Орчин үеийн үйлдвэрлэл нь эд ангиуд, ялангуяа өндөр температур, өндөр даралт, хүчтэй үрэлт зэрэг эрс тэс нөхцөлд ажилладаг эд ангиудаас илүү өндөр гүйцэтгэлийг шаардаж байгаа тул бүрэх технологи улам бүр чухал болж байна. Хатуу бүрээсийг хэрэглэх нь багажийн бат бөх чанар, боловсруулалтын нарийвчлал, бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийг сайжруулахад гол үүрэг гүйцэтгэдэг. PVD (физик уурын хуримтлал) гадаргууг цэвэрлэх технологи нь энэ салбарын шинэчлэлийн тэргүүн эгнээнд орж, бүрэх технологийн дэвшлийг бий болгож байна.
No1 PVD процесс гэж юу вэ?
PVD процесс нь бүрэх материалыг хатуу эсвэл шингэн төлөвөөс хийн төлөвт хувиргах физик аргуудыг ашиглан жигд, хатуу, бат бөх бүрхүүл үүсгэхийн тулд уурын хуримтлалаар дамжуулан субстратын гадаргуу дээр буулгах явдал юм. Уламжлалт химийн уурын хуримтлал (CVD)-тай харьцуулахад PVD-ийн гол давуу тал нь бүрээсийг бага температурт буулгах, бүрхүүлийн зузаан, найрлагыг нарийн хянах, байгаль орчинд ээлтэй, эрчим хүчний хэмнэлттэй чанар юм.
No2 Хатуу бүрхүүлд PVD-ийн давуу тал
Өвөрмөц давуу талуудын улмаас PVD технологи нь хатуу бүрхүүл, ялангуяа өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй байх шаардлагатай газруудад өргөн хэрэглэгддэг. PVD процессын гол давуу талууд нь:
1. Хэт өндөр хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй
PVD хатуу бүрхүүл нь эд ангиудын хатуулгийг ихээхэн нэмэгдүүлдэг. TiN (Титан нитрид), TiAlN (Титан хөнгөн цагаан нитрид), CrN (Хромын нитрид) зэрэг материалыг хадгалснаар бүрхүүлийн хатуулаг 25GPa–63GPa буюу түүнээс дээш хүрч болно. Эдгээр хатуу бүрээс нь элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг үр дүнтэй сайжруулж, гадаргуугийн элэгдлийг бууруулж, исэлдэлтийн эсэргүүцлийг нэмэгдүүлж, багаж хэрэгсэл, хэв болон бусад эд ангиудын ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.
2. Өндөр температурт маш сайн тэсвэртэй
PVD бүрээс нь өндөр температурт гайхалтай тэсвэртэй тул хэт өндөр температур, өндөр үрэлт, химийн зэврэлтэнд өртсөн бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд тохиромжтой. Жишээлбэл, TiAlN бүрээс нь зөвхөн онцгой хатуулаг төдийгүй өндөр температурт бүтцийн тогтвортой байдлыг хадгалж, өндөр температурт боловсруулалт хийх зориулалттай зүсэх хэрэгсэл, хэвэнд өргөн хэрэглэгддэг.
3. Машины бүтээмжийг сайжруулах үрэлтийн коэффициент бага
PVD бүрээс нь хэт бага үрэлтийн коэффициентийг бий болгож, материалын үрэлт, элэгдлийг бууруулж, боловсруулалтын үр ашиг, гадаргуугийн чанарыг сайжруулдаг. Энэ нь ялангуяа нарийн боловсруулалт, өндөр хурдтай зүсэх процесст ашигтай байдаг.
