ಹಾರ್ಡ್ ಲೇಪನಗಳಲ್ಲಿ PVD ಮೇಲ್ಮೈ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ

ಆಧುನಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯು ಘಟಕಗಳಿಂದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಬಯಸುತ್ತಿರುವುದರಿಂದ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ಬಲವಾದ ಘರ್ಷಣೆಯಂತಹ ತೀವ್ರ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವುದರಿಂದ, ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಹೆಚ್ಚು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಲೇಪನಗಳ ಅನ್ವಯವು ಉಪಕರಣದ ಬಾಳಿಕೆ, ಯಂತ್ರದ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಒಟ್ಟಾರೆ ಉತ್ಪನ್ನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರ ವಹಿಸುತ್ತದೆ. PVD (ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ) ಮೇಲ್ಮೈ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಈ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ನಾವೀನ್ಯತೆಯ ಮುಂಚೂಣಿಯಲ್ಲಿದೆ, ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ ಪ್ರಗತಿಗೆ ಚಾಲನೆ ನೀಡುತ್ತದೆ.

ನಂ.1 ಪಿವಿಡಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಎಂದರೇನು?

PVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಭೌತಿಕ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಘನ ಅಥವಾ ದ್ರವ ಸ್ಥಿತಿಯಿಂದ ಲೇಪನ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಅನಿಲ ಸ್ಥಿತಿಗೆ ಪರಿವರ್ತಿಸುತ್ತದೆ, ನಂತರ ಅವುಗಳನ್ನು ಆವಿ ಶೇಖರಣೆಯ ಮೂಲಕ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿ ಏಕರೂಪದ, ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಮತ್ತು ಬಾಳಿಕೆ ಬರುವ ಲೇಪನವನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ. ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, PVD ಯ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಅನುಕೂಲಗಳು ಕಡಿಮೆ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ, ಲೇಪನದ ದಪ್ಪ ಮತ್ತು ಸಂಯೋಜನೆಯನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಅದರ ಪರಿಸರ ಸ್ನೇಹಿ ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿ-ಸಮರ್ಥ ಸ್ವಭಾವದಲ್ಲಿದೆ.

ಸಂಖ್ಯೆ.2 ಹಾರ್ಡ್ ಲೇಪನಗಳಲ್ಲಿ PVD ಯ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು
ಅದರ ವಿಶಿಷ್ಟ ಅನುಕೂಲಗಳಿಂದಾಗಿ, PVD ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಲೇಪನಗಳ ಅನ್ವಯದಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಗುರುತಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ. PVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪ್ರಮುಖ ಅನುಕೂಲಗಳು:

1. ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ
PVD ಹಾರ್ಡ್ ಲೇಪನಗಳು ಘಟಕ ಗಡಸುತನವನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತವೆ. TiN (ಟೈಟಾನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್), TiAlN (ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್), ಮತ್ತು CrN (ಕ್ರೋಮಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್) ನಂತಹ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವುದರಿಂದ, ಲೇಪನದ ಗಡಸುತನವು 25GPa–63GPa ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನದನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು. ಈ ಹಾರ್ಡ್ ಲೇಪನಗಳು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ, ಮೇಲ್ಮೈ ಸವೆತವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉಪಕರಣಗಳು, ಅಚ್ಚುಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಘಟಕಗಳ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ.

2. ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ನಿರೋಧಕತೆ
PVD ಲೇಪನಗಳು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತವೆ, ಇದು ತೀವ್ರ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಘರ್ಷಣೆ ಅಥವಾ ರಾಸಾಯನಿಕ ತುಕ್ಕುಗೆ ಒಳಪಡುವ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, TiAlN ಲೇಪನಗಳು ಅಸಾಧಾರಣ ಗಡಸುತನವನ್ನು ಒದಗಿಸುವುದಲ್ಲದೆ, ಎತ್ತರದ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ರಚನಾತ್ಮಕ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಅಚ್ಚುಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

3. ಸುಧಾರಿತ ಯಂತ್ರ ದಕ್ಷತೆಗಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಘರ್ಷಣೆ ಗುಣಾಂಕ
PVD ಲೇಪನಗಳು ಅತಿ ಕಡಿಮೆ ಘರ್ಷಣೆ ಗುಣಾಂಕಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ವಸ್ತು ಘರ್ಷಣೆ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಯಂತ್ರ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಇದು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಪ್ರಯೋಜನಕಾರಿಯಾಗಿದೆ.

4. ಪರಿಸರ ಸ್ನೇಹಿ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ
ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಲೇಪನ ತಂತ್ರಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, PVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ಹಾನಿಕಾರಕ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುವುದಿಲ್ಲ, ಇದು ಪರಿಸರ ಸ್ನೇಹಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವಾಗಿದೆ. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, PVD ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ, ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಬೇಡಿಕೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ತ್ವರಿತ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ.

ನಂ.3 PVD ಹಾರ್ಡ್ ಕೋಟಿಂಗ್‌ನ ಅನ್ವಯಿಕ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳು
ಉತ್ತಮ ಮೇಲ್ಮೈ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಹಾರ್ಡ್ ಲೇಪನಗಳಿಗಾಗಿ PVD ಹಾರ್ಡ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರಗಳನ್ನು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕೆಲವು ಪ್ರಮುಖ ಅನ್ವಯಿಕ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳು ಸೇರಿವೆ:

1. ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಅಚ್ಚುಗಳು
ಉಪಕರಣ ಮತ್ತು ಅಚ್ಚು ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಘರ್ಷಣೆಗೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಳ್ಳುವ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ, PVD ಲೇಪನಗಳು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಗಡಸುತನವನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತವೆ. TiN ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಟರ್ನಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳು, ಮಿಲ್ಲಿಂಗ್ ಕಟ್ಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಡ್ರಿಲ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆದರೆ TiAlN ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಹೈ-ಸ್ಪೀಡ್ ಕಟಿಂಗ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಅನ್ವಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಉಪಕರಣ ಕತ್ತರಿಸುವ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.

2. ಆಟೋಮೋಟಿವ್ ಘಟಕಗಳು
ಸಿಲಿಂಡರ್‌ಗಳು, ಪಿಸ್ಟನ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳಂತಹ ಆಟೋಮೋಟಿವ್ ಎಂಜಿನ್ ಘಟಕಗಳಿಗೆ, PVD ಹಾರ್ಡ್ ಲೇಪನಗಳು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಸವೆತ ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತವೆ, ಘರ್ಷಣೆಯನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಘಟಕಗಳ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಒಟ್ಟಾರೆ ವಾಹನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.

4. ಝೆನ್ಹುವಾ FMA0605 PVD ಹಾರ್ಡ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಪರಿಚಯ
ಸಲಕರಣೆಗಳ ಅನುಕೂಲಗಳು
ಆರ್ಕ್ ಮ್ಯಾಕ್ರೋ-ಕಣಗಳ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಶೋಧನೆ; Ta-C ಲೇಪನಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಎರಡನ್ನೂ ನೀಡುತ್ತವೆ.
ಅತಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ-ನಿರೋಧಕ ಸೂಪರ್‌ಹಾರ್ಡ್ ಲೇಪನಗಳು, ಕಡಿಮೆ ಘರ್ಷಣೆ ಗುಣಾಂಕ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ. ಸರಾಸರಿ ಗಡಸುತನ 25GPa–63GPa ತಲುಪುತ್ತದೆ.

ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಮುಂಭಾಗದ ಸ್ಥಾನದಲ್ಲಿರುವ ಸುರುಳಿ ಮತ್ತು ಶಾಶ್ವತ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ ಪೇರಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಡ್ಯುಯಲ್-ಡ್ರೈವ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡಿದೆ, ಇದು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಅಯಾನ್ ಎಚಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆ ಮತ್ತು ಮೂರು ಆಯಾಮದ ಬಹು-ಕೋನ ಫಿಕ್ಚರ್ ಜೊತೆಗೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
ದೊಡ್ಡ ವ್ಯಾಸದ ಕ್ಯಾಥೋಡಿಕ್ ಆರ್ಕ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿದ್ದು, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರವಾಹದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ತಂಪಾಗಿಸುವ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಆರ್ಕ್ ಸ್ಪಾಟ್ ಚಲನೆಯ ವೇಗವು ವೇಗವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಅಯಾನೀಕರಣ ದರವು ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಶೇಖರಣಾ ದರವು ವೇಗವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಇದು ಉತ್ತಮ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯೊಂದಿಗೆ ದಟ್ಟವಾದ ಮತ್ತು ನಯವಾದ ಲೇಪನಗಳ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ವ್ಯಾಪ್ತಿ:
ಉಪಕರಣವು AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN, ಮತ್ತು ಇತರ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನ-ನಿರೋಧಕ ಸೂಪರ್‌ಹಾರ್ಡ್ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಬಹುದು, ಇವುಗಳನ್ನು ಅಚ್ಚುಗಳು, ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳು, ಪಂಚ್‌ಗಳು, ಆಟೋಮೋಟಿವ್ ಘಟಕಗಳು, ಪಿಸ್ಟನ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಉತ್ಪನ್ನಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಅನ್ವಯಿಸಲಾಗಿದೆ.

— ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುPVD ಹಾರ್ಡ್ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳುಝೆನ್ಹುವಾ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್