Tyhjiöhöyrypinnoitusprosessi sisältää yleensä vaiheita, kuten alustan pinnan puhdistamisen, valmistelun ennen pinnoitusta, höyrypinnoituksen, kappaleiden poimimisen, pinnoituksen jälkeisen käsittelyn, testauksen ja valmiiden tuotteiden valmistuksen.
(1) Alustan pinnan puhdistus. Tyhjiökammion seinät, alustan runko ja muu pintaöljy, ruoste ja jäännöspinnoitusmateriaali haihtuvat helposti tyhjiössä, mikä vaikuttaa suoraan kalvokerroksen puhtauteen ja sidoslujuuteen, joten ne on puhdistettava ennen pinnoitusta.
(2) Pinnoitusta edeltävä valmistelu. Pinnoitus tyhjiössä sopiva tyhjiöaste, alusta ja pinnoitemateriaalit esikäsittelyä varten. Alustan lämmittämisen tarkoituksena on poistaa kosteutta ja parantaa kalvon pohjan sitoutumisvoimaa. Alustan lämmittäminen korkeassa tyhjiössä voi desorboida alustan pinnalle adsorboitunutta kaasua, ja sitten kaasu poistuu tyhjiökammiosta tyhjiöpumpulla, mikä parantaa pinnoituskammion tyhjiöastetta, kalvokerroksen puhtautta ja kalvon pohjan sitoutumisvoimaa. Tietyn tyhjiöasteen saavuttamisen jälkeen ensin käytetään haihdutuslähdettä pienemmällä sähköteholla, ja kalvo esilämmitetään tai sulatetaan. Haihtumisen estämiseksi alustalle haihdutuslähde ja lähdemateriaali peitetään ohjainlevyllä ja sitten syötetään suurempi sähköteho. Pinnoitusmateriaali lämmitetään nopeasti haihdutuslämpötilaan, haihdutetaan ja sitten ohjainlevy poistetaan.
(3) Haihdutus. Haihdutusvaiheen lisäksi sopivan alustan lämpötilan valitsemiseksi pinnoitusmateriaalin haihdutuslämpötila on myös erittäin tärkeä parametri pinnoitushuoneen ilmanpaineen ulkopuolella. Pinnoitushuoneen tyhjiön eli kaasunpaineen ansiosta kaasumolekyylien keskimääräinen vapaa liikkuvuus haihdutustilassa ja tietty höyryn ja jäännöskaasun atomien haihtumismatka sekä höyryatomien välisten törmäysten määrä määritetään.
(4) Purku. Kun kalvokerroksen paksuus on vaatimusten mukainen, peitä haihdutuslähde ohjainlevyllä ja lopeta lämmitys. Älä kuitenkaan ohjaa ilmaa välittömästi. Jäähdytä laitetta tyhjiöolosuhteissa jonkin aikaa, jotta pinnoitus, jäännöspinnoitusmateriaali ja vastus, haihdutuslähde ja niin edelleen hapettuvat. Lopeta pumppaus ja täytä säiliö. Avaa tyhjiökammio substraatin poistamiseksi.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneen valmistusr Guangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 23. elokuuta 2024