De Vakuumdampfoflagerungsprozess ëmfaasst allgemeng Schrëtt wéi d'Botzen vun der Substratoberfläche, d'Virbereedung virun der Beschichtung, d'Dampfoflagerung, d'Ophuele vun de Stécker, d'Nobehandlung nom Beschichtungsprozess, d'Tester an d'Fäerdegprodukter.
(1) Reinigung vun der Substratoberfläche. D'Maueren vun der Vakuumkammer, de Substratrahmen an aner Uewerflächenueleg, Rost a Reschter vun der Beschichtungsmaterial kënnen am Vakuum liicht verdampfen, wat direkt d'Rengheet vun der Filmschicht an d'Klebungskraaft beaflosst. Virum Beschichtung musse se gereinegt ginn.
(2) Virbereedung virum Beschichtungsprozess. D'Beschichtung vum Substrat an de Beschichtungsmaterial fir d'Virbehandlung gëtt am Vakuum op de passenden Vakuumgrad beschichtet. Den Zweck vum Substrat ass d'Fiichtegkeet ze entfernen an d'Bindungskraaft vun der Membranbasis ze verbesseren. D'Beschichtung vum Substrat ënner héijem Vakuum kann den adsorbéierte Gas op der Uewerfläch vum Substrat desorbéieren an dann d'Gas duerch d'Vakuumpompel aus der Vakuumkammer erauspompelen. Dëst verbessert de Vakuumgrad vun der Beschichtungskammer, d'Reinheet vun der Filmschicht an d'Bindungskraaft vun der Filmbasis. Nodeems e bestëmmte Vakuumgrad erreecht gouf, gëtt déi éischt Verdampfungsquell mat enger gerénger Stroumleistung virgehëtzt oder virgeschmëlzt. Fir Verdampfung um Substrat ze verhënneren, ginn d'Verdampfungsquell an d'Quellmaterial mat enger Schallplack ofgedeckt, an dann gëtt eng méi héich Stroumleistung agefouert, d'Beschichtungsmaterial gëtt séier op d'Verdampfungstemperatur erhëtzt, verdampft an dann gëtt d'Schallplack ewechgeholl.
(3) Verdampfung. Nieft der Auswiel vun der passender Substrattemperatur an der Verdampfungsphase ass d'Verdampfungstemperatur vum Beschichtungsmaterial ausserhalb vun der Oflagerung vum Loftdrock och e ganz wichtege Parameter. Den Oflagerungsdrock, also de Vakuum am Beschichtungsraum, bestëmmt déi duerchschnëttlech fräi Bewegungsradius vu Gasmolekülen am Verdampfungsraum an eng gewëssen Verdampfungsdistanz ënner den Damp- an de Reschtgasatome souwéi d'Zuel vun de Kollisiounen tëscht den Dampatome.
(4) Entlueden. Nodeems d'Filmschicht d'Ufuerderunge gerecht gouf, sollt d'Verdampfungsquell mat enger Schalldämpfer bedeckt ginn an d'Heizung gestoppt ginn, awer d'Loft net direkt geleet ginn. D'Verdampfungsquell muss eng Zäit laang ënner Vakuum ofgekillt ginn, fir ze verhënneren, datt d'Beschichtung, d'Iwwerreschter vum Beschichtungsmaterial an de Widderstand oxidéieren, d'Verdampfungsquell usw., an dann d'Pompelen gestoppt ginn, an dann opgeblosen ginn, an d'Vakuumkammer opmaachen, fir de Substrat erauszehuelen.
– Dësen Artikel gouf publizéiert vunProduktioun vu Vakuumbeschichtungsmaschinnenr Guangdong Zhenhua
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 23. August 2024