மேம்பட்ட உற்பத்தி முறையானது சிறிதாக்கம், குறைந்த எடை வடிவமைப்பு மற்றும் செயல்பாட்டு ஒருங்கிணைப்பு ஆகியவற்றை நோக்கித் தொடர்ந்து வளர்ந்து வருவதால், குறைக்கடத்தி, மின்னணுவியல், துல்லியமான வன்பொருள், தானியங்கி, மருத்துவம் மற்றும் ஒளியியல் பயன்பாடுகளில் உயர் நீள-அகல விகிதக் கூறுகள் அதிகளவில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இருப்பினும், ஆழமான பள்ளங்கள், குறுகிய குழிகள், மறைவான துளைகள் மற்றும் மெல்லிய கட்டமைப்புகளின் சிக்கலான வடிவியல், வெற்றிடப் பூச்சுக்குக் குறிப்பிடத்தக்க சவால்களை உருவாக்குகிறது. தட்டையான அல்லது மிதமான வளைவுகள் கொண்ட பரப்புகளில் சிறப்பாகச் செயல்படும் வழக்கமான PVD செயல்முறைகள், உயர் நீள-அகல விகிதக் கட்டமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படும்போது, போதுமான படிநிலைப் பரவல் இல்லாமை, தடிமன் சீரற்ற தன்மை, நிழலாக்க விளைவுகள் மற்றும் மோசமான பூச்சு ஒட்டுதல் போன்ற சிக்கல்களைச் சந்திக்கக்கூடும்.
இந்தக் காரணத்திற்காக, பூச்சு உபகரணமானது, அறை அளவு அல்லது படிவு வீதத்தை மட்டும் அடிப்படையாகக் கொண்டு வடிவமைக்கப்படாமல், கூறு வடிவியல், நேர்கோட்டுப் போக்குவரத்து, பிளாஸ்மா பண்புகள், அடிதள இயக்கம், இலக்கு அமைப்பு மற்றும் செயல்முறை அழுத்தம் ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான இடைவினையை அடிப்படையாகக் கொண்டு வடிவமைக்கப்பட வேண்டும். ஒரு பொருத்தமான உபகரணத் தழுவல் உத்தியானது, கூறின் தோற்ற விகிதத்திற்கும் சீரான படல வளர்ச்சிக்குத் தேவையான இயற்பியல் நிலைமைகளுக்கும் இடையே ஒரு நிலையான உறவை ஏற்படுத்த வேண்டும்.
1. முக்கிய சவால்: வரையறுக்கப்பட்ட நேரடிப் பார்வைப் புலப் படிவு
அதிக நீள-நீள விகிதங்களைக் கொண்ட கட்டமைப்புகளுக்குப் பூச்சு பூசுவதில் உள்ள அடிப்படைச் சிரமம், அவற்றின் வரையறுக்கப்பட்ட வடிவவியல் அணுகல்தன்மையில்தான் உள்ளது. வழக்கமான மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் மற்றும் கேத்தோடிக் ஆர்க் டெபாசிஷன் முறைகளில், ஸ்பட்டர் செய்யப்பட்ட அணுக்கள் அல்லது அயனியாக்கப்பட்ட உலோகத் துகள்களின் கடத்தலானது, துகள் இயக்கத்தின் திசைத்தன்மையால் பெரிதும் பாதிக்கப்படுகிறது. ஒரு குழியின் திறப்பு அதன் ஆழத்தை விட கணிசமாகச் சிறியதாக இருக்கும்போது, பூச்சுத் துகள்களால் அதன் அடிப்பகுதியையும் பக்கச் சுவர்களையும் திறம்பட அடைய முடியாது.
இது ஒரு வழக்கமான நிழலாக்க விளைவை ஏற்படுத்துகிறது: மேல் விளிம்பு மற்றும் வெளிப்படும் பரப்புகள் ஒப்பீட்டளவில் அதிகப் படிவுப் பாய்வைப் பெறுகின்றன, அதே சமயம் ஆழமான பகுதிகள் கணிசமாகக் குறைந்த பாய்வை அனுபவிக்கின்றன. இதன் விளைவாக, படலத்தின் தடிமன் ஆழம் செல்லும் திசையில் படிப்படியாகக் குறைகிறது, மேலும் கடுமையான சந்தர்ப்பங்களில், குழியின் அடிப்பகுதி பகுதியாகவோ அல்லது முழுமையாகவோ பூசப்படாமல் இருக்கலாம்.
