Vakuuma tvaiku uzklāšanas process parasti ietver tādus soļus kā substrāta virsmas tīrīšana, sagatavošana pirms pārklāšanas, tvaiku uzklāšana, detaļu savākšana, apstrāde pēc pārklāšanas, testēšana un gatavās produkcijas ražošana.
(1) Pamatnes virsmas tīrīšana. Vakuuma kameras sienas, pamatnes rāmis un cita virsmas eļļa, rūsa, pārklājuma materiāla atliekas viegli iztvaiko vakuumā, tieši ietekmējot plēves slāņa tīrību un saķeres spēku, pirms pārklājuma uzklāšanas tās ir jānotīra.
(2) Sagatavošana pirms pārklāšanas. Pārklāšana tukšā vakuumā līdz atbilstošai vakuuma pakāpei, substrāts un pārklājuma materiāli tiek iepriekš apstrādāti. Substrāta karsēšanas mērķis ir noņemt mitrumu un uzlabot membrānas pamatnes saķeres spēku. Substrāta karsēšana augstā vakuumā var desorbēt adsorbēto gāzi uz substrāta virsmas, un pēc tam vakuumsūknis izvada gāzi no vakuuma kameras, kas veicina pārklāšanas kameras vakuuma pakāpes uzlabošanu, plēves slāņa tīrību un plēves pamatnes saķeres spēku. Pēc noteikta vakuuma līmeņa sasniegšanas vispirms iztvaikošanas avots tiek izmantots ar mazāku elektroenerģijas jaudu, lai plēve tiktu iepriekš uzkarsēta vai izkausēta. Lai novērstu iztvaikošanu uz substrāta, iztvaikošanas avots un avota materiāls tiek pārklāts ar deflektoru, pēc tam tiek pievienota lielāka elektroenerģijas jauda, pārklājuma materiāls tiek ātri uzkarsēts līdz iztvaikošanas temperatūrai, iztvaikošana notiek un deflektors tiek noņemts.
(3) Iztvaikošana. Papildus iztvaikošanas posmam, lai izvēlētos atbilstošu substrāta temperatūru, ļoti svarīgs parametrs ir arī pārklāšanas materiāla iztvaikošanas temperatūra ārpus nogulsnēšanās gaisa spiediena. Nogulsnēšanās gāzes spiediens, kas ir pārklāšanas telpas vakuums, nosaka vidējo brīvo gāzes molekulu kustību iztvaikošanas telpā un noteiktu iztvaikošanas attālumu zem tvaika un atlikušajiem gāzes atomiem, kā arī sadursmju skaitu starp tvaika atomiem.
(4) Izkraušana. Pēc tam, kad plēves slāņa biezums atbilst prasībām, pārklājiet iztvaikošanas avotu ar deflektoru un pārtrauciet sildīšanu, bet nekavējoties nevadiet gaisu, ir nepieciešams turpināt dzesēšanu vakuuma apstākļos kādu laiku, lai atdzesētu, lai novērstu pārklāšanu, atlikušo pārklāšanas materiālu un pretestību, iztvaikošanas avotu utt. oksidēšanos, pēc tam pārtrauciet sūknēšanu un pēc tam piepūtiet, atveriet vakuuma kameru, lai izņemtu substrātu.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnas ražošanar Guandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 23. augusts