ដោយសារការផលិតកម្រិតខ្ពស់បន្តវិវត្តឆ្ពោះទៅរកការបង្រួមទំហំ ការរចនាទម្ងន់ស្រាល និងការរួមបញ្ចូលមុខងារ សមាសធាតុសមាមាត្រខ្ពស់ត្រូវបានប្រើប្រាស់កាន់តែខ្លាំងឡើងនៅក្នុងកម្មវិធីអេឡិចត្រូនិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិច គ្រឿងបរិក្ខារដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ រថយន្ត វេជ្ជសាស្ត្រ និងអុបទិក។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ធរណីមាត្រស្មុគស្មាញនៃចង្អូរជ្រៅ ប្រហោងតូចចង្អៀត រន្ធខ្វាក់ និងរចនាសម្ព័ន្ធស្ដើងបង្កើតបញ្ហាប្រឈមយ៉ាងសំខាន់សម្រាប់ថ្នាំកូតបូមធូលី។ ដំណើរការ PVD ធម្មតាដែលដំណើរការបានល្អលើផ្ទៃរាបស្មើ ឬរាងមធ្យមអាចទទួលរងពីការគ្របដណ្តប់ជំហានមិនគ្រប់គ្រាន់ កម្រាស់មិនស្មើគ្នា ឥទ្ធិពលស្រមោល និងការស្អិតជាប់នៃថ្នាំកូតមិនល្អនៅពេលអនុវត្តចំពោះរចនាសម្ព័ន្ធសមាមាត្រខ្ពស់។
ដោយហេតុផលនេះ ឧបករណ៍ថ្នាំកូតត្រូវតែត្រូវបានរចនាឡើងមិនត្រឹមតែជុំវិញទំហំបន្ទប់ ឬអត្រានៃការដាក់ស្រទាប់ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងជុំវិញអន្តរកម្មរវាងធរណីមាត្រសមាសធាតុ ការដឹកជញ្ជូនតាមបន្ទាត់នៃការមើលឃើញ លក្ខណៈប្លាស្មា ចលនាស្រទាប់ខាងក្រោម ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធគោលដៅ និងសម្ពាធដំណើរការ។ យុទ្ធសាស្ត្រសម្របឧបករណ៍សមស្របគួរតែបង្កើតទំនាក់ទំនងដែលមានស្ថេរភាពរវាងសមាមាត្រទិដ្ឋភាពរបស់សមាសធាតុ និងលក្ខខណ្ឌរូបវន្តដែលត្រូវការសម្រាប់ការលូតលាស់ខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋាន។
១. បញ្ហាប្រឈមស្នូល៖ ការដាក់ស្រទាប់បន្ទាត់មើលឃើញមានកំណត់
ការលំបាកជាមូលដ្ឋានក្នុងការស្រោបរចនាសម្ព័ន្ធសមាមាត្រខ្ពស់គឺស្ថិតនៅក្នុងភាពងាយស្រួលធរណីមាត្រមានកម្រិតរបស់វា។ នៅក្នុងការបាញ់ម៉ាញ៉េទិចត្រុងធម្មតា និងការទម្លាក់ធ្នូកាតូត ការដឹកជញ្ជូនអាតូមបាញ់ ឬប្រភេទលោហៈអ៊ីយ៉ូដត្រូវបានជះឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងដោយទិសដៅនៃចលនាភាគល្អិត។ នៅពេលដែលការបើកប្រហោងតូចជាងជម្រៅរបស់វាយ៉ាងខ្លាំង ប្រភេទថ្នាំកូតមិនអាចទៅដល់បាត និងជញ្ជាំងចំហៀងបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពទេ។
នេះបង្កើតឥទ្ធិពលស្រមោលធម្មតា៖ គែមខាងលើ និងផ្ទៃដែលលាតត្រដាងទទួលបានលំហូរនៃកំណកខ្ពស់ ខណៈដែលតំបន់ជ្រៅៗជួបប្រទះនឹងលំហូរថយចុះគួរឱ្យកត់សម្គាល់។ ជាលទ្ធផល កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តថយចុះបន្តិចម្តងៗតាមទិសដៅជម្រៅ ហើយក្នុងករណីធ្ងន់ធ្ងរ ផ្នែកខាងក្រោមនៃប្រហោងអាចនៅតែមិនមានថ្នាំកូតដោយផ្នែក ឬទាំងស្រុង។