4. Байгаль орчинд ээлтэй, өндөр үр ашигтай
Уламжлалт бүрэх техниктэй харьцуулахад PVD процесс нь их хэмжээний хортой химийн бодис шаарддаггүй тул байгаль орчинд ээлтэй технологи юм. Нэмж дурдахад, PVD бүрэх төхөөрөмж нь өндөр үр ашигтай ажилладаг бөгөөд энэ нь томоохон хэмжээний үйлдвэрлэлийн эрэлт хэрэгцээг хангахын тулд хурдан хуримтлуулах боломжийг олгодог.
No3 PVD хатуу бүрхүүлийн хэрэглээний талбарууд
Хатуу бүрэх зориулалттай PVD хатуу бүрэх машинууд нь гадаргуугийн өндөр гүйцэтгэл шаарддаг үйлдвэрүүдэд өргөн хэрэглэгддэг. Хэрэглээний зарим гол талбарууд нь:
1. Зүсэх хэрэгсэл ба хэв
Багаж, хэвний үйлдвэрлэлд, ялангуяа өндөр температур, үрэлтийн нөлөөнд өртдөг зүсэгч багажны хувьд PVD бүрээс нь элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, хатуулгийг ихээхэн нэмэгдүүлдэг. TiN бүрээсийг ихэвчлэн эргэлтийн хэрэгсэл, тээрэмдэх таслагч, өрөмд ашигладаг бол TiAlN бүрээсийг өндөр хурдтай зүсэх ажилд өргөн ашигладаг бөгөөд энэ нь багажны зүсэлтийн үр ашиг, ашиглалтын хугацааг ихээхэн сайжруулдаг.
2. Автомашины эд анги
Цилиндр, поршен, хавхлага зэрэг автомашины хөдөлгүүрийн эд ангиудын хувьд PVD хатуу бүрхүүл нь өндөр температурт тэсвэртэй, элэгдэлд тэсвэртэй, үрэлтийг үр дүнтэй бууруулж, эд ангиудын ашиглалтын хугацааг уртасгаж, тээврийн хэрэгслийн ерөнхий гүйцэтгэлийг сайжруулдаг.
4. Zhenhua FMA0605 PVD хатуу бүрэх төхөөрөмжийн танилцуулга
Тоног төхөөрөмжийн давуу тал
Нумын макро хэсгүүдийг үр дүнтэй шүүх; Ta-C бүрээс нь өндөр үр ашиг, дээд зэргийн гүйцэтгэлийг санал болгодог.
Хэт өндөр хатуулаг, өндөр температурт тэсвэртэй хэт хатуу бүрхүүл, бага үрэлтийн коэффициент, зэврэлтэнд маш сайн тэсвэртэй. Дундаж хатуулаг нь 25GPa–63GPa хүрдэг.
Катод нь урд талын ороомог ба байнгын соронзыг хослуулсан хос хөтөчтэй технологийг нэвтрүүлж, ион сийлбэрлэх систем болон гурван хэмжээст олон өнцөгт бэхэлгээний хамт ажилладаг бөгөөд үр ашигтай тунадасыг бий болгодог.
Өндөр гүйдлийн нөхцөлд маш сайн хөргөх шинж чанарыг баталгаажуулдаг том диаметртэй катод нумаар тоноглогдсон. Нумын цэгийн хөдөлгөөний хурд хурдан, иончлолын хурд өндөр, тунадасжилт хурдацтай байдаг. Энэ нь исэлдэлтийн өндөр эсэргүүцэлтэй, өндөр температурт ажиллах чадвартай, илүү нягт, гөлгөр бүрэх боломжийг олгодог.
Хэрэглээний хамрах хүрээ:
Энэхүү төхөөрөмж нь хэв, зүсэх багаж, цоолтуур, автомашины эд анги, поршений болон бусад бүтээгдэхүүнд өргөн хэрэглэгддэг AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN болон бусад өндөр температурт тэсвэртэй хэт хатуу бүрхүүлийг хуримтлуулах боломжтой.
- Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнPVD хатуу бүрэх төхөөрөмжЖэнхуа вакуум
Шуудангийн цаг: 2025 оны 2-р сарын 20-ны хооронд