Вакуумдық буды тұндыру процесі негізінен субстрат бетін тазалау, жабын алдында дайындау, бу тұндыру, бөлшектерді алу, қаптаудан кейінгі өңдеу, сынау және дайын өнімдер сияқты қадамдарды қамтиды.
(1) Субстрат бетін тазалау. Вакуумдық камераның қабырғалары, субстрат жақтауы және басқа беткі май, тот, қалдық жабын материалы вакуумда оңай буланады, пленка қабатының тазалығына және байланыстыру күшіне тікелей әсер етеді, қаптау алдында тазалау керек.
(2) Жабу алдында дайындау. Бос вакуумды тиісті вакуумдық дәрежеге, субстратты және алдын ала өңдеуге арналған жабын материалдарын жабу. Субстратты жылытудың мақсаты - ылғалды кетіру және мембрана негізін байланыстыру күшін арттыру. Субстратты жоғары вакуумда қыздыру субстрат бетіндегі адсорбцияланған газды десорбциялауға, содан кейін вакуумдық сорғы арқылы газды вакуумдық камерадан шығаруға болады, бұл жабын камерасының вакуумдық дәрежесін, пленка қабатының тазалығын және пленкалық негіздің байланыс күшін жақсартуға қолайлы. Белгілі бір вакуумдық дәрежеге жеткеннен кейін электр энергиясының төмен қуаты бар бірінші булану көзі, пленканы алдын ала қыздыру немесе алдын ала балқыту. Субстратқа буланудың алдын алу үшін булану көзі мен бастапқы материалды қалқамен жауып, содан кейін электр қуатының жоғарырақ қуатын енгізіңіз, жабын материалы булану температурасына дейін тез қызады, булану және содан кейін қалқаны алып тастаңыз.
(3) булану. Тиісті субстрат температурасын таңдау үшін булану кезеңінен басқа, ауа қысымының тұндыруынан тыс материалдың булану температурасы да өте маңызды параметр болып табылады. Қабыну бөлмесінің вакуумы болып табылатын газ қысымының тұндыру булану кеңістігінде қозғалатын газ молекулаларының орташа еркін диапазонын және бу мен қалдық газ атомдарының астында белгілі булану қашықтығын және бу атомдары арасындағы соқтығыстардың санын анықтайды.
(4) Түсіру. Талаптарды қанағаттандыру үшін пленка қабатының қалыңдығынан кейін булану көзін қалқамен жауып, қыздыруды тоқтатыңыз, бірақ ауаны дереу бағыттамаңыз, салқындату үшін белгілі бір уақыт ішінде вакуумдық жағдайда салқындатуды жалғастыру қажет, қаптаудың алдын алу үшін, қаптау материалының қалдығын және кедергісін, булану көзін және т.б. тотықтырыңыз, содан кейін сорғыны тоқтатыңыз, содан кейін субстрат камерасын ашыңыз.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машиналарын жасауr Гуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 23 тамыз 2024 ж