Дар технологияҳои пӯшиши вакуумӣ, мавҷудияти газҳои боқимонда дар дохили камераи таҳшинкунӣ метавонад ба хосиятҳои сохторӣ, оптикӣ ва механикии плёнкаҳои тунук таъсири назаррас расонад. Новобаста аз он ки дар равандҳои PVD, пошидани магнетронӣ, ALD ё PECVD, намудҳои боқимондаи газ - аз ҷумла буғи об, оксиген...
Бештар