(3) 무선 주파수 플라즈마 CVD(RFCVD) RF는 정전 용량 결합 방식과 유도 결합 방식, 두 가지 다른 방법으로 플라즈마를 생성하는 데 사용될 수 있습니다. RF 플라즈마 CVD는 13.56MHz의 주파수를 사용합니다. RF 플라즈마의 장점은 마이크로파 플라즈마보다 훨씬 넓은 영역에 확산된다는 것입니다.
고온 필라멘트 CVD는 저압에서 다이아몬드를 성장시키는 가장 초기이자 가장 널리 사용되는 방법입니다. 1982년 마쓰모토(Matsumoto) 외 연구진은 내화 금속 필라멘트를 2000°C 이상으로 가열했는데, 이 온도에서 필라멘트를 통과하는 H2 가스는 쉽게 수소 원자를 생성합니다. 원자 수소의 생성은...
다이아몬드 박막의 전기적 특성 및 응용 분야 다이아몬드는 또한 넓은 금지대역, 높은 전하 이동도, 우수한 열전도율, 높은 포화 전자 드리프트율, 작은 유전 상수, 높은 항복 전압 및 전자-정공 이동도 등의 특성을 가지고 있습니다. 다이아몬드의 항복 전압은 2Ω·m 이상입니다.
강력한 화학적 결합으로 형성된 다이아몬드는 특별한 기계적 및 탄성적 특성을 지니고 있습니다. 다이아몬드의 경도, 밀도 및 열전도율은 알려진 물질 중 가장 높습니다. 또한 다이아몬드는 모든 물질 중에서 가장 높은 탄성 계수를 가지고 있습니다. 다이아몬드의 마찰 계수는...