எனவே, அதிக நீள அகல விகிதம் கொண்ட பாகங்களுக்கு, வெறுமனே பூச்சுப் படியும் நேரத்தை அல்லது மூல ஆற்றலை அதிகரிப்பது பொதுவாக ஒரு சிறந்த தீர்வாக இருக்காது. பூச்சுப் பாய்வு விகிதத்தை அதிகரிப்பது, வெளிப்படும் பரப்புகளில் பூச்சு வீதத்தை மேம்படுத்தக்கூடும், அதே நேரத்தில் அதிகப்படியான படலத் தடிமன், அதிக வெப்பமாதல், மின்வில் உருவாதல் அல்லது பூச்சுக் குறைபாடுகள் ஏற்படும் அபாயத்தையும் அதிகரிக்கும். அதற்குப் பதிலாக, உபகரணமானது பள்ளமான பரப்புகளுக்குப் பூச்சுப் பொருட்களின் அணுகலை மேம்படுத்த வேண்டும்.
2. உபகரணத் தழுவல், கூறு வடிவவியலில் இருந்து தொடங்க வேண்டும்.
வெற்றிடப் பூச்சு அமைப்பைத் தீர்மானிப்பதற்கு முன், வேலைப் பொருளின் வடிவவியலை, அதன் விகித அளவு, திறப்பின் அளவு, குழியின் ஆழம், சுவரின் கோணம், மறைதுளை அமைப்பு, மேற்பரப்பு நோக்குநிலை மற்றும் முக்கியமான பூச்சுப் பகுதிகள் உட்பட விரிவாகப் பகுப்பாய்வு செய்ய வேண்டும்.
தோற்ற விகிதம் மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் அது படிவுப் பொருட்களின் செயல்திறன்மிக்க போக்குவரத்துப் பாதையை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது. ஆழத்திற்கும் திறப்பின் அகலத்திற்கும் உள்ள விகிதம் அதிகரிக்கும்போது, வழக்கமான நேர்கோட்டுப் படிவு முறை மேலும் மேலும் கடினமாகிறது.
ஆழமான பள்ளங்கள் அல்லது குறுகிய குழிகளைக் கொண்ட பாகங்களுக்கு, உபகரணமானது அடித்தளத்தின் திசையமைப்பு மற்றும் கோள் சுழற்சியில் போதுமான நெகிழ்வுத்தன்மையை வழங்க வேண்டும். ஒரு பல-அச்சு அடித்தளத் தாங்கியானது, பாகத்தின் மேற்பரப்பிற்கும் பூச்சு மூலத்திற்கும் இடையிலான சார்புக் கோணத்தைத் தொடர்ச்சியாக மாற்ற முடியும். இது வெவ்வேறு மேற்பரப்புகளை அவ்வப்போது மிகவும் சாதகமான பூச்சு நிலைக்குள் நுழைய அனுமதிக்கிறது. ஒரு நிலையான வேலைப்பொருள் பொருத்தியுடன் ஒப்பிடும்போது, கோள் சுழற்சியானது சுற்றளவு மற்றும் முப்பரிமாண பூச்சுச் சீரான தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்த முடியும்.
சிக்கலான பாகங்களுக்கு, பொருத்தும் கருவியையும் பூச்சு அமைப்பின் ஒரு பகுதியாகவே கருத வேண்டும். முறையற்ற பொருத்தும் கருவி வடிவமைப்பு, பூச்சுப் பாய்மத்தைத் தடுத்து, கூடுதல் நிழலாக்கத்தை உருவாக்கக்கூடும். நன்கு வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு பொருத்தும் கருவி, நம்பகமான மின்சாரத் தொடர்பு, இயந்திர நிலைத்தன்மை மற்றும் அருகருகே உள்ள பாகங்களுக்கு இடையே பொருத்தமான இடைவெளி ஆகியவற்றைப் பராமரிக்கும் அதே வேளையில், முக்கியமான பரப்புகளின் வெளிப்பாட்டை அதிகரிக்க வேண்டும்.
