A o faʻaauau pea ona faʻaitiitia le faʻaaogaina o masini semiconductor aʻo faʻaopoopoina nisi galuega faʻatino, o loʻo feagai tekinolosi afifiina ma luʻitau e leʻi mafaufauina. Ua tulaʻi mai le ufiufiina o le vacuum o se faiga autu e mafai ai ona faʻaaogaina afifiina semiconductor faʻaonaponei, e faʻamautinoa ai le faʻaitiitia o masini, faʻatinoga maualuga, ma le faʻatuatuaina i se taimi umi. I le faʻaaogaina o metotia faʻainisinia thin-film e pei o le physical vapor deposition (PVD), chemical vapor deposition (CVD), ma le atomic layer deposition (ALD), e mafai e le au gaosi oloa ona faʻafetaui manaʻoga taua mo le puipuiga o le pa puipui, faʻatinoga eletise, ma le puleaina o le vevela i chips o le isi tupulaga.
Luʻitau Masani i le Afifiina o Semiconductor
Afifiina o le semiconductorua lē toe avea ma se laasaga faigofie e puipuia ai ae o se laasaga e taua tele i le faatinoga. O luʻitau masani e aofia ai:
Ulufale mai o le susu ma le okesene
E matuā maaleale lava masini ua afifiina i totonu o le pusa i le aʻafiaga o le siosiomaga. E oo lava i sina vaega itiiti o le susu po o le sosolo o le okesene e mafai ona oʻo atu ai i le ele, femalagaiga o uʻamea, poʻo le faʻaleagaina o le dielectric.
Fa'atuatuaina o le Pa Puipui
E masani ona lē lava ni meatotino fa'apa puipui o polymer encapsulants masani. A aunoa ma ni ufiufi manifinifi malolosi, e faigofie ona fa'aletonu le fa'atuatuaina o chips i tulaga maualuga o le susū po'o le vevela maualuga.
Femalagaa'iga Eletise ma le Mausali o Feso'ota'iga
O le maualuga o le mafiafia o le eletise i node fa'apitoa e fa'avavevave ai le femalaga'iga o le eletise. O le le lelei o le pipii po'o le le tutusa o ufiufi e mafai ona fa'aleagaina ai le umi o le feso'ota'iga.
Tapula'a Fa'asalalauina o le Vevela
A'o fa'ateleina le malosi o le masini, o le le lava o ufiufi e pulea ai le vevela e mafai ona o'o atu ai i ni nofoaga vevela i nisi vaega, fa'aitiitia le fa'atinoga, ma fa'apu'upu'u ai le umi e ola ai le masini.
Fa'aitiitiga ma le Ufiufi o le Fua Fa'atatau o le Va'aiga
O fausaga afifiina fa'aonaponei e pei o le Through-Silicon Vias (TSV) ma le Through-Glass Vias (TGV) e mana'omia ni ufiufi fa'atusa i totonu o lua ma vias e maualuga le fua faatatau, lea o lo'o avea pea ma fa'afitauli autu fa'apitoa.
Fofo mo le Ufiufi o le Vacuum
1. Ufiufi Puipui o le Susū/Okesene
O ata manifinifi o le SiO₂, SiNₓ, ma le Al₂O₃ e fa'aputuina e ala i le PVD po'o le ALD e avea o ni vaega e teu ai mea, ma fa'aitiitia ai le fua fa'atatau o le fesiita'iga o le ausa vai (WVTR).
O fa'aputuga pa puipui e tele-vaega e tu'ufa'atasia ai vaega inorganic ma hybrid e ausia ai le fa'atuatuaina sili atu, e taua tele mo RF modules ma MEMS packaging.
2. Vaega e Fa'alauiloa ai le Pipii ma Vaega o le Interface
O vaega pipii o le Ti, Cr, po'o le TiN e fa'aleleia atili ai le malosi o le pipii i le va o vaega fa'ametala ma dielectrics, e puipuia ai le vavae'eseina i le taimi o le fa'ata'amilosaga fa'avevela.
O togafitiga i luga o le plasma e faʻaleleia atili ai le faʻasusu ma le faʻapipiʻiina o ata tifaga i luga o mea e maualalo le malosi o le fogaeleele.
