Maaddaama wax-soo-saarka casriga ahi uu sii wado dalabaadka waxqabadka sare ee qaybaha, gaar ahaan kuwa ku shaqeeya xaaladaha aadka u daran sida heerkulka sare, cadaadiska sare, iyo khilaafka xooggan, tignoolajiyada dahaarka ayaa noqotay mid sii kordheysa oo muhiim ah. Codsiga dahaarka adag ayaa door muhiim ah ka ciyaara kor u qaadida adkeysiga qalabka, saxnaanta mashiinada, iyo guud ahaan waxqabadka alaabta. Tignoolajiyada daawaynta dusha sare ee PVD (Vapor Vapor Deposition) ayaa safka hore kaga jirta hal-abuurnimada goobtan, iyada oo wadata horumarka tignoolajiyada dahaarka.
No.1 Waa maxay Habka PVD?
Habka PVD wuxuu ku lug leeyahay isticmaalka hababka jireed si loogu beddelo walxaha dahaarka laga bilaabo xaalad adag ama dareere ah loona beddelo xaalad gaas ah, ka dibna lagu dhejiyo dusha sare ee substrate iyada oo loo marayo kaydinta uumiga si loo sameeyo dahaar adag, adag, iyo waara. Marka la barbar dhigo kaydinta uumiga kiimikada ee dhaqameed (CVD), faa'iidooyinka aasaasiga ah ee PVD waxay ku jiraan awoodda ay u leedahay in ay ku shubto daaha heerkulka hoose, si sax ah u xakameyso dhumucda dahaarka iyo halabuurka, iyo dabeecadeeda saaxiibtinimo iyo tamar tayo leh.
No.2 Faa'iidooyinka PVD ee Dahaarka Adag
Faa'iidooyinkeeda gaarka ah awgeed, tignoolajiyada PVD waxaa si weyn loogu aqoonsaday adeegsiga dahaarka adag, gaar ahaan meelaha u baahan qallafsanaan sare, caabbinta xirashada wanaagsan, iyo iska caabbinta daxalka sare. Faa'iidooyinka ugu muhiimsan ee habka PVD waxaa ka mid ah:
1. Adayga aadka u sarreeya iyo iska caabinta xidhashada
Dahaarka adag ee PVD waxay si weyn u kordhiyaan adkaanta qaybaha. Marka la dhigo alaabta sida TiN (Titanium Nitride), TiAlN (Titanium Aluminum Nitride), iyo CrN (Chromium Nitride), adkaanta dahaarka waxay gaari kartaa 25GPa-63GPa ama xitaa ka sareeya. Dahaarradan adag waxay si wax ku ool ah u wanaajiyaan iska caabbinta xirashada, waxay yareeyaan nabarrada dusha sare, waxay kordhiyaan caabbinta oksaydhka, waxayna kordhiyaan nolosha adeegga aaladaha, caaryada, iyo qaybaha kale.
2. Iska caabin heerkul sare oo heersare ah
Dahaarka PVD waxay muujinayaan iska caabin heerkul sare oo heersare ah, taasoo ka dhigaysa inay ku habboon yihiin qaybaha heerkulku ba'an yahay iyo khilaaf sare ama daxalka kiimikaad. Tusaale ahaan, dahaarka TiAlN kaliya ma bixiyaan engegnaan gaar ah laakiin sidoo kale waxay ilaalinayaan xasilloonida qaab dhismeedka heerkul sarreeya, taasoo ka dhigaysa in si weyn loogu isticmaalo goynta qalabka iyo caaryada codsiyada mashiinnada heerkulka sarreeya.
3. Iskuxidhka Isku-dhafka hooseeya ee Hufnaanta Mashiinka ee La Hagaajiyay
Dahaarka PVD wuxuu caawiyaa in la gaaro isku-xirnaanta aadka u hooseeya, hoos u dhigista isku dhaca walxaha iyo xirashada, taas oo kor u qaadeysa hufnaanta mashiinka iyo tayada dusha sare. Tani waxay si gaar ah faa'iido u leedahay mashiinnada saxda ah iyo hababka goynta xawaaraha sare leh.