3. பிளாஸ்மா மற்றும் படிவு-பாய்வுக் கட்டுப்பாட்டின் மூலம் படிநிலைக் கவரேஜை மேம்படுத்துதல்
அதிக நீள அகல விகிதங்களைக் கொண்ட கட்டமைப்புகளுக்கு, பூச்சின் செயல்திறனை மதிப்பிடுவதற்குப் பயன்படுத்தப்படும் முக்கியக் குறிகாட்டிகளில் ஒன்று படிநிலைப் பரவலாகும். நல்ல படிநிலைப் பரவலை அடைவதற்கு, அதிகப் படிவு விகிதத்தை விட மேலான ஒன்று தேவைப்படுகிறது; அது, வந்து சேரும் துகள்களின் கோணப் பரவல் மற்றும் ஆற்றல் ஆகியவற்றின் மீது திறம்பட்ட கட்டுப்பாட்டைக் கோருகிறது.
செயல்பாட்டு அழுத்தம், வெளியேற்றத் திறன், காந்தப்புல உள்ளமைவு, இலக்கிற்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான தூரம் மற்றும் அடி மூலக்கூறு சாய்வு ஆகியவற்றை உகந்ததாக்குவதன் மூலம் மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் அமைப்புகளைத் தகவமைக்க முடியும். செயல்பாட்டு அழுத்தத்தை அதிகரிப்பது, வாயு-கட்ட மோதல்களை அதிகரித்து, ஸ்பட்டர் செய்யப்பட்ட அணுக்களின் சிதறலை ஊக்குவித்து, படிவுப் பாய்மத்தை குறைந்த திசையுடையதாக மாற்றும். இது பள்ளமான பரப்புகளில் பூச்சு பூசுவதற்கான நிகழ்தகவை மேம்படுத்தக்கூடும், இருப்பினும் அதிகப்படியான அழுத்தம் படிவுத் திறனைக் குறைத்து, படல அடர்த்தி மற்றும் மேற்பரப்பு உருவமைப்பைப் பாதிக்கக்கூடும்.
அதிக அயனியாக்கம் தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு, கேத்தோடிக் ஆர்க் டெபாசிஷன் அல்லது உயர்-அயனியாக்க மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் போன்ற அயனியாக்கப்பட்ட PVD தொழில்நுட்பங்கள், அயனிப் பாய்வு மற்றும் அடி மூலக்கூறு தாக்குதல் ஆகியவற்றின் மீது மேம்பட்ட கட்டுப்பாட்டை வழங்க முடியும். பொருத்தமான எதிர்மறை அடி மூலக்கூறு சாய்வைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், நேர்மின் சுமை கொண்ட உலோக அயனிகளை வேலைப் பொருளை நோக்கி முடுக்கிவிட முடியும். இது மேற்பரப்புச் செயலாக்கத்தை மேம்படுத்துவதோடு, அடர்த்தியான படல வளர்ச்சியையும் ஊக்குவிக்கிறது.
இருப்பினும், அடி மூலக்கூறு சாய்வை வரம்பின்றி அதிகரிக்கக் கூடாது. அதிகப்படியான அயனித் தாக்குதல், மறுசிதறல், குறிப்பிட்ட இடத்தில் வெப்பம் அதிகரித்தல், எஞ்சிய அழுத்தம் அல்லது உணர்திறன் மிக்க அடி மூலக்கூறுகளுக்கு சேதம் ஆகியவற்றை ஏற்படுத்தக்கூடும். எனவே, உகந்த சாய்வு மின்னழுத்தமானது, அடி மூலக்கூறு பொருள், கூறு வடிவியல், பூச்சுப் பொருள் மற்றும் தேவைப்படும் படலப் பண்புகள் ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் தீர்மானிக்கப்பட வேண்டும்.
4. அடி மூலக்கூறு சார்பு மற்றும் பிளாஸ்மா அடர்த்தி ஆகியவை முக்கியமான செயல்முறை மாறிகள் ஆகும்.
சிக்கலான முப்பரிமாண கட்டமைப்புகளுக்கு, பிளாஸ்மா அடர்த்திக்கும் அடிதளச் சாய்வுக்கும் இடையிலான தொடர்பு குறிப்பாக முக்கியத்துவம் பெறுகிறது.
