රික්ත ආලේපන තාක්ෂණයන්හි, තැන්පත් කිරීමේ කුටිය තුළ අවශේෂ වායූන් පැවතීම තුනී පටලවල ව්යුහාත්මක, දෘශ්ය සහ යාන්ත්රික ගුණාංගවලට සැලකිය යුතු ලෙස බලපෑ හැකිය. PVD, මැග්නට්රෝන ස්පුටරින්, ALD, හෝ PECVD ක්රියාවලීන්හිදී වේවා, අවශේෂ වායු විශේෂ - ජල වාෂ්ප, ඔක්සි... ඇතුළුව.
තවත් කියවන්න