Hutsean lurrun bidezko deposizio prozesuak, oro har, honako urratsak hauek barne hartzen ditu: substratuaren gainazala garbitzea, estaldura aurretik prestatzea, lurrun bidezko deposizioa, piezak hartzea, estaldura osteko tratamendua, probak eta produktu amaituak.
(1) Substratuaren gainazalaren garbiketa. Hutsean dagoen ganberako paretak, substratuaren markoa eta gainazaleko beste olio, herdoil eta hondar-xafla materiala erraz lurruntzen dira hutsean, eta horrek zuzenean eragiten dio film-geruzaren garbitasunari eta lotura-indarrari; beraz, garbitu egin behar dira xaflatu aurretik.
(2) Estaldura aurretik prestatzea. Hutsean hutsik dagoen hutsune-maila egokira estali, substratua eta estaldura-materialak aurretratamendurako. Substratua berotzea da helburua hezetasuna kentzea eta mintz-oinarriaren lotura-indarra hobetzea. Substratua hutsune altuan berotzeak substratuaren gainazalean adsorbatutako gasa dessorbatu dezake, eta ondoren gasa huts-ganberatik kanporatu dezake huts-ponparen bidez, eta horrek estaldura-ganberaren hutsune-maila, film-geruzaren garbitasuna eta film-oinarriaren lotura-indarra hobetzen laguntzen du. Hutsune-maila jakin batera iritsitakoan, lehen lurruntze-iturria elektrizitate-potentzia txikiagoarekin, filma aurreberotu edo aurreurtu egiten da. Substratura lurruntzea saihesteko, lurruntze-iturria eta iturri-materiala deflektore batekin estali, eta ondoren elektrizitate-potentzia handiagoa sartu, estaldura-materiala azkar berotzen da lurruntze-tenperaturara, lurrundu eta gero deflektore-a kendu.
(3) Lurrunketa. Substratuaren tenperatura egokia aukeratzeko lurrunketa-etaparekin batera, estaldura-materialaren lurrunketa-tenperatura aire-presioaren deposiziotik kanpo ere parametro oso garrantzitsua da. Gas-presioaren deposizioak, hau da, estaldura-gelako hutsuneak, lurruntze-espazioan mugitzen diren gas-molekulen batez besteko askatasun-eremua eta lurrun- eta hondar-gas-atomoen azpian dagoen lurruntze-distantzia jakin bat eta lurrun-atomoen arteko talka-kopurua zehazten ditu.
(4) Deskargatzea. Film geruzaren lodiera baldintzak bete ondoren, estali lurruntze-iturria deflektore batekin eta gelditu berotzea, baina ez gidatu berehala airea, beharrezkoa da hutsean hozten jarraitzea denbora batez hozteko, plaka, hondar plaka-materiala eta erresistentzia saihesteko, lurruntze-iturria eta abar oxidatzea saihesteko, eta gero gelditu ponpatzea, eta gero puztu, ireki huts-ganbera substratua ateratzeko.
–Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makinaren fabrikazioar Guangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2024ko abuztuaren 23a