1. Prensîba teknolojiya pêçandina îyonên valahiyê
Bi karanîna teknolojiya derxistina kevana valahiyê di odeyeke valahiyê de, ronahiya kevanê li ser rûyê materyalê katodê çêdibe, dibe sedema çêbûna atom û îyonan li ser materyalê katodê. Di bin bandora zeviya elektrîkê de, tîrêjên atom û îyonê bi leza bilind rûyê perçeya kar wekî anodê bombebaran dikin. Di heman demê de, gazeke reaksiyonê têxe nav odeya valahiyê, û qatek pêçandinê bi taybetmendiyên hêja li ser rûyê perçeya kar çêdibe.
2.Taybetmendiyên pêçandina îyonê valahiyê
(1) Pêveka baş a qata pêçanê, qata fîlmê ne hêsan e ku bikeve.
(2) Pêçandina baş li dora pêçanê û nixumandina rûyê çêtirkirî.
(3) Qalîteya baş a qata pêçandinê.
(4) Rêjeya bilind a depokirinê û çêbûna fîlmê ya bilez.
(5) Cûrbecûr materyalên substrate û materyalên fîlmê yên guncaw ji bo pêçandinê
Amûrên pêçandina entegre ya magnetronê ya pir-kevanî ya dij-şopa tiliyê yên pîvanek mezin
Makîneya pêçandina sputterkirina magnetronê ya dijî-şopa tiliyan tevlîheviyek ji sputterkirina magnetronê ya frekansa navîn, îyonên pir-kevan û teknolojiya AF bikar tîne, ku bi berfirehî di pîşesaziya alavên elektronîkî, alavên xwarinê, plakaya pola zengarnegir a tîtanî, lavaboya pola zengarnegir û hilberandina plakaya pola zengarnegir a mezin de tê bikar anîn. Ew xwedan girêdana baş, dubarekirin, tîrbûn û yekrengiya qata fîlmê, derana bilind û hilberîna hilberê ya bilind e.
Dema weşandinê: 31ê Gulana 2024an