Í lofttæmisástandi er vinnustykkið sett á lágþrýstingsglóandi útblásturskautið og viðeigandi gas sprautað inn. Við ákveðið hitastig myndast húðun á yfirborði vinnustykkisins með því að nota jónunarfjölliðunarferli sem sameinar efnahvörf og plasma, á meðan loftkennd efni frásogast á yfirborði vinnustykkisins og hvarfast við hvert annað, og að lokum myndast fast filma sem sest á yfirborð vinnustykkisins.
Einkenni:
1. Lághitastigs filmumyndun, hitastigið hefur lítil áhrif á vinnustykkið, forðast gróft korn við háhitastigsfilmumyndun og filmulagið dettur ekki auðveldlega af.
2. Það er hægt að húða það með þykkri filmu, sem hefur einsleita samsetningu, góða hindrunaráhrif, þéttleika, lítið innra álag og er ekki auðvelt að framleiða örsprungur.
3. Plasmavinnslan hefur hreinsandi áhrif sem auka viðloðun filmunnar.
Búnaðurinn er aðallega notaður til að húða SiOx með háþolnu hindrunarefni á PET, PA, PP og önnur filmuefni. Hann hefur verið mikið notaður í umbúðum fyrir lækninga- og lyfjavörur, rafeindabúnað og matvælaumbúðir, sem og umbúðir fyrir drykki, feitan mat og matarolíur. Filman hefur framúrskarandi hindrunareiginleika, aðlögunarhæfni að umhverfinu, mikla örbylgjugegndræpi og gegnsæi og verður varla fyrir áhrifum af rakastigi og hitastigi í umhverfinu. Það leysir vandamálið sem hefðbundin umbúðaefni geta haft heilsufarsleg áhrif á.
| Valfrjálsar gerðir | Stærð búnaðar (breidd) |
| RBW1250 | 1250 (mm) |