Працэс вакуумнага нанясення паравой фазы звычайна ўключае такія этапы, як ачыстка паверхні падкладкі, падрыхтоўка перад нанясеннем пакрыцця, нанясенне паравой фазы, збор дэталяў, апрацоўка пасля нанясення пакрыцця, выпрабаванні і атрыманне гатовай прадукцыі.
(1) Ачыстка паверхні падкладкі. Сценкі вакуумнай камеры, рама падкладкі і іншыя паверхні, алей, іржа, рэшткі пакрыцця лёгка выпараюцца ў вакууме, што непасрэдна ўплывае на чысціню плёнкавага пласта і трываласць счаплення, таму іх неабходна ачысціць перад пакрыццём.
(2) Падрыхтоўка перад нанясеннем пакрыцця. Пакрыццё пустым вакуумам да патрэбнай ступені вакууму, падкладка і матэрыял пакрыцця для папярэдняй апрацоўкі. Награванне падкладкі мае на мэце выдаленне вільгаці і паляпшэнне трываласці счаплення мембраны з асновай. Награванне падкладкі пад высокім вакуумам можа дэсарбаваць адсарбаваны газ на паверхні падкладкі, а затым адводзіць газ з вакуумнай камеры з дапамогай вакуумнага помпы, што спрыяе паляпшэнню ступені вакууму ў камеры пакрыцця, чысціні пласта плёнкі і трываласці счаплення плёнкі з асновай. Пасля дасягнення пэўнай ступені вакууму першая крыніца выпарэння з меншай магутнасцю электрычнасці папярэдні награвае або плаўіць плёнку. Каб прадухіліць выпарэнне на падкладку, крыніца выпарэння і матэрыял крыніцы накрываюцца перагародкай, а затым уводзіцца большая магутнасць электрычнасці, матэрыял пакрыцця хутка награваецца да тэмпературы выпарэння, выпарваецца і затым перагародка здымаецца.
(3) Выпарэнне. Акрамя выбару адпаведнай тэмпературы падкладкі для этапу выпарэння, вельмі важным параметрам з'яўляецца тэмпература выпарэння пакрыцця пад ціскам паветра па-за зонай нанясення пакрыцця. Ціск газу, гэта значыць вакуум у пакоі для нанясення пакрыцця, вызначае сярэдні прабег малекул газу, якія рухаюцца ў прасторы выпарэння, і пэўную адлегласць выпарэння пад парай і атамамі рэшткавага газу, а таксама колькасць сутыкненняў паміж атамамі пары.
(4) Разгрузка. Пасля таго, як таўшчыня плёнкі дасягне патрэбнай таўшчыні, накрыйце крыніцу выпарэння перагародкай і спыніце награванне, але не накіроўвайце паветра адразу. Астудзіце пад вакуумам на працягу пэўнага часу, каб прадухіліць пакрыццё, рэшткі пакрыцця і супраціўленне, крыніцу выпарэння і г.д. акісліліся. Затым спыніце накачванне, надзьміце паветра і адкрыйце вакуумную камеру, каб выняць падкладку.
–Гэты артыкул апублікаванывытворчасць вакуумнай пакрывальнай машыныГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 23 жніўня 2024 г.