Ka ngwaọrụ semiconductor na-aga n'ihu na-ebelata ma na-ejikọta ọtụtụ ọrụ, teknụzụ nkwakọ ngwaahịa na-eche ihe ịma aka ndị a na-ahụtụbeghị mbụ ihu. Mkpuchi vacuum apụtala dị ka usoro dị mkpa na nkwakọ ngwaahịa semiconductor dị elu, na-ahụ na obere ngwaọrụ dị, arụmọrụ ka elu, na ntụkwasị obi ogologo oge. Site n'iji usoro injinia dị gịrịgịrị dị ka nkwakọ ngwaahịa vepo anụ ahụ (PVD), nkwakọ ngwaahịa vepo kemịkalụ (CVD), na nkwakọ ngwaahịa atomic layer (ALD), ndị nrụpụta nwere ike idozi mkpa dị mkpa maka nchebe mgbochi, arụmọrụ eletriki, na njikwa okpomọkụ na chips ọgbọ na-abịa.
Ihe ịma aka ndị a na-ahụkarị na ngwugwu semiconductor
Nkwakọ ngwaahịa semiconductorỌ bụghịzi usoro nchebe dị mfe kama ọ bụ usoro dị oke mkpa maka arụmọrụ. Ihe ịma aka ndị a na-ahụkarị gụnyere:
Mmiri na Nnyefe Oxygen
Ngwaọrụ ndị e ji ihe kpuchie na-enwe mmetụta dị ukwuu n'ebe gburugburu ebe obibi. Ọbụna ọkwa mmiri ma ọ bụ mgbasa oxygen nwere ike ibute nchara, mbugharị ígwè, ma ọ bụ mmebi dielectric.
Ntụkwasị Obi nke Ihe Mgbochi
Ihe mkpuchi polima nkịtị anaghị egosipụta ihe mgbochi zuru oke. Ọ bụrụ na e nweghị ihe mkpuchi siri ike dị gịrịgịrị, ibe ha na-enwe ike ịda ada n'ọnọdụ oke mmiri ma ọ bụ okpomọkụ dị elu.
Nkwalite Elektrọnik na Njikọta
Njupụta ọkụ eletrik dị elu na-eme ka mbugharị eletriki dịkwuo ngwa ngwa. Nrapado na-adịghị mma ma ọ bụ mkpuchi na-adịghị otu nwere ike imebi njikọ ogologo oge.
Mmachi Mgbasa Ọkụ
Ka njupụta ike ngwaọrụ na-arị elu, mkpuchi njikwa okpomọkụ na-ezughị ezu nwere ike ibute ebe ndị mmadụ na-enwe mmetụta ọjọọ, mmebi arụmọrụ, na obere oge ndụ ngwaọrụ.
Mkpuchi Mbelata na Mkpuchi Oke Akụkụ
Nhazi nkwakọ ngwaahịa dị elu dịka Through-Silicon Vias (TSVs) na Through-Glass Vias (TGVs) chọrọ mkpuchi nhazi n'ime oghere na vias dị elu, nke ka bụ isi ihe na-egbochi teknụzụ.
Ngwọta Mkpuchi Agụụ
1. Mkpuchi Mmiri/Oxygen Mgbochi
Ihe nkiri dị gịrịgịrị nke SiO₂, SiNₓ, na Al₂O₃ nke e tinyere site na PVD ma ọ bụ ALD na-eje ozi dị ka oyi akwa mkpuchi hermetic, na-ebelata ọnụego nnyefe uzuoku mmiri (WVTR) nke ukwuu.
Mkpọchi mgbochi dị iche iche nke na-ejikọta akwa inorganic na ngwakọ na-enweta ntụkwasị obi dị elu, dị oke mkpa maka modulu RF na nkwakọ ngwaahịa MEMS.
2. Akwa ndị na-akwalite nrapado na njikọ
Ibe njikọta Ti, Cr, ma ọ bụ TiN na-eme ka ike njikọ dị n'etiti akwa metallisation na dielectrics dịkwuo mma, na-egbochi delamination n'oge okirikiri okpomọkụ.
Ọgwụgwọ elu plasma na-eme ka mmiri mmiri na ihe nkiri dị n'elu ala dịkwuo mma.