ដូច្នេះ សម្រាប់សមាសធាតុដែលមានសមាមាត្រទិដ្ឋភាពខ្ពស់ ការបង្កើនពេលវេលាដាក់ស្រទាប់ ឬថាមពលប្រភពជាទូទៅមិនមែនជាដំណោះស្រាយដ៏មានប្រសិទ្ធភាពនោះទេ។ ការបង្កើនលំហូរដាក់ស្រទាប់អាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអត្រាថ្នាំកូតនៅលើផ្ទៃដែលលាតត្រដាង ខណៈពេលដែលក្នុងពេលដំណាលគ្នាបង្កើនហានិភ័យនៃកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តហួសប្រមាណ ការឡើងកំដៅខ្លាំង ការកកើតធ្នូ ឬពិការភាពនៃថ្នាំកូត។ ផ្ទុយទៅវិញ ឧបករណ៍ត្រូវតែធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពងាយស្រួលនៃប្រភេទថ្នាំកូតទៅកាន់ផ្ទៃដែលលិចចូល។
2. ការសម្របឧបករណ៍គួរតែចាប់ផ្តើមពីធរណីមាត្រសមាសធាតុ
មុននឹងកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធថ្នាំកូតក្នុងកន្លែងទំនេរ ធរណីមាត្រនៃស្នាដៃគួរត្រូវបានវិភាគលម្អិត រួមទាំងសមាមាត្រទិដ្ឋភាព ទំហំបើក ជម្រៅប្រហោង មុំជញ្ជាំង រចនាសម្ព័ន្ធរន្ធងងឹត ការតំរង់ទិសផ្ទៃ និងតំបន់ថ្នាំកូតសំខាន់ៗ។
សមាមាត្រទិដ្ឋភាពគឺមានសារៈសំខាន់ជាពិសេស ពីព្រោះវាប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើផ្លូវដឹកជញ្ជូនប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពនៃប្រភេទសារធាតុដាក់។ នៅពេលដែលសមាមាត្រនៃជម្រៅទៅនឹងទទឹងនៃការបើកកើនឡើង ការដាក់បន្ទាត់មើលឃើញបែបប្រពៃណីកាន់តែពិបាក។
ចំពោះសមាសធាតុដែលមានចង្អូរជ្រៅ ឬប្រហោងតូចចង្អៀត ដូច្នេះឧបករណ៍គួរតែផ្តល់នូវភាពបត់បែនគ្រប់គ្រាន់ក្នុងការតំរង់ទិសស្រទាប់ខាងក្រោម និងការបង្វិលភព។ ឧបករណ៍កាន់ស្រទាប់ខាងក្រោមពហុអ័ក្សអាចផ្លាស់ប្តូរមុំទាក់ទងរវាងផ្ទៃសមាសធាតុ និងប្រភពថ្នាំកូតជាបន្តបន្ទាប់ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យផ្ទៃផ្សេងៗគ្នាចូលទៅក្នុងទីតាំងដាក់ដែលអំណោយផលជាងជាប្រចាំ។ បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងគ្រឿងបរិក្ខារការងារថេរ ការបង្វិលភពអាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវឯកសណ្ឋានរង្វង់ និងថ្នាំកូតបីវិមាត្រ។
ចំពោះសមាសធាតុស្មុគស្មាញ គ្រឿងតុបតែងខ្លួនវាគួរតែត្រូវបានចាត់ទុកថាជាផ្នែកមួយនៃប្រព័ន្ធថ្នាំកូតផងដែរ។ ការរចនាគ្រឿងតុបតែងមិនត្រឹមត្រូវអាចរារាំងលំហូរនៃស្រទាប់ថ្នាំកូត និងបង្កើតស្រមោលបន្ថែម។ គ្រឿងតុបតែងដែលរចនាបានល្អគួរតែបង្កើនការប៉ះពាល់នៃផ្ទៃសំខាន់ៗឱ្យបានអតិបរមា ខណៈពេលដែលរក្សាបាននូវទំនាក់ទំនងអគ្គិសនីដែលអាចទុកចិត្តបាន ស្ថេរភាពមេកានិច និងគម្លាតសមស្របរវាងសមាសធាតុដែលនៅជាប់គ្នា។