3. Vaega o le Taofiofia o le Faasalalauina ma le Eletise
O vaega o le Ta, TaN, ma le Ru e fa'aputuina e ala i le magnetron sputtering e galulue o ni fa'alavelave fa'asalalau lelei i totonu o feso'ota'iga a le Cu.
O nei vaega e faʻaitiitia ai le femalagaiga o le eletise, ma faʻasaoina ai le faʻatinoina o fesoʻotaʻiga i lalo o le mamafa maualuga o le tafe.
4. Ufiufi Pulea o le Vevela
O ufiufi maualuga e fa'avevela ai le vevela e pei o le diamond-like carbon (DLC) po'o ata tifaga AlN e fa'aleleia atili ai le fa'asalalauina o le vevela.
E mafai e ufiufi fa'apitoa ona tu'ufa'atasia i totonu o vaega o semiconductor eletise, masini SiC/GaN, ma chips fa'akomepiuta maualuga (HPC).
5. Ufiufi Fa'atusa mo Fausaga Maualuga le Fua Fa'atatau
E tuʻuina atu e le ALD le pulea i le tulaga atomika, ma faʻamautinoa ai ata tifaga e aunoa ma ni pinhole i TSV ma TGV ma aspect ratios e sili atu i le 10:1.
E taua tele lenei mea mo le afifiina o le 3D IC, lea e aʻafia ai le fua o le gaosiga ona o le mafiafia ma le faʻatuatuaina o fesoʻotaʻiga.
Talosaga mo Mataupu
Afifiina MEMS: O le afifiina o ata manifinifi i fa'aputuga Al₂O₃/SiNₓ e fa'aleleia atili ai le mausali, fa'alauteleina ai le umi e ola ai le masini i siosiomaga ta'avale ma fale gaosi oloa.
RF Front-End Modules: O ufiufi pa puipui e tele-vaega e fa'aitiitia ai le gafatia o parasitic ma le fa'aletonu o le fa'atinoga e mafua mai i le susu.
Eletise Fa'aeletoronika: O ufiufi fa'avevela DLC e fa'aleleia atili ai le fa'asalalauina o le vevela i MOSFET fa'avae i le SiC, ma mafai ai ona fa'aleleia atili le fa'agaioiga.
Tuufaatasiga 3D: O ufiufi ALD tutusa i le TSV/TGV e faʻamautinoa ai le faʻatuatuaina e ala i le insulation ma le metallization mo masini e maualuga le bandwidth memory (HBM).
Fa'amanuiaga o le Ufiufi Vacuum i totonu o Afifiina
Fa'atuatuaina Maualuga: O le fa'atinoga sili ona lelei o le pa puipui ma le pipii e fa'amautinoa ai le mautu o le masini i se taimi umi.
Fa'alauteleina: E lagolagoina e faiga fa'aputuga e fa'avae i le vacuum le afifiina o le tulaga o le wafer (WLP) ma le afifiina o le tulaga o le paneli (PLP), ma mafai ai ona taugofie le gaosiga tele.
Fetuutuuna'i o le Fa'agasologa: Fegalegaleai ma meafaitino eseese (Si, GaAs, SiC, tioata, polymers), fa'afetaia'ia mana'oga eseese o le tu'ufa'atasia.
Usita'ia o Tulafono Fa'atonutonu o le Siosiomaga: Ave'ese faiga fa'asusu e mafua ai le tele o le filogia e pei o le fa'apipi'iina i le eletise, e ogatusa ma tulaga fa'atonuina o gaosiga lanumeamata.
Faaiuga
Ua avea le ufiufiina o le vacuum ma maa autu o afifiina o semiconductor fa'aonaponei, e foia ai lu'itau i le puipuiga o pa puipui, pulega o le vevela, ma le ufiufi maualuga-aspect-ratio. A'o suia le alamanuia i le tu'ufa'atasiga eseese, fausaga o chiplet, ma le 3D stacking, o le a fa'ateleina le mana'oga mo le fa'apipi'iina sa'o o ata manifinifi.
E ala i le faʻafouga faifai pea i le PVD, ALD, ma fausaga ufiufi faʻafefiloi, o fofo ufiufi e le gaogao e le gata ina faʻaleleia atili ai le faʻatuatuaina ae faʻamalosia ai foʻi le lumanaʻi o afifiina semiconductor.
—O lenei tusiga na lomia emeafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le eakamupani gaosi oloa Zhenhua Vacuum
Taimi na lafoina ai: Setema-27-2025