நிலையான மற்றும் போதுமான அடர்த்தி கொண்ட பிளாஸ்மா, மேற்பரப்பு செயலாக்கம் மற்றும் படல அடர்த்தியாக்கத்திற்குத் தேவையான அயனிப் பாய்வை வழங்குகிறது. அதே நேரத்தில், அடி மூலக்கூறு சாய்வு, அயனிகள் வேலைப் பொருளின் மீது மோதும் ஆற்றலைக் கட்டுப்படுத்துகிறது. இந்த அளவுருக்களைச் சரியான முறையில் ஒருங்கிணைப்பதன் மூலம், பூச்சு செயல்முறையானது மேம்பட்ட ஒட்டுதல், அதிக படல அடர்த்தி மற்றும் பள்ளமான மேற்பரப்புகளில் மிகவும் சீரான பூச்சுப் பரவலை அடைய முடியும்.
இருப்பினும், அதிக நீள-நீள விகிதம் கொண்ட கூறுகளுக்கு, ஆழமான குழிகளுக்குள் உள்ள மின்புலப் பரவல், திறந்த பரப்புகளில் உள்ள பரவலிலிருந்து கணிசமாக வேறுபடலாம். எனவே, உண்மையான அயனித் தாக்குதலின் செறிவு, இடத்தைப் பொறுத்து மாறுபடலாம். பிளாஸ்மா உருவாக்கம் மற்றும் சார்பு அளவுருக்கள் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டைக் கொண்ட உபகரணங்கள், இந்த வடிவியல் விளைவுகளை ஈடுசெய்வதற்கு அதிக செயல்முறை நெகிழ்வுத்தன்மையை வழங்குகின்றன.
நடைமுறை உற்பத்தியில், சார்பு மின்னழுத்தம், சார்பு மின்னோட்டம், துடிப்பு அதிர்வெண், பணிச் சுழற்சி, செயல்முறை அழுத்தம், வாயு ஓட்டம் மற்றும் வெளியேற்றத் திறன் போன்ற அளவுருக்கள் தனித்தனியாக சரிசெய்யப்படுவதற்குப் பதிலாக, ஒரு ஒருங்கிணைந்த செயல்முறை சாளரமாக உகந்ததாக்கப்பட வேண்டும்.
5. சிக்கலான முப்பரிமாண கூறுகளுக்கான பல மூல உள்ளமைவு
கூறுகளின் வடிவியல் மிகவும் சிக்கலானதாக இருக்கும்போது, ஒற்றைப் படிவு மூலம் போதுமான பரவலை வழங்காமல் போகலாம். அத்தகைய சந்தர்ப்பங்களில், உபகரணமானது பல்வேறு திசைகளில் நிலைநிறுத்தப்பட்ட பல சிதறல் இலக்குகள், வில் எதிர்மின்முனைகள் அல்லது ஆவியாதல் மூலங்களைக் கொண்டு வடிவமைக்கப்படலாம்.
பல மூல உள்ளமைவின் நோக்கம், படிவு வீதத்தை அதிகரிப்பது மட்டுமல்ல. அதைவிட முக்கியமாக, இது பூச்சுக் கூறுகள் வெவ்வேறு திசைகளிலிருந்து வேலைப் பொருளுக்குள் நுழைய அனுமதித்து, வடிவியல் நிழலாக்கத்தின் தாக்கத்தைக் குறைக்கிறது.
கோள் சுழற்சியுடன் இணைந்த பல-மூலப் படிவு முறையானது, மிகவும் சீரான ஒரு முப்பரிமாணப் படிவுச் சூழலை உருவாக்க முடியும். எடுத்துக்காட்டாக, வேலைப்பொருள் தொடர்ந்து சுழன்று அறை அச்சைச் சுற்றி வரும்போது, வெவ்வேறு மேற்பரப்பு நோக்குநிலைகளுக்கு வெவ்வேறு மூலங்களை ஒதுக்க முடியும். இந்த அணுகுமுறை, ஆழமான பள்ளங்கள், படிநிலை அமைப்புகள், ஒழுங்கற்ற விளிவரைகள் மற்றும் பல பூச்சு மேற்பரப்புகளைக் கொண்ட பாகங்களுக்குக் குறிப்பாகப் பொருத்தமானது.
