະຫວ່າງການສ້າງຟິມ, ອຸນຫະພູມຕ້ອງຄົງທີ່ພາຍໃນ ±2–3°C ຂອງຈຸດທີ່ຕັ້ງໄວ້. ການຜັນຜວນອາດຈະປ່ຽນແປງເສັ້ນທາງເສລີສະເລ່ຍຂອງອະຕອມທີ່ຖືກລະເຫີຍ ແລະ ປ່ຽນແປງ stoichiometry ຂອງຟິມ ຫຼື ຄ່າຄົງທີ່ທາງແສງ. ໃນລະບົບການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ, ການຕອບສະໜອງອຸນຫະພູມທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວຜ່ານເທີໂມຄັບເປີ້ນ ຫຼື ເຊັນເຊີອິນຟາເຣດມັກຈະຖືກລວມເຂົ້າກັບການຄວບຄຸມ PID ແບບວົງຈອນປິດເພື່ອການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນ.

(3) ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງເສັ້ນໂຄ້ງຄວາມເຢັນ

ການເຮັດໃຫ້ເຢັນຫຼັງການວາງຊັ້ນມີຄວາມສຳຄັນເທົ່າທຽມກັນ. ການເຮັດໃຫ້ເຢັນໄວສາມາດນຳໄປສູ່ການແຕກຂອງຟິມ ຫຼື ຄວາມກົດດັນທີ່ຍັງເຫຼືອ, ໃນຂະນະທີ່ການເຮັດໃຫ້ເຢັນຊ້າໆຊ່ວຍຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງ ແລະ ການຍຶດຕິດ. ການເຮັດໃຫ້ເຢັນທີ່ຄວບຄຸມຍັງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງດ້ານການຜຸພັງເມື່ອປ່ຽນຈາກສູນຍາກາດໄປສູ່ບັນຍາກາດອ້ອມຂ້າງ.

3. ເຕັກນິກການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ຊັດເຈນ

ເພື່ອຮັບປະກັນການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຖືກຕ້ອງຕະຫຼອດຂະບວນການ, ລະບົບທີ່ກ້າວໜ້າໄດ້ລວມເອົາກົນລະຍຸດການອອກແບບ ແລະ ການຕິດຕາມກວດກາຫຼາຍຢ່າງຄື:

ຄວາມຮ້ອນຫຼາຍເຂດ: ເຂດຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນອິດສະຫຼະຮັບປະກັນການແຈກຢາຍອຸນຫະພູມຢ່າງເປັນເອກະພາບສຳລັບວັດສະດຸຂະໜາດໃຫຍ່ ຫຼື ສະລັບສັບຊ້ອນ.

ວົງວຽນການຕອບສະໜອງແບບເວລາຈິງ: ການຕິດຕາມກວດກາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຜ່ານເຊັນເຊີທີ່ຝັງຢູ່ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດປັບພະລັງງານຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນໄດ້ແບບໄດນາມິກ.

ການດຸ່ນດ່ຽງລັງສີ ແລະ ການນຳໄຟຟ້າ: ຕຳແໜ່ງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີທີ່ສຸດຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ.

ການປັບແຕ່ງຂະບວນການໂດຍອີງໃສ່ການຈຳລອງ: ການສ້າງແບບຈຳລອງຄວາມຮ້ອນຊ່ວຍກຳນົດອັດຕາການເພີ່ມຂຶ້ນ ແລະ ຫຼຸດລົງທີ່ດີທີ່ສຸດສຳລັບສູດການເຄືອບແຕ່ລະສູດ.

ການວັດແທກວັດສະດຸສະເພາະ: ວັດສະດຸພື້ນຖານທີ່ແຕກຕ່າງກັນ - ເຊັ່ນ: ພາດສະຕິກ, ແກ້ວ ຫຼື ເຊລາມິກ - ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີໂປຣໄຟລ໌ຄວາມຮ້ອນທີ່ກຳນົດເອງເນື່ອງຈາກຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ ແລະ ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

4. ຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງການຜະລິດ

ເສັ້ນໂຄ້ງອຸນຫະພູມທີ່ອອກແບບມາຢ່າງດີຈະແປຜົນໄດ້ຂອງການເຄືອບທີ່ດີກວ່າໂດຍກົງ:

ການຍຶດຕິດຂອງຟິມທີ່ດີຂຶ້ນໂດຍຜ່ານການແຜ່ກະຈາຍຂອງອິນເຕີເຟດທີ່ດີຂຶ້ນ.

ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນພາຍໃນ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຂໍ້ບົກຜ່ອງ.

ຮູບລັກສະນະທາງແສງ ຫຼື ໂລຫະທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ.

ອັດຕາການວາງຊັ້ນທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຄືນຂອງຂະບວນການໄດ້ສູງ.

ສຳລັບອົງປະກອບລົດຍົນ, ທາງດ້ານແສງ ແລະ ເອເລັກໂຕຣນິກ, ການຄຸ້ມຄອງອຸນຫະພູມທີ່ສອດຄ່ອງຮັບປະກັນວ່າການເຄືອບຕອບສະໜອງມາດຕະຖານດ້ານການເຮັດວຽກ ແລະ ການເບິ່ງເຫັນທີ່ເຂັ້ມງວດ - ຕັ້ງແຕ່ການສະທ້ອນແສງຂອງກະຈົກໄປຈົນເຖິງຄວາມທົນທານຂອງການເຄືອບແຂງ.

5. ສະຫຼຸບ

ການຄວບຄຸມເສັ້ນໂຄ້ງອຸນຫະພູມແມ່ນແກນກາງທີ່ງຽບສະຫງົບຂອງທຸກໆລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດ. ໂດຍການເປັນແມ່ບົດໃນການຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວທາງຄວາມຮ້ອນ - ແທນທີ່ຈະພຽງແຕ່ຕັ້ງອຸນຫະພູມ - ວິສະວະກອນສາມາດບັນລຸຄຸນນະພາບຂອງຟິມທີ່ສູງຂຶ້ນ, ອັດຕາຂໍ້ບົກພ່ອງຕໍ່າລົງ, ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງຂະບວນການທີ່ສູງຂຶ້ນ.

ໃນຂະນະທີ່ການນຳໃຊ້ການເຄືອບສູນຍາກາດຂະຫຍາຍຕົວໄປທົ່ວພາຍໃນລົດຍົນ, ອຸປະກອນທາງດ້ານແສງ, ແລະ ການຫຸ້ມຫໍ່ເຄິ່ງຕົວນຳ, ການຄວບຄຸມເສັ້ນໂຄ້ງອຸນຫະພູມອັດສະລິຍະຈະສືບຕໍ່ກຳນົດເຂດແດນລະຫວ່າງການເຄືອບທຳມະດາ ແລະ ຟິມບາງໆທີ່ຖືກອອກແບບມາແທ້ໆ.
— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua