ដោយសារការផលិតទំនើបបន្តទាមទារឱ្យមានដំណើរការខ្ពស់ពីសមាសធាតុ ជាពិសេសផលិតផលដែលដំណើរការក្រោមលក្ខខណ្ឌធ្ងន់ធ្ងរដូចជា សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ សម្ពាធខ្ពស់ និងការកកិតខ្លាំង បច្ចេកវិទ្យានៃការស្រោបបានកាន់តែមានសារៈសំខាន់។ ការអនុវត្តនៃថ្នាំកូតរឹងដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការបង្កើនភាពធន់របស់ឧបករណ៍ ភាពជាក់លាក់នៃម៉ាស៊ីន និងការអនុវត្តផលិតផលទាំងមូល។ បច្ចេកវិជ្ជាព្យាបាលលើផ្ទៃ PVD (Physical Vapor Deposition) គឺនៅជួរមុខនៃការច្នៃប្រឌិតក្នុងវិស័យនេះ ដែលជំរុញឱ្យមានភាពជឿនលឿននៃបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត។
លេខ 1 តើដំណើរការ PVD គឺជាអ្វី?
ដំណើរការ PVD ពាក់ព័ន្ធនឹងការប្រើប្រាស់វិធីសាស្ត្ររូបវន្ត ដើម្បីបំប្លែងសម្ភារៈថ្នាំកូតពីសភាពរឹង ឬរាវទៅជាស្ថានភាពឧស្ម័ន បន្ទាប់មកដាក់ពួកវាទៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមតាមរយៈការបំភាយចំហាយ ដើម្បីបង្កើតជាថ្នាំកូតឯកសណ្ឋាន រឹង និងប្រើប្រាស់បានយូរ។ បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងការទម្លាក់ចំហាយគីមីបែបប្រពៃណី (CVD) គុណសម្បត្តិចម្បងរបស់ PVD គឺស្ថិតនៅក្នុងសមត្ថភាពដាក់ស្រទាប់ថ្នាំកូតនៅសីតុណ្ហភាពទាប គ្រប់គ្រងយ៉ាងជាក់លាក់នូវកម្រាស់ និងសមាសភាពនៃថ្នាំកូត និងធម្មជាតិដែលមិនប៉ះពាល់ដល់បរិស្ថាន និងថាមពល។
គុណសម្បត្តិលេខ 2 នៃ PVD នៅក្នុងថ្នាំកូតរឹង
ដោយសារតែគុណសម្បត្តិពិសេសរបស់វា បច្ចេកវិទ្យា PVD ត្រូវបានគេទទួលស្គាល់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការអនុវត្តនៃថ្នាំកូតរឹង ជាពិសេសនៅក្នុងតំបន់ដែលត្រូវការភាពរឹងខ្ពស់ ធន់នឹងការពាក់ល្អ និងធន់នឹងការច្រេះ។ គុណសម្បត្តិសំខាន់ៗនៃដំណើរការ PVD រួមមាន:
1. ភាពរឹងខ្លាំង និងធន់នឹងការពាក់
ថ្នាំកូតរឹង PVD បង្កើនភាពរឹងរបស់សមាសធាតុយ៉ាងសំខាន់។ តាមរយៈការដាក់សម្ភារៈដូចជា TiN (Titanium Nitride), TiAlN (ទីតានីញ៉ូមនីត្រាត) និង CrN (Chromium Nitride) ភាពរឹងនៃថ្នាំកូតអាចឡើងដល់ 25GPa–63GPa ឬខ្ពស់ជាងនេះ។ ថ្នាំកូតរឹងទាំងនេះមានប្រសិទ្ធភាពធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពធន់នឹងការពាក់ កាត់បន្ថយការបាក់បែកលើផ្ទៃ បង្កើនភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្ម និងពន្យារអាយុសេវាកម្មរបស់ឧបករណ៍ ផ្សិត និងសមាសធាតុផ្សេងៗទៀត។
2. ភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ល្អឥតខ្ចោះ
ថ្នាំកូត PVD បង្ហាញភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដែលធ្វើឱ្យពួកវាល្អសម្រាប់សមាសធាតុដែលទទួលរងនូវសីតុណ្ហភាពខ្លាំង និងការកកិតខ្ពស់ ឬការ corrosion គីមី។ ជាឧទាហរណ៍ ថ្នាំកូត TiAlN មិនត្រឹមតែផ្តល់នូវភាពរឹងពិសេសប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងរក្សាស្ថេរភាពរចនាសម្ព័ន្ធនៅសីតុណ្ហភាពកើនឡើង ដែលធ្វើឱ្យវាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧបករណ៍កាត់ និងផ្សិតសម្រាប់កម្មវិធីម៉ាស៊ីនដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
3. មេគុណកកិតទាបសម្រាប់ការកែលម្អប្រសិទ្ធភាពម៉ាស៊ីន
ថ្នាំកូត PVD ជួយសម្រេចបាននូវមេគុណកកិតទាបបំផុត កាត់បន្ថយការកកិត និងការពាក់សម្ភារៈ ដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពម៉ាស៊ីន និងគុណភាពផ្ទៃ។ នេះមានប្រយោជន៍ជាពិសេសសម្រាប់ម៉ាស៊ីនដែលមានភាពជាក់លាក់ និងដំណើរការកាត់ដែលមានល្បឿនលឿន។
4. មិនប៉ះពាល់ដល់បរិស្ថាន និងមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។
បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងបច្ចេកទេសថ្នាំកូតបែបប្រពៃណី ដំណើរការ PVD មិនត្រូវការសារធាតុគីមីដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់ច្រើនទេ ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាបច្ចេកវិទ្យាដែលមិនប៉ះពាល់ដល់បរិស្ថាន។ លើសពីនេះ ឧបករណ៍ថ្នាំកូត PVD ដំណើរការប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ដែលអាចឱ្យការដកប្រាក់រហ័ស ដើម្បីបំពេញតម្រូវការផលិតកម្មទ្រង់ទ្រាយធំ។
វាលកម្មវិធីលេខ 3 នៃថ្នាំកូតរឹង PVD
ម៉ាស៊ីន PVD Hard Coating សម្រាប់ថ្នាំកូតរឹងត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មដែលទាមទារការអនុវត្តផ្ទៃខាងលើ។ ផ្នែកកម្មវិធីសំខាន់ៗមួយចំនួនរួមមាន:
1. ឧបករណ៍កាត់និងផ្សិត
នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍ និងផ្សិត ជាពិសេសសម្រាប់ឧបករណ៍កាត់ដែលប៉ះពាល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការកកិត ថ្នាំកូត PVD ពង្រឹងយ៉ាងខ្លាំងនូវភាពធន់ទ្រាំពាក់ ធន់នឹងច្រេះ និងភាពរឹង។ ថ្នាំកូត TiN ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងឧបករណ៍បង្វិល ម៉ាស៊ីនកាត់ និងខួង ខណៈពេលដែលថ្នាំកូត TiAlN ត្រូវបានអនុវត្តយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងកម្មវិធីកាត់ល្បឿនលឿន ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវប្រសិទ្ធភាពនៃការកាត់ឧបករណ៍ និងអាយុកាលសេវាកម្ម។
2. សមាសធាតុរថយន្ត
សម្រាប់សមាសធាតុម៉ាស៊ីនរថយន្តដូចជាស៊ីឡាំង ស្តុង និងវ៉ាល់ ថ្នាំកូតរឹង PVD ផ្តល់នូវភាពធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងធន់នឹងការពាក់ កាត់បន្ថយការកកិតយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ពង្រីកអាយុកាលគ្រឿងបន្លាស់ និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពរថយន្តទាំងមូល។
4. ការណែនាំអំពីឧបករណ៍ថ្នាំកូតរឹង Zhenhua FMA0605 PVD
គុណសម្បត្តិឧបករណ៍
ការត្រងប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពនៃភាគល្អិតម៉ាក្រូ - ធ្នូ; ថ្នាំកូត Ta-C ផ្តល់នូវប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ និងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។
សម្រេចបាននូវភាពរឹងខ្ពស់ជ្រុល ថ្នាំកូត superhard ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ មេគុណកកិតទាប និងធន់នឹងការ corrosion ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ ភាពរឹងជាមធ្យមឈានដល់ 25GPa-63Gpa ។
cathode ទទួលយកបច្ចេកវិទ្យា dual-drive រួមបញ្ចូលគ្នានូវឧបករណ៏ដែលមានទីតាំងខាងមុខ និងការជង់មេដែកអចិន្ត្រៃយ៍ ដោយធ្វើការរួមជាមួយនឹងប្រព័ន្ធអ៊ីយ៉ុង etching និងឧបករណ៍ភ្ជាប់ពហុមុំបី ដើម្បីសម្រេចបាននូវការទម្លាក់ប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។
បំពាក់ដោយធ្នូ cathodic ដែលមានអង្កត់ផ្ចិតធំ ដែលធានានូវលក្ខណៈសម្បត្តិត្រជាក់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌបច្ចុប្បន្នខ្ពស់។ ល្បឿនចលនារបស់ចំណុចធ្នូគឺលឿន អត្រាអ៊ីយ៉ូដមានកម្រិតខ្ពស់ ហើយអត្រានៃការធ្លាក់ចុះលឿន។ នេះអនុញ្ញាតឱ្យស្រទាប់ស្រទាប់ក្រាស់ និងរលោងជាងមុន ជាមួយនឹងភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្ម និងដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
វិសាលភាពកម្មវិធី៖
ឧបករណ៍នេះអាចដាក់ប្រាក់ AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN និងថ្នាំកូត superhard ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ផ្សេងទៀត ដែលត្រូវបានអនុវត្តយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងផ្សិត ឧបករណ៍កាត់ កណ្តាប់ដៃ គ្រឿងបន្លាស់រថយន្ត ស្តុង និងផលិតផលផ្សេងទៀត។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយឧបករណ៍ថ្នាំកូតរឹង PVDZhenhua Vacuum
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២០-កុម្ភៈ-២០២៥