I te mea kei te kaha tonu nga mahi whakangao hou mai i nga waahanga, ina koa ko nga mahi i raro i nga ahuatanga tino nui penei i te pāmahana teitei, te pehanga teitei, me te waku kaha, kua kaha ake te hangarau whakakikorua. Ko te tono o nga whakakikorua pakeke he mahi nui ki te whakarei ake i te mauroa o te taputapu, te tika o te miihini, me te mahinga hua katoa. Ko te PVD (Physical Vapor Deposition) te hangarau maimoatanga mata kei mua i nga mahi hou i tenei mara, e akiaki ana i nga ahunga whakamua i roto i te hangarau whakakikorua.
No.1 He aha te Tukanga PVD?
Ko te tukanga PVD ko te whakamahi tikanga tinana ki te huri i nga rawa paninga mai i te ahua totoka, i te wai ranei ki te ahua hau, katahi ka tuu ki runga i te mata o te tïpako na roto i te whakaheke kohu hei hanga i tetahi paninga kakahu, maro me te roa. Ka whakatauritea ki te tukunga kohu matū tuku iho (CVD), ko nga painga tuatahi o te PVD ko tona kaha ki te whakatakoto i nga paninga ki te iti o te pāmahana, te whakahaere tika i te matotoru paninga me te hanganga, me tona ahua pai ki te taiao me te kaha-kaha.
No.2 Nga Painga o te PVD i roto i nga Panui Maamaa
Na ona painga ahurei, ka mohiotia te hangarau PVD i roto i te whakamahinga o nga paninga pakeke, ina koa ki nga waahi e hiahia ana kia kaha te pakeke, he pai te whakakakahu i te kakahu, me te aukati i te waikura. Ko nga painga matua o te tukanga PVD ko:
1. Ultra-tiketike Hardness me te Wear Ātete
Ko nga paninga pakeke PVD ka tino whakanui i te pakeke o nga waahanga. Ma te whakatakoto i nga taonga penei i te TiN (Titanium Nitride), TiAlN (Titanium Aluminum Nitride), me te CrN (Chromium Nitride), ka eke te pakeke o te paninga ki te 25GPa–63GPa, teitei ake ranei. Ko enei paninga pakeke ka pai ake te whakapai ake i te aukati kakahu, te whakaheke i te abrasion o te mata, te whakanui ake i te aukati o te waikura, me te whakaroa i te oranga o nga taputapu, nga miihini, me etahi atu waahanga.
2. Pai Te Atete Teitei-Tenema
Ko nga paninga PVD e whakaatu ana i te tino parenga teitei-nui, e pai ana mo nga waahanga e pa ana ki te wera nui me te waku nui, te waikura matū ranei. Hei tauira, ko nga paninga TiAlN ehara i te mea he tino uaua engari ka mau tonu te hanganga ki nga pāmahana teitei, ka whakamahia nuitia ki nga taputapu tapahi me nga miihini mo nga tono miihini teitei.
3. Whakawa Waku Iti mo te Pai Miihini Pai ake
Ka awhina nga paninga PVD ki te whakatutuki i nga whakarea waku ultra-iti, te whakaiti i te waku me te kakahu, e whakanui ana i te mahi miihini me te kounga o te mata. He tino painga tenei mo te miihini tika me nga tukanga tapahi tere.
4. He pai ki te taiao me te tino pai
Ka whakaritea ki nga tikanga whakakikorua tawhito, kaore e hiahiatia e te tukanga PVD te nui o nga matū kino, ka waiho hei hangarau taiao. Hei taapiri, ko nga taputapu whakakikorua PVD e mahi ana i te tino pai, e taea ai te tuku tere ki te whakatutuki i nga tono whakangao nui.
No.3 Taupānga Marae o PVD Whakakikoruatia mārō
Ko nga miihini whakakikorua PVD mo nga whakakikorua pakeke e whakamahia nuitia ana i roto i nga umanga e hiahia ana kia pai ake te mahi mata. Ko etahi waahanga tono matua ko:
1. Nga Utauta Tapahi me nga Maama
I roto i te hanga taputapu me te pokepokea ai, ina koa mo te tapahi taputapu e kitea ana ki te teitei o te mahana me te waku, ko nga paninga PVD ka tino whakarei ake i te aukati kakahu, te aukati waikura, me te pakeke. Ko nga paninga TiN e whakamahia nuitia ana i roto i nga taputapu hurihuri, nga kaitapa mira, me nga tarai, i te wa e whakamahia nuitia ana nga paninga TiAlN i roto i nga tono tapahi tere-tere, he pai ake te whakapai ake i te mahi tapahi taputapu me te oranga ratonga.
2. Wae Motu
Mo nga waahanga miihini miihini penei i nga cylinders, pistons, me nga reera, ko nga paninga pakeke PVD he tino pai te aukati i te pāmahana-teitei me te whakakakahu i nga kakahu, he pai te whakaheke i te waku, te roa o te oranga o te waahanga, me te whakarei ake i nga mahi waka katoa.
4. Te Whakataki o Zhenhua FMA0605 PVD Taputapu Whakakikorua Maama
Nga Painga Taputapu
Te tātari pai o nga matūriki tonotono arc; Ko nga paninga Ta-C e tuku ana i te tino pai me te mahi pai ake.
Ka eke ki te pakeke tino teitei, nga paninga superhard-te-te-mahana-aukati, te whakarea waku iti, me te tino pai te aukati waikura. Ka eke te pakeke ki te 25GPa–63GPa.
Ka whakamahia e te cathode tetahi hangarau puku-rua e whakakotahi ana i te porowhita-a-mua me te whakaputu aukume tuturu, e mahi ana i te taha o te punaha katote me te koki maha-toru-ahu ki te whakatutuki i te tuunga pai.
Kua whakauruhia ki te pewa cathodic rahi-diameter, e whakapumau ana i nga mea whakamahana pai i raro i nga ahuatanga o naianei. He tere te tere o te nekehanga wahi arc, he nui te reeti katote, he tere te reeti whakangao. Ma tenei ka taea te whakauru o nga paninga kiato me te maeneene me te pai ake o te aukati o te waikura me te mahi i te pāmahana teitei.
Te Awhi Tono:
Ka taea e nga taputapu te whakatakoto i te AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN, me etahi atu papanga superhard teitei-te-te-te-mahana-aukati, kua whakamahia nuitia i roto i nga miihini, nga taputapu tapahi, nga pupuhi, nga waahanga miihini, nga piston, me etahi atu hua.
— I tukuna tenei tuhinga ePVD taputapu whakakikorua pakekeZhenhua Vacuum
Wā tuku: Feb-20-2025