4. Deegaanka u saaxiib ah oo aad u hufan
Marka la barbardhigo farsamooyinka dahaarka dhaqameed, habka PVD uma baahna xaddi badan oo kiimikooyin waxyeello leh, taasoo ka dhigaysa tignoolajiyada deegaanka u wanaagsan. Intaa waxaa dheer, qalabka daahan ee PVD wuxuu ku shaqeeyaa hufnaan sare, taasoo awood u siinaysa meel dhigista degdega ah si loo daboolo baahiyaha wax soo saarka ee baaxadda leh.
No.3 Goobaha Codsiga ee Dahaarka Adag ee PVD
Mashiinnada dahaarka adag ee PVD ee dahaarka adag ayaa si weyn loogu isticmaalaa warshadaha u baahan waxqabadka dusha sare. Qaar ka mid ah meelaha muhiimka ah ee codsiga waxaa ka mid ah:
1. Qalabka Goynta iyo Caaryada
Qalabka iyo wax soo saarka caaryada, gaar ahaan qalabka goynta heerkul sare iyo is jiid jiid, dahaarka PVD waxay si weyn u kordhiyaan caabbinta xidhashada, iska caabinta daxalka, iyo adkaanta. Dahaarka TiN waxaa caadi ahaan loo isticmaalaa qalab rogid, wax jarjaraya, iyo layliyo, halka daahan TiAlN si ballaaran lagu dabaqo codsiyada goynta xawaaraha sare leh, si weyn u hagaajinaysaa hufnaan qalab goynta iyo nolosha adeegga.
2. Qaybaha baabuurta
Qaybaha matoorada baabuurta sida dhululubada, bistoonada, iyo valves, dahaarka adag ee PVD waxay bixiyaan iska caabin heerkul sare oo heersare ah waxayna xidhaan iska caabin, si wax ku ool ah u yareeya khilaafka, kordhinta cimriga qaybta, iyo kor u qaadida waxqabadka guud ee gaadiidka.
4. Horudhaca Zhenhua FMA0605 PVD Qalabka Dahaarka adag
Faa'iidooyinka Qalabka
Sifeynta wax ku oolka ah ee walxaha macro-gaab; Dahaarka Ta-C waxay bixiyaan waxtar sare iyo waxqabad sare labadaba.
Wuxuu gaaraa adkeysi aad u saraysa, daahano heerkul sare u adkaysta, iskuxiran hoose oo hooseeya, iyo iska caabin daxalka aad u wanaagsan. Celcelis ahaan engegnaanta waxay gaartaa 25GPa-63GPa.
Cathode-ku waxa uu qaataa tignoolajiyada laba-drive ah oo isku daraysa gariiradda hore u taagan iyo isugaynta magnet joogto ah, iyada oo la shaqaynaysa nidaamka etching ion iyo qalab saddex-geesood ah oo dhinacyo badan leh si loo gaadho meel dhigid hufan.
Ku qalabaysan dhexroor weyn oo cathodic arc, kaas oo hubinaya guryaha qaboojinta ee heer sare ah xaaladaha hadda jira. Xawaaraha dhaqdhaqaaqa dhibicda arc waa dhakhso, heerka ionization waa sarreeyaa, iyo heerka dhigaalka waa degdeg. Tani waxay awood u siinaysaa meel dhigista cufan iyo dahaarka jilicsan oo leh caabbinta oksaydheynta sare iyo waxqabadka heerkulka sare.
Baaxadda Codsiga:
Qalabku wuxuu kaydin karaa AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN, iyo dahaaryo kale oo heerkul sare u adkaysta, kuwaas oo si weyn loogu dabaqay caaryada, qalabka goynta, feerada, qaybaha baabuurta, pistons, iyo alaabada kale.
- Maqaalkan waxaa sii daayayQalabka dahaarka adag ee PVDZhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Febraayo-20-2025