Vaakum-aursadestamise protsess hõlmab üldiselt selliseid etappe nagu aluspinna puhastamine, ettevalmistamine enne katmist, aurustamine, tükkide kogumine, katmisjärgne töötlemine, testimine ja valmistoodete valmistamine.
(1) Aluspinna puhastamine. Vaakumkambri seinad, aluspinna raam ja muu pinnaõli, rooste, jääkkattematerjal aurustuvad vaakumis kergesti, mõjutades otseselt kilekihi puhtust ja nakkejõudu, mistõttu tuleb need enne katmist puhastada.
(2) Katmiseelne ettevalmistus. Katmine tühja vaakumiga sobiva vaakumastmeni, aluspind ja kattematerjal eeltöötluseks. Aluspinna kuumutamise eesmärk on niiskuse eemaldamine ja membraani aluse nakkumisjõu suurendamine. Aluspinna kuumutamine kõrgvaakumis desorbeerib adsorbeerunud gaasi aluspinna pinnalt ja seejärel vaakumpumba abil gaasi vaakumkambrist välja juhib, mis aitab parandada katmiskambri vaakumastet, kilekihi puhtust ja kilealuse nakkumisjõudu. Pärast teatud vaakumastme saavutamist kuumutatakse või sulatatakse kile eelnevalt madalama võimsusega aurustusallikaga. Aurustumise vältimiseks aluspinnale kaetakse aurustusallikas ja lähtematerjal deflektoriga ning seejärel sisestatakse suurema võimsusega elekter, kattematerjal kuumutatakse kiiresti aurustumistemperatuurini, aurustatakse ja seejärel deflektor eemaldatakse.
(3) Aurustumine. Lisaks aurustumisetapi sobiva substraadi temperatuuri valimisele on väga oluline parameeter ka kattematerjali aurustumistemperatuur väljaspool õhurõhku. Sadestumise gaasirõhk, st katmisruumi vaakum, määrab aurustumisruumis liikuvate gaasimolekulide keskmise vaba ruumi ning teatud aurustumise kauguse auru ja jääkgaasi aatomite vahel ning auru aatomite vaheliste kokkupõrgete arvu.
(4) Mahalaadimine. Pärast kilekihi paksuse saavutamist vastavalt nõuetele katke aurustumisallikas deflektoriga ja peatage kuumutamine, kuid ärge kohe õhku juhtides laske veel mõnda aega vaakumis jahtuda, et vältida plaadistuse, plaadimaterjali jääkide ja takistuse oksüdeerumist, aurustumisallika jne kahjustusi. Seejärel peatage pumpamine ja seejärel täitke rõhk, avage vaakumkamber ja võtke alusmaterjal välja.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasina tootminer Guangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 23. august 2024