진공증착공정

진공 증착 공정은 일반적으로 기판 표면 세척, 코팅 전 준비, 증착, 조각 수집, 도금 후 처리, 테스트 및 완제품과 같은 단계를 포함합니다.
(1) 기판 표면 세척. 진공 챔버 벽, 기판 프레임 등 표면의 기름, 녹, 잔류 도금 물질은 진공 상태에서 쉽게 증발하여 피막층의 순도와 접합력에 직접적인 영향을 미치므로 도금 전에 세척해야 합니다.
(2) 코팅 전 준비. 코팅은 적절한 진공도까지 진공을 유지한 후, 기판과 코팅 재료를 전처리합니다. 기판을 가열하는 목적은 수분을 제거하고 막 기재의 결합력을 강화하는 것입니다. 고진공 상태에서 기판을 가열하면 기판 표면에 흡착된 가스가 탈착되고, 진공 펌프를 통해 가스가 진공 챔버 밖으로 배출되어 코팅 챔버의 진공도, 막층의 순도, 그리고 막 기재의 결합력을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 특정 진공도에 도달하면, 먼저 저전력 증발원을 사용하여 막을 예열하거나 용융합니다. 기판으로의 증발을 방지하기 위해 증발원과 코팅 재료를 배플로 덮은 후, 고전력 증발원을 사용하여 코팅 재료를 증발 온도까지 빠르게 가열하고 증발시킨 후 배플을 제거합니다.
(3) 증발. 증발 단계와 더불어 적절한 기판 온도 선택, 도금 재료 증발 온도, 증착 외 공기압 또한 매우 중요한 매개변수입니다. 증착 가스 압력, 즉 코팅실 진공도는 증발 공간에서 이동하는 가스 분자의 평균 자유 범위와 증기 ​​및 잔류 가스 원자 아래의 특정 증발 거리, 그리고 증기 원자 간의 충돌 횟수를 결정합니다.
(4) 언로딩. 필름층의 두께가 요구 사항을 충족한 후, 증발원을 배플로 덮고 가열을 멈추되 즉시 공기를 유도하지 말고, 진공 상태에서 일정 시간 동안 냉각을 계속하여 도금, 잔류 도금재 및 저항, 증발원 등의 산화를 방지한 후 펌핑을 멈추고 다시 팽창시켜 진공 챔버를 열어 기판을 꺼냅니다.

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