៣. ការកែលម្អការគ្របដណ្តប់ជំហានតាមរយៈការគ្រប់គ្រងប្លាស្មា និងលំហូរនៃការបញ្ចេញ
ចំពោះរចនាសម្ព័ន្ធដែលមានសមាមាត្រទិដ្ឋភាពខ្ពស់ ការគ្របដណ្តប់ជំហានគឺជាសូចនាករសំខាន់មួយដែលប្រើដើម្បីវាយតម្លៃដំណើរការថ្នាំកូត។ ការសម្រេចបាននូវការគ្របដណ្តប់ជំហានល្អតម្រូវឱ្យមានច្រើនជាងអត្រាការដាក់ស្រទាប់ខ្ពស់។ វាតម្រូវឱ្យមានការគ្រប់គ្រងប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពលើការចែកចាយមុំ និងថាមពលនៃប្រភេទសត្វដែលមកដល់។
ប្រព័ន្ធបាញ់ម៉ាញ៉េទិចអាចត្រូវបានសម្របតាមរយៈការធ្វើឲ្យប្រសើរឡើងនូវសម្ពាធការងារ ថាមពលបញ្ចេញ ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធដែនម៉ាញ៉េទិច ចម្ងាយគោលដៅទៅស្រទាប់ខាងក្រោម និងភាពលំអៀងនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ ការបង្កើនសម្ពាធការងារអាចបង្កើនការប៉ះទង្គិចដំណាក់កាលឧស្ម័ន និងជំរុញការខ្ចាត់ខ្ចាយនៃអាតូមដែលបាញ់ ធ្វើឱ្យលំហូរសារធាតុរលាយមានទិសដៅតិចជាង។ នេះអាចធ្វើឲ្យប្រសើរឡើងនូវប្រូបាប៊ីលីតេនៃការស្រោបផ្ទៃដែលលិចចូល ទោះបីជាសម្ពាធលើសអាចកាត់បន្ថយប្រសិទ្ធភាពសារធាតុរលាយ និងជះឥទ្ធិពលដល់ដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្ត និងរូបរាងផ្ទៃក៏ដោយ។
សម្រាប់កម្មវិធីដែលត្រូវការអ៊ីយ៉ូដខ្ពស់ បច្ចេកវិទ្យា PVD អ៊ីយ៉ូដដូចជាការដាក់លោហៈធាតុ cathodic arc ឬការបាញ់ម៉ាញ៉េទិចអ៊ីយ៉ូដខ្ពស់ អាចផ្តល់នូវការគ្រប់គ្រងកាន់តែប្រសើរលើលំហូរអ៊ីយ៉ុង និងការទម្លាក់គ្រាប់បែកស្រទាប់ខាងក្រោម។ ដោយអនុវត្តលំអៀងស្រទាប់ខាងក្រោមអវិជ្ជមានសមស្រប អ៊ីយ៉ុងលោហៈដែលមានបន្ទុកវិជ្ជមានអាចត្រូវបានបង្កើនល្បឿនឆ្ពោះទៅរកស្នាដៃ ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការធ្វើឱ្យសកម្មលើផ្ទៃ និងជំរុញការលូតលាស់ខ្សែភាពយន្តក្រាស់ជាងមុន។
ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ភាពលំអៀងនៃស្រទាប់ខាងក្រោមមិនគួរត្រូវបានបង្កើនដោយគ្មានដែនកំណត់នោះទេ។ ការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងហួសប្រមាណអាចបណ្តាលឱ្យមានការរំញ័រឡើងវិញ កំដៅក្នុងតំបន់ ភាពតានតឹងដែលនៅសេសសល់ ឬការខូចខាតដល់ស្រទាប់ខាងក្រោមដែលងាយប្រតិកម្ម។ ដូច្នេះវ៉ុលលំអៀងល្អបំផុតត្រូវតែកំណត់ទៅតាមសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម ធរណីមាត្រសមាសធាតុ សម្ភារៈថ្នាំកូត និងលក្ខណៈសម្បត្តិខ្សែភាពយន្តដែលត្រូវការ។
