زامانىۋى ياسىمىچىلىق داۋاملىق زاپچاسلاردىن تېخىمۇ يۇقىرى ئىقتىدارغا ئېھتىياجلىق بولغاچقا ، بولۇپمۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرا ، يۇقىرى بېسىم ۋە كۈچلۈك سۈركىلىش قاتارلىق پەۋقۇلئاددە شارائىتتا مەشغۇلات قىلىۋاتقانلار ، سىرلاش تېخنىكىسى كۈنسېرى موھىم بولۇپ قالدى. قاتتىق چاپلاق ئىشلىتىش قورالنىڭ چىدامچانلىقىنى ئاشۇرۇش ، پىششىقلاپ ئىشلەشنىڭ ئېنىقلىقى ۋە مەھسۇلاتنىڭ ئومۇمىي ئىقتىدارىنى ئاشۇرۇشتا مۇھىم رول ئوينايدۇ. PVD (فىزىكىلىق ھور چۆكۈش) يۈزەكى داۋالاش تېخنىكىسى بۇ ساھەدە يېڭىلىق يارىتىشنىڭ ئالدىنقى سېپىدە بولۇپ ، سىرلاش تېخنىكىسىنىڭ ئىلگىرىلىشىگە تۈرتكە بولدى.
No.1 PVD جەريانى دېگەن نېمە؟
PVD جەريانى فىزىكىلىق ئۇسۇللارنى ئىشلىتىپ ، سىر ماتېرىياللىرىنى قاتتىق ياكى سۇيۇق ھالەتتىكى گاز ھالىتىگە ئۆزگەرتىشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، ئاندىن ئۇلارنى ھور چۆكمىسى ئارقىلىق يەر ئاستى يۈزىگە قويۇپ ، بىر تۇتاش ، قاتتىق ۋە چىداملىق سىر ھاسىل قىلىدۇ. ئەنئەنىۋى خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (CVD) بىلەن سېلىشتۇرغاندا ، PVD نىڭ ئاساسلىق ئەۋزەللىكى ئۇنىڭ تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا سىرنى ساقلاش ، سىرنىڭ قېلىنلىقى ۋە تەركىبىنى كونترول قىلىش ، شۇنداقلا مۇھىت ئاسرايدىغان ۋە ئېنېرگىيە تېجەيدىغان خۇسۇسىيەتتە.
No2 قاتتىق چاپلاقتىكى PVD نىڭ ئەۋزەللىكى
ئۆزگىچە ئەۋزەللىكى سەۋەبىدىن ، PVD تېخنىكىسى قاتتىق چاپلاق ئىشلىتىشتە كەڭ ئېتىراپ قىلىنغان ، بولۇپمۇ قاتتىقلىق ، ئېسىل ئۇپراشقا چىداملىق ۋە چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى يۇقىرى رايونلاردا. PVD جەريانىدىكى مۇھىم ئەۋزەللىكلەر:
1. دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى قاتتىقلىق ۋە كىيىنىشكە قارشى تۇرۇش
PVD قاتتىق چاپلاش زاپچاسلارنىڭ قاتتىقلىقىنى كۆرۈنەرلىك ئۆستۈرىدۇ. TiN (Titanium Nitride) ، TiAlN (Titanium Aluminium Nitride) ۋە CrN (خىروم نىترىد) قاتارلىق ماتېرىياللارنى ساقلاش ئارقىلىق ، سىرنىڭ قاتتىقلىقى 25GPa - 63GPa ھەتتا ئۇنىڭدىنمۇ يۇقىرى بولىدۇ. بۇ قاتتىق چاپلاقلار ئۇپراشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى ئۈنۈملۈك ياخشىلاپ ، يەر يۈزىنىڭ سۈركىلىشىنى ئازايتىدۇ ، ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى ئاشۇرىدۇ ھەمدە قورال ، قېلىپ ۋە باشقا زاپچاسلارنىڭ خىزمەت ۋاقتىنى ئۇزارتىدۇ.
2. مۇنەۋۋەر يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق
PVD يېپىشقاقلىقى يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى نامايەن قىلىپ ، ئۇلارنى ئىنتايىن يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى سۈركىلىش ياكى خىمىيىلىك چىرىشنىڭ تەسىرىگە ئۇچرىغان زاپچاسلارغا ماس كېلىدۇ. مەسىلەن ، TiAlN سىرلىرى ئالاھىدە قاتتىقلىق بىلەن تەمىنلەپلا قالماي ، يەنە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا قۇرۇلما مۇقىملىقىنى ساقلاپ ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق پىششىقلاپ ئىشلەشكە ئىشلىتىدىغان قورال ۋە قېلىپلاردا كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلىدۇ.
3. ماشىنىنىڭ ئۈنۈمىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن تۆۋەن سۈركىلىش كوئېففىتسېنتى
PVD قاپلاش ئۇلترا تۆۋەن سۈركىلىش كوئېففىتسېنتىنى قولغا كەلتۈرۈشكە ياردەم بېرىدۇ ، ماتېرىيال سۈركىلىش ۋە ئۇپراشنى ئازايتىدۇ ، بۇ پىششىقلاپ ئىشلەش ئۈنۈمى ۋە يەر يۈزى سۈپىتىنى ئۆستۈرىدۇ. بۇ ئىنچىكە پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە يۇقىرى سۈرئەتلىك كېسىش جەريانلىرىغا ئالاھىدە پايدىلىق.
