Në gjendje vakumi, vendoseni copën e punës në katodën e shkarkimit të shkëlqimit me presion të ulët dhe injektoni gazin e duhur. Në një temperaturë të caktuar, një shtresë merret në sipërfaqen e copës së punës duke përdorur procesin e polimerizimit me jonizim që kombinon reaksionin kimik dhe plazmën, ndërsa substancat e gazta thithen në sipërfaqen e copës së punës dhe reagojnë me njëra-tjetrën, dhe së fundmi formohet një film i ngurtë dhe depozitohet në sipërfaqen e copës së punës.
Karakteristikë:
1. Formimi i filmit në temperaturë të ulët, temperatura ka pak ndikim në copën e punës, duke shmangur kokrrën e trashë të formimit të filmit në temperaturë të lartë, dhe shtresa e filmit nuk është e lehtë të bjerë.
2. Mund të veshet me film të trashë, i cili ka përbërje uniforme, efekt të mirë pengues, kompaktësi, stres të vogël të brendshëm dhe nuk është i lehtë për të prodhuar mikroçarje.
3. Puna me plazmë ka një efekt pastrimi, i cili rrit ngjitjen e filmit.
Pajisjet përdoren kryesisht për veshjen e barrierës SiOx me rezistencë të lartë në PET, PA, PP dhe materiale të tjera filmike. Është përdorur gjerësisht në paketimin e produkteve mjekësore/farmaceutike, komponentëve elektronikë dhe paketimin e ushqimit, si dhe në enë paketimi për pije, ushqime yndyrore dhe vajra ushqimorë. Filmi ka veti të shkëlqyera barriere, përshtatshmëri mjedisore, përshkueshmëri të lartë ndaj mikrovalëve dhe transparencë, dhe nuk ndikohet shumë nga ndryshimet e lagështisë dhe temperaturës mjedisore. Ai zgjidh problemin se materialet tradicionale të paketimit mund të sjellin efekte shëndetësore.
| Modele opsionale | Madhësia e pajisjes (gjerësia) |
| RBW1250 | 1250 (mm) |