៤. ភាពលំអៀងនៃស្រទាប់ខាងក្រោម និងដង់ស៊ីតេប្លាស្មា គឺជាអថេរដំណើរការដ៏សំខាន់
ចំពោះរចនាសម្ព័ន្ធបីវិមាត្រស្មុគស្មាញ ទំនាក់ទំនងរវាងដង់ស៊ីតេប្លាស្មា និងភាពលំអៀងនៃស្រទាប់ខាងក្រោមក្លាយជាមានសារៈសំខាន់ជាពិសេស។
ប្លាស្មាដែលមានស្ថេរភាព និងដង់ស៊ីតេគ្រប់គ្រាន់ផ្តល់នូវលំហូរអ៊ីយ៉ុងដែលត្រូវការសម្រាប់ការធ្វើឱ្យសកម្មលើផ្ទៃ និងការធ្វើឱ្យដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្ត។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ភាពលំអៀងនៃស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រប់គ្រងថាមពលដែលអ៊ីយ៉ុងបាញ់ទៅលើស្នាដៃ។ តាមរយៈការសម្របសម្រួលត្រឹមត្រូវនៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រទាំងនេះ ដំណើរការថ្នាំកូតអាចសម្រេចបាននូវភាពស្អិតកាន់តែប្រសើរឡើង ដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្តខ្ពស់ និងការគ្របដណ្តប់កាន់តែស៊ីសង្វាក់គ្នាលើផ្ទៃដែលលិចចូល។
ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ សម្រាប់សមាសធាតុដែលមានសមាមាត្រទិដ្ឋភាពខ្ពស់ ការចែកចាយដែនអគ្គិសនីនៅខាងក្នុងប្រហោងជ្រៅអាចខុសគ្នាយ៉ាងខ្លាំងពីអាំងតង់ស៊ីតេនៅលើផ្ទៃដែលលាតត្រដាង។ ដូច្នេះអាំងតង់ស៊ីតេនៃការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងពិតប្រាកដអាចប្រែប្រួលទៅតាមទីតាំង។ ឧបករណ៍ដែលមានសមត្ថភាពគ្រប់គ្រងយ៉ាងច្បាស់លាស់លើការបង្កើតប្លាស្មា និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រលំអៀងផ្តល់នូវភាពបត់បែននៃដំណើរការកាន់តែច្រើនសម្រាប់ការទូទាត់សងសម្រាប់ឥទ្ធិពលធរណីមាត្រទាំងនេះ។
នៅក្នុងផលិតកម្មជាក់ស្តែង ប៉ារ៉ាម៉ែត្រដូចជាវ៉ុលលំអៀង ចរន្តលំអៀង ប្រេកង់ជីពចរ វដ្តការងារ សម្ពាធដំណើរការ លំហូរឧស្ម័ន និងថាមពលបញ្ចេញគួរតែត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងជាបង្អួចដំណើរការរួមបញ្ចូលគ្នាជាជាងការកែតម្រូវដោយឯករាជ្យ។
៥. ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធពហុប្រភពសម្រាប់សមាសធាតុបីវិមាត្រស្មុគស្មាញ
នៅពេលដែលធរណីមាត្រសមាសធាតុមានភាពស្មុគស្មាញជាពិសេស ប្រភពដាក់ស្រទាប់តែមួយអាចនឹងមិនផ្តល់ការគ្របដណ្តប់គ្រប់គ្រាន់ទេ។ ក្នុងករណីបែបនេះ ឧបករណ៍អាចត្រូវបានរចនាឡើងជាមួយនឹងគោលដៅបាញ់ច្រើន កាតូតធ្នូ ឬប្រភពហួតច្រើនដែលដាក់នៅទិសដៅផ្សេងៗគ្នា។
គោលបំណងនៃការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធពហុប្រភពមិនមែនគ្រាន់តែដើម្បីបង្កើនអត្រានៃការដាក់នោះទេ។ អ្វីដែលសំខាន់ជាងនេះទៅទៀត វាអនុញ្ញាតឱ្យប្រភេទថ្នាំកូតចូលទៅក្នុងស្នាដៃពីទិសដៅផ្សេងៗគ្នា ដោយកាត់បន្ថយឥទ្ធិពលនៃស្រមោលធរណីមាត្រ។
រួមផ្សំជាមួយនឹងការបង្វិលភព ការដាក់លោហៈច្រើនប្រភពអាចបង្កើតបរិយាកាសការដាក់លោហៈបីវិមាត្រដែលមានឯកសណ្ឋានជាងមុន។ ឧទាហរណ៍ ប្រភពផ្សេងៗគ្នាអាចត្រូវបានកំណត់ទៅទិសដៅផ្ទៃផ្សេងៗគ្នា ខណៈពេលដែលស្នាដៃបង្វិលជាបន្តបន្ទាប់ និងវិលជុំវិញអ័ក្សបន្ទប់។ វិធីសាស្រ្តនេះគឺសមរម្យជាពិសេសសម្រាប់សមាសធាតុដែលមានចង្អូរជ្រៅ រចនាសម្ព័ន្ធជាជំហានៗ វណ្ឌវង្កមិនទៀងទាត់ និងផ្ទៃថ្នាំកូតច្រើន។
ចំពោះសមាសធាតុដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធប្រភពគួរតែត្រូវបានកំណត់ដោយការក្លែងធ្វើធរណីមាត្រ និងការផ្ទៀងផ្ទាត់ដំណើរការ ជាជាងពឹងផ្អែកតែលើទីតាំងជាក់ស្តែង។
៦. ការព្យាបាលមុន និងការធ្វើឱ្យផ្ទៃសកម្មមិនអាចមើលរំលងបានទេ
ទោះបីជាមានធរណីមាត្រនៃការដាក់ស្រទាប់ថ្នាំដ៏ល្អប្រសើរក៏ដោយ គុណភាពថ្នាំកូតនៅតែអាចរងការប៉ះពាល់ ប្រសិនបើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមមិនត្រូវបានរៀបចំគ្រប់គ្រាន់។
រចនាសម្ព័ន្ធដែលមានសមាមាត្រទិដ្ឋភាពខ្ពស់ច្រើនតែមានសំណល់ម៉ាស៊ីន សារធាតុរាវកាត់ អុកស៊ីដ និងសារធាតុចម្លងរោគដែលពិបាកយកចេញពីប្រហោងជ្រៅ។ សារធាតុចម្លងរោគទាំងនេះអាចក្លាយជាប្រភពដ៏សំខាន់នៃភាពស្អិតមិនល្អ រន្ធតូចៗ ការបញ្ចេញឧស្ម័នចេញ និងពិការភាពថ្នាំកូតក្នុងតំបន់។
ដូច្នេះដំណើរការសម្អាតប្លាស្មាក្នុងសុញ្ញកាសអាចត្រូវបានរួមបញ្ចូលទៅក្នុងការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធឧបករណ៍មុនពេលដាក់ស្រទាប់។ អាស្រ័យលើប្រព័ន្ធស្រទាប់ខាងក្រោម និងថ្នាំកូត ការសម្អាតប្លាស្មា Ar ការឆ្លាក់អ៊ីយ៉ុង ឬដំណើរការធ្វើឱ្យផ្ទៃសកម្មដោយជំនួយពីប្លាស្មាផ្សេងទៀតអាចត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីលុបបំបាត់ការចម្លងរោគលើផ្ទៃ និងបង្កើនសកម្មភាពលើផ្ទៃ។
សម្រាប់កម្មវិធីសំខាន់ៗ បន្ទប់សម្អាត និងបន្ទប់ដាក់សារធាតុក៏អាចត្រូវបានបំបែក ឬកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធជាប្រព័ន្ធពហុបន្ទប់ដើម្បីកាត់បន្ថយការចម្លងរោគឡើងវិញរវាងដំណើរការនានា។ នេះមានតម្លៃជាពិសេសសម្រាប់ថ្នាំកូតដែលមានដំណើរការខ្ពស់ ដែលអនាម័យនៃចំណុចប្រទាក់ប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ភាពស្អិត និងភាