La procezo de vakua vapora demetado ĝenerale inkluzivas paŝojn kiel purigado de la substrata surfaco, preparado antaŭ tegaĵo, vapora demetado, kolektado de pecoj, post-tegaĵa traktado, testado kaj finitaj produktoj.
(1) Purigado de la substrata surfaco. La muroj de la vakua ĉambro, la substrata kadro kaj aliaj surfacoj de oleo, rusto kaj restaĵoj de tegaĵo facile vaporiĝas en vakuo, rekte influante la purecon de la filmotavolo kaj la ligforton, do devas esti purigitaj antaŭ la tegaĵo.
(2) Preparo antaŭ tegado. Tegado per malplena vakuo ĝis la taŭga vakua grado, la substrato kaj tegaĵaj materialoj estas antaŭtraktataj. Varmigante la substraton, la celo estas forigi humidon kaj plibonigi la ligforton de la membrana bazo. Varmigante la substraton sub alta vakuo, oni povas desorbi la adsorbitan gason sur la surfaco de la substrato, kaj poste eligi la gason el la vakua ĉambro per vakua pumpilo, kio helpas plibonigi la vakuan gradon de la tegaĵa ĉambro, la purecon de la filmtavolo kaj la ligforton de la filmbazo. Post atingi certan vakuan gradon, la unua vaporiĝa fonto kun pli malalta elektropotenco antaŭvarmiĝas aŭ antaŭfandas la filmon. Por malhelpi vaporiĝon al la substrato, kovru la vaporiĝan fonton kaj la fontmaterialon per deflektoro, kaj poste enigu pli altan elektropotencan potencon, la tegaĵa materialo rapide varmiĝas ĝis la vaporiĝa temperaturo, vaporiĝante kaj poste forigu la deflektoron.
(3) Vaporiĝo. Aldone al la vaporiĝa stadio por elekti la taŭgan substratan temperaturon, la vaporiĝa temperaturo de la tegaĵmaterialo ekster la deponejo de aerpremo ankaŭ estas tre grava parametro. La deponejo de gaspremo, tio estas la vakuo de la tegaĵĉambro, determinas la averaĝan liberan distancon de gasmolekuloj moviĝantaj en la vaporiĝa spaco kaj certan vaporiĝan distancon sub la vaporo kaj resta gasatomoj kaj la nombron de kolizioj inter la vaporatomoj.
(4) Malŝarĝo. Post kiam la dikeco de la filmtavolo plenumas la postulojn, kovru la vaporiĝfonton per deflektoro kaj ĉesu varmigon, sed ne tuj gvidu la aeron, necesas daŭre malvarmigi sub vakuaj kondiĉoj dum periodo por malvarmiĝi, por malhelpi la tegaĵon, restan tegaĵmaterialon kaj reziston, vaporiĝfonton kaj tiel plu oksidiĝi, kaj poste ĉesu pumpi, kaj poste ŝveligi, malfermu la vakuan ĉambron por eltiri la substraton.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikado de vakua tegaĵmaŝinor Guangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 23-a de aŭgusto 2024