Trong quá trình bốc hơi chân không và ion chân không, vật liệu màng sẽ ở nhiệt độ cao 1000 ~ 2000C, do đó quá trình bốc hơi Yanfa của thiết bị, được gọi là nguồn bốc hơi. Nguồn bốc hơi nhiều loại, vật liệu màng bốc hơi nguồn tóc tỏi có nguyên lý khác nhau. Tuy nhiên, về đặc điểm ứng dụng của nó, trong thiết kế hoặc ứng dụng, cần cân nhắc chủ yếu đến các khía cạnh sau:
① Nguồn bốc hơi phải đáp ứng được tốc độ bốc hơi vật liệu màng lớn và có thể lưu trữ đủ số lượng vật liệu màng;
② Nguồn bốc hơi phải có tuổi thọ tốt hơn và dài hơn;
③ Nguồn bay hơi nên được sử dụng trong phạm vi rộng của cả quá trình bay hơi kim loại hoặc hợp kim (như Al, Ti, Fe. Co. Cr) cũng như các hợp chất (ví dụ SiO, SiO2, Zns, v.v.);
④ Nguồn bốc hơi phải có cấu trúc đơn giản, dễ chế tạo, dễ sử dụng và bảo trì, chi phí vận hành thấp.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 23-02-2024