3. Akwa Mkpuchi Mgbasa na Njem Elektrọniki
Ihe mgbochi Ta, TaN, na Ru nke e tinyere site na magnetron sputtering na-arụ ọrụ dị ka ihe mgbochi mgbasa ozi dị irè na njikọ Cu.
N'ime akwa ndị a, a na-ebelata mbugharị elektrọnik, na-echekwa ike njikọ n'okpuru nrụgide dị elu nke ugbu a.
4. Mkpuchi Njikwa Okpomọkụ
Mkpuchi okpomọkụ dị elu dịka carbon dị ka diamond (DLC) ma ọ bụ ihe nkiri AlN na-eme ka okpomọkụ ghara ịpụ apụ.
Mkpuchi emere maka ya na-eme ka o kwe omume itinye aka na modulu semiconductor ike, ngwaọrụ SiC/GaN, na ibe kọmputa dị elu (HPC).
5. Mkpuchi Ndị Na-agbanwe Agbanwe Maka Ọdịdị Elu
ALD na-enye njikwa ọkwa atọm, na-ahụ na ihe nkiri ndị na-agbanwe agbanwe na ndị na-enweghị oghere dị na TSV na TGV nwere oke akụkụ karịrị 10:1.
Nke a dị oke mkpa maka nkwakọ ngwaahịa 3D IC, ebe njupụta na ntụkwasị obi jikọtara ọnụ na-emetụta mmepụta ozugbo.
Ngwa Ikpe
Nkwakọ ngwaahịa MEMS: Mkpuchi ihe mkpuchi dị gịrịgịrị na Al₂O₃/SiNₓ stacks na-eme ka ikike imepụta ihe dịkwuo mma, na-agbatị ndụ ngwaọrụ na gburugburu ụgbọala na ụlọ ọrụ mmepụta ihe.
Modulu RF nke dị n'ihu: Mkpuchi ihe mgbochi dị iche iche na-ebelata ikike parasitic na arụmọrụ mmiri na-akpata.
Eletrọniki Ike: Mkpuchi ihe mkpuchi ọkụ DLC na-eme ka mgbasa okpomọkụ dịkwuo mma na MOSFETs dabere na SiC, na-eme ka arụmọrụ ọrụ dị elu.
Njikọta 3D: Mkpuchi ALD ndị kwekọrọ na TSV/TGV na-eme ka a pụrụ ịdabere na ya site na mkpuchi na metallisation maka ngwaọrụ ebe nchekwa bandwidth dị elu (HBM).
Uru nke mkpuchi uzuzu na ngwugwu
Ntụkwasị Obi Dị Elu: Ihe mgbochi dị elu na arụmọrụ njikọta na-eme ka ngwaọrụ kwụsie ike ogologo oge.
Nhazi: Sistemụ nchekwa ihe eji eme ihe na-akwado nkwakọ ngwaahịa ọkwa wafer (WLP) na nkwakọ ngwaahịa ọkwa panel (PLP), nke na-eme ka mmepụta ya dị ọnụ ala ma dịkwa ọnụ ala.
Mgbanwe Usoro: Dakọtara na ihe dị iche iche (Si, GaAs, SiC, iko, polymers), na-emezu mkpa njikọta dị iche iche.
Nrubeisi na Gburugburu Ebe Obibi: Na-ewepụ usoro mmiri mmiri dị elu dịka electroplating, na-ahazi ụkpụrụ mmepụta akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ.
Mmechi
Mkpuchi uzuoku aghọwo isi ihe dị mkpa na nkwakọ ngwaahịa semiconductor dị elu, na-edozi nsogbu dị na nchedo ihe mgbochi, njikwa okpomọkụ, na mkpuchi oke akụkụ dị elu. Ka ụlọ ọrụ na-agbanwe gaa na njikọta dị iche iche, nhazi chiplet, na stacking 3D, ọchịchọ maka nchekwa ihe mkpuchi dị gịrịgịrị ga-akawanye njọ.
Site na ihe ọhụrụ na-aga n'ihu na ikpo okwu mkpuchi PVD, ALD, na ngwakọ, ngwọta mkpuchi oghere anaghị eme naanị ka ntụkwasị obi dịkwuo mma kamakwa ọ na-eme ka ọdịnihu nke nkwakọ ngwaahịa semiconductor dịkwuo mma.
—E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara yaakụrụngwa mkpuchi agụụonye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Sep-27-2025