அதிக மதிப்புள்ள துல்லியமான பாகங்களுக்கு, அனுபவ ரீதியான நிலைப்படுத்தலை மட்டும் சார்ந்திருக்காமல், வடிவியல் உருவகப்படுத்துதல் மற்றும் செயல்முறை சரிபார்ப்பு மூலம் மூல உள்ளமைப்பைத் தீர்மானிக்க வேண்டும்.
6. முன் சிகிச்சை மற்றும் மேற்பரப்பு செயலாக்கத்தைப் புறக்கணிக்க முடியாது
உகந்த பூச்சு வடிவமைப்பு இருந்தபோதிலும், அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பு போதுமான அளவு தயார் செய்யப்படாவிட்டால், பூச்சின் தரம் பாதிக்கப்படலாம்.
அதிக நீள அகல விகிதம் கொண்ட கட்டமைப்புகளில், ஆழமான குழிகளிலிருந்து அகற்றுவதற்குக் கடினமான எந்திர வேலை எச்சங்கள், வெட்டுத் திரவங்கள், ஆக்சைடுகள் மற்றும் மாசுகள் பெரும்பாலும் அடங்கியிருக்கும். இந்த மாசுகள், மோசமான ஒட்டுதல், ஊசித் துளைகள், வாயு வெளியேற்றம் மற்றும் குறிப்பிட்ட இடங்களில் ஏற்படும் பூச்சுக் குறைபாடுகளுக்கு ஒரு முக்கிய ஆதாரமாக மாறக்கூடும்.
எனவே, பூச்சுப் படிவதற்கு முன்பு, வெற்றிட பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு செயல்முறையை உபகரணக் கட்டமைப்பில் ஒருங்கிணைக்க முடியும். அடிமூலக்கூறு மற்றும் பூச்சு அமைப்பைப் பொறுத்து, மேற்பரப்பு அசுத்தங்களை அகற்றவும், மேற்பரப்பு செயல்பாட்டை அதிகரிக்கவும் ஆர்கான் பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு, அயனி அரித்தல் அல்லது பிளாஸ்மா உதவியுடன் கூடிய பிற மேற்பரப்புச் செயலாக்க செயல்முறைகளைப் பயன்படுத்தலாம்.
முக்கியமான பயன்பாடுகளுக்கு, செயல்முறைகளுக்கு இடையில் மீண்டும் மாசுபடுவதைக் குறைப்பதற்காக, சுத்தம் செய்யும் மற்றும் படிவு அறைகளைப் பிரிக்கலாம் அல்லது பல-அறை அமைப்பாக உள்ளமைக்கலாம். இடைமுகத் தூய்மையானது ஒட்டுதலையும் நீண்டகால நம்பகத்தன்மையையும் நேரடியாகப் பாதிக்கும் உயர் செயல்திறன் பூச்சுகளுக்கு இது குறிப்பாக மதிப்புமிக்கது.
7. வெற்றிட அமைப்பு வடிவமைப்பு செயல்முறை நிலைத்தன்மையை நிர்ணயிக்கிறது
அதிக விகிதச் சாய்வு கொண்ட பூச்சுப் பயன்பாடுகள், வெற்றிட அமைப்பின் மீதும் அதிக தேவைகளை ஏற்படுத்துகின்றன. மீண்டும் மீண்டும் உருவாக்கக்கூடிய பிளாஸ்மா சூழலைப் பராமரிப்பதற்கு, நிலையான அடித்தள அழுத்தம், போதுமான உந்தி வேகம் மற்றும் திறமையான வாயுப் பாய்வுக் கட்டுப்பாடு ஆகியவை அவசியமானவை.
ஒரு உயர்தர வெற்றிட அமைப்பானது, செயல்முறை தொடங்குவதற்கு முன்பு போதுமான குறைந்த அடிப்படை அழுத்தத்தை அடைய வேண்டும். இதன் மூலம் எஞ்சிய நீராவி, ஆக்ஸிஜன், ஹைட்ரோகார்பன்கள் மற்றும் பிற மாசுகளைக் குறைக்கலாம். படிதலின் போது, வாயு ஓட்டம் மற்றும் பிளாஸ்மா சுமையில் ஏற்படும் மாற்றங்கள் இருந்தபோதிலும், வாயு உள்ளீட்டு அமைப்பு மற்றும் உந்தி அமைப்பு ஆகியவை ஒரு நிலையான செயல்பாட்டு அழுத்தத்தைப் பராமரிக்க வேண்டும்.
உற்பத்தி உபகரணங்களைப் பொறுத்தவரை, வாயு கடத்துத்திறனைப் பாதிக்கக்கூடிய அல்லது மாசு மூலங்களாக மாறக்கூடிய தேவையற்ற உள் கட்டமைப்புகளையும் அந்த அறை குறைக்க வேண்டும். முறையான அறை வடிவமைப்பு, உந்தி கட்டமைப்பு, வெற்றிட அளவீடு மற்றும் அடைப்புத் தொழில்நுட்பம் ஆகியவை ஒன்றிணைந்து பூச்சு செயல்முறையின் நீண்டகால நிலைத்தன்மையை நிர்ணயிக்கின்றன.
8. உபகரணத் தேர்வு, செயல்முறைப் பொருத்தத்தின் அடிப்படையில் அமைய வேண்டும்.
அதிக நீள அகல விகிதம் கொண்ட பாகங்களுக்கு, உலகளாவிய உகந்த வெற்றிடப் பூச்சு இயந்திரம் என்று எதுவும் இல்லை. உபகரணத்தின் கட்டமைப்பு, அடி மூலப்பொருள், பாகத்தின் பரிமாணங்கள், நீள அகல விகிதம், பூச்சுப் பொருள், தேவைப்படும் பூச்சுப் படலத்தின் தடிமன், பூச்சின் செயல்பாடு, உற்பத்தித் திறன் மற்றும் அனுமதிக்கப்பட்ட வெப்பநிலை ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் தீர்மானிக்கப்பட வேண்டும்.
அலங்காரப் பயன்பாடுகளுக்கு, வண்ணச் சீர்மை, மேற்பரப்புத் தோற்றம் மற்றும் முப்பரிமாணப் பூச்சு ஆகியவற்றிற்கு முக்கியத்துவம் அளிக்கப்படலாம். DLC, தேய்மான-எதிர்ப்புப் பூச்சுகள், கடத்தும் படலங்கள், பரவல் தடைகள் அல்லது ஒளியியல் படலங்கள் போன்ற செயல்பாட்டுப் பூச்சுகளுக்கு, படல அடர்த்தி, ஒட்டு வலிமை, கடினத்தன்மை, மின் பண்புகள், ஒளியியல் செயல்திறன் மற்றும் தடிமன் சீர்மை ஆகியவற்றில் அதிக கவனம் செலுத்தப்பட வேண்டும்.
எனவே, உபகரணத் தழுவல் செயல்முறையானது, பொதுவாகப் பணிப்பொருளின் தொழில்நுட்ப மதிப்பீட்டுடன் தொடங்கி, அதனைத் தொடர்ந்து நிலைநிறுத்தி வடிவமைப்பு, படிவு மூல உள்ளமைவு, பிளாஸ்மா செயல்முறைத் தேர்வு மற்றும் மாதிரிப் பூச்சுச் சரிபார்ப்பு ஆகியவை மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும். பூச்சின் முடிவுகள் தேவையான செயல்திறன் குறிகாட்டிகளைப் பூர்த்தி செய்த பின்னரே, இறுதி உற்பத்தி உபகரண உள்ளமைவு தீர்மானிக்கப்பட வேண்டும்.
9. “பூசக்கூடிய” என்பதிலிருந்து “சீராகப் பூசப்பட்ட” என்பதற்கு
வழக்கமானவற்றுக்கும் இதற்கும் உள்ள மிகப்பெரிய வித்தியாசம்கூறுகள் மற்றும் அதிக நீள அகலக் கட்டமைப்புகளில் உள்ள ஒரு சிக்கல் என்னவென்றால், ஒரு படலத்தைப் படியவைக்க முடிவது என்பது, தகுதிவாய்ந்த பூச்சுப் பரவலை அடைவதற்குச் சமமானதல்ல.
எளிய வடிவவியல்களுக்கு, வழக்கமான PVD கருவிகளே திருப்திகரமான முடிவுகளை அளிக்கக்கூடும். இருப்பினும், ஆழமான குழிகள், குறுகிய பள்ளங்கள், மூடிய துளைகள் மற்றும் சிக்கலான முப்பரிமாண கட்டமைப்புகளுக்கு, வெற்றிட உருவாக்கம் மற்றும் பிளாஸ்மா கிளர்ச்சி முதல் மூல ஏற்பாடு, அடிதள இயக்கம், சாய்வுக் கட்டுப்பாடு, பொருத்தி வடிவமைப்பு மற்றும் செயல்முறை உகப்பாக்கம் வரை முழுமையான படிவு அமைப்பையும் கருவித் தழுவமைவு கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்.
பூச்சுப் பொருளைக் கூறு மீது சென்றடையச் செய்வது மட்டுமல்ல இதன் நோக்கம்; மாறாக, போதுமான படிநிலை மூடல், சீரான படலத் தடிமன், நிலையான ஒட்டுதல் மற்றும் தொகுதிக்குத் தொகுதி சீரான செயல்திறன் ஆகியவற்றை வழங்கும், கட்டுப்படுத்தக்கூடிய மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய ஒரு படிவுச் சூழலை உருவாக்குவதே ஆகும்.
இந்தக் காரணத்தால், அதிக விகிதப் பூச்சு என்பதை, ஒரு பெரிய வெற்றிட அறையைத் தேர்ந்தெடுப்பது அல்லது பூச்சுத் திறனை அதிகரிப்பது போன்ற ஒரு எளிய விஷயமாகக் கருதாமல், ஒரு அமைப்பு அளவிலான உபகரண மற்றும் செயல்முறைப் பொறியியல் சிக்கலாக அணுக வேண்டும்.
10. ஜென்ஹுவா வேக்யூம்: பயன்பாட்டுத் தேவைகளின் அடிப்படையில் உபகரணத் தழுவல்
அதிக நீள அகல விகிதம் கொண்ட பாகங்களுக்கு, ஜென்ஹுவா வேக்யூம் நிறுவனத்தால், பொருளின் உண்மையான வடிவியல் மற்றும் பூச்சுத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப உபகரண உள்ளமைப்பை உருவாக்க முடியும். வெற்றிட அறை அமைப்பு, படிவு மூலங்கள், கோள் வடிவ அடிதளப் பொருத்திகள், அடிதளச் சாய்வு அமைப்பு, பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு, வாயுப் பாய்வுக் கட்டுப்பாடு மற்றும் தானியங்கி செயல்முறைக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றின் ஒருங்கிணைந்த வடிவமைப்பின் மூலம், இந்தப் பூச்சு அமைப்பானது சிக்கலான முப்பரிமாண பாகங்கள் மற்றும் சவாலான செயல்பாட்டுப் பூச்சுப் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்ப மாற்றியமைக்கப்படலாம்.
இறுதி உபகரணத் தீர்வானது, பூச்சுப் படலத்தின் தடிமன் பரவல், படிநிலைக் கவரேஜ், ஒட்டுதல், கடினத்தன்மை, மேற்பரப்பு உருவவியல், ஒளியியல் அல்லது மின் பண்புகள் மற்றும் உற்பத்திச் சுழற்சி நேரம் உள்ளிட்ட உண்மையான மாதிரிகள் மற்றும் செயல்முறைத் தரவுகள் மூலம் சரிபார்க்கப்பட வேண்டும். பயன்பாட்டை மையமாகக் கொண்ட இந்த அணுகுமுறையானது, பூச்சு உபகரணத்தை ஒரு பொதுவான கட்டமைப்பிலிருந்து, நிலையான தொழில்துறை உற்பத்தியை ஆதரிக்கக்கூடிய ஒரு செயல்முறை சார்ந்த தீர்வை நோக்கி நகர்த்த அனுமதிக்கிறது.
-இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு உபகரண உற்பத்தியாளர்ஜென்ஹுவா வெற்றிடம்
பதிவிட்ட நேரம்: ஆகஸ்ட்-01-2026