4. مۇھىت ئاسرايدىغان ۋە يۇقىرى ئۈنۈملۈك
ئەنئەنىۋى سىرلاش تېخنىكىسىغا سېلىشتۇرغاندا ، PVD جەريانى كۆپ مىقداردا زىيانلىق خىمىيىلىك ماددىلارنى تەلەپ قىلمايدۇ ، شۇڭا ئۇنى مۇھىت ئاسرايدىغان تېخنىكا قىلىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا ، PVD سىرلاش ئۈسكۈنىلىرى يۇقىرى ئۈنۈمدە مەشغۇلات قىلىپ ، تېز سۈرئەتتە چۆكۈپ ، كەڭ كۆلەمدە ئىشلەپچىقىرىش ئېھتىياجىنى قاندۇرالايدۇ.
3-نومۇرلۇق PVD قاتتىق قاپلاش
قاتتىق قاپلاش ئۈچۈن PVD قاتتىق قاپلاش ماشىنىسى ئۈستۈنكى ئىقتىدارنى تەلەپ قىلىدىغان كەسىپلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ. بەزى مۇھىم قوللىنىشچان رايونلار:
1. كېسىش قوراللىرى ۋە قېلىپلىرى
قورال ۋە قېلىپ ياساشتا ، بولۇپمۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە سۈركىلىشنىڭ تەسىرىگە ئۇچرىغان كېسىش قوراللىرىغا نىسبەتەن ، PVD سىرلىرى ئۇپراشقا چىداملىق ، چىرىشكە چىداملىق ۋە قاتتىقلىقنى كۆرۈنەرلىك كۈچەيتىدۇ. TiN قاپلاش ئادەتتە بۇرۇلۇش قورالى ، تۈگمەن كەسكۈچ ۋە مانېۋىردا ئىشلىتىلىدۇ ، TiAlN سىرلىرى يۇقىرى سۈرئەتلىك كېسىش پروگراممىلىرىدا كەڭ قوللىنىلىپ ، قورال كېسىش ئۈنۈمى ۋە مۇلازىمەت ئۆمرىنى زور دەرىجىدە ئۆستۈرىدۇ.
2. ماشىنا زاپچاسلىرى
سىلىندىر ، پورشېن ۋە كلاپان قاتارلىق ماشىنا ماتورى زاپچاسلىرىغا نىسبەتەن ، PVD قاتتىق پەردازلىرى يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا قارشى تۇرۇش ۋە ئۇپراشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، سۈركىلىشنى ئۈنۈملۈك ئازايتىدۇ ، زاپچاسلارنىڭ ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ ۋە ماشىنىنىڭ ئومۇمىي ئىقتىدارىنى ئۆستۈرىدۇ.
4. جېنخۇا FMA0605 PVD قاتتىق قاپلاش ئۈسكۈنىسىنى تونۇشتۇرۇش
ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئەۋزەللىكى
ئەگمە ماكرو زەررىچىلىرىنى ئۈنۈملۈك سۈزۈش Ta-C سىرلىرى ھەم يۇقىرى ئۈنۈملۈك ھەم يۇقىرى ئۈنۈم بىلەن تەمىنلەيدۇ.
دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى قاتتىقلىق ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق دەرىجىدىن تاشقىرى قاپلاش ، تۆۋەن سۈركىلىش كوئېففىتسېنتى ۋە چىرىتىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىغا ئېرىشىدۇ. ئوتتۇرىچە قاتتىقلىق دەرىجىسى 25GPa - 63GPa غا يېتىدۇ.
كاتود ئالدى ئورۇندىكى كاتەكچە ۋە مەڭگۈلۈك ماگنىت تىپىنى بىرلەشتۈرگەن قوش قوزغاتقۇچ تېخنىكىسىنى قوللانغان بولۇپ ، ئىئون يېيىش سىستېمىسى ۋە ئۈچ ئۆلچەملىك كۆپ بۇلۇڭلۇق قۇرۇلما بىلەن بىللە ئىشلەپ ، ئۈنۈملۈك چۆكۈشنى قولغا كەلتۈرگەن.
چوڭ دىئامېتىرى كاتولىك ئەگمىسى سەپلەنگەن بولۇپ ، يۇقىرى شارائىتتا ئېسىل سوۋۇتۇش خۇسۇسىيىتىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. ئەگمە داغنىڭ ھەرىكەت سۈرئىتى تېز ، ئىئونلاشتۇرۇش نىسبىتى يۇقىرى ، چۆكۈش نىسبىتى تېز. بۇ تېخىمۇ يۇقىرى ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئىقتىدارىغا ئىگە قويۇق ھەم سىلىق پەردىلەرنىڭ چۆكۈشىنى تەمىنلەيدۇ.
ئىلتىماس دائىرىسى:
بۇ ئۈسكۈنىلەر قېلىپ ، كېسىش قوراللىرى ، مۇشتلاش ، ماشىنا زاپچاسلىرى ، پورشېن ۋە باشقا مەھسۇلاتلاردا كەڭ قوللىنىلغان AlTiN ، AlCrN ، TiCrAlN ، TiAlSiN ، CrN ۋە باشقا يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق دەرىجىدىن تاشقىرى قاپارتمىلارنى ساقلىيالايدۇ.
- بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىPVD قاتتىق سىرلاش ئۈسكۈنىسىجېنخۇا ۋاكۇئۇم
يوللانغان ۋاقتى: 20-فېۋرالدىن 2025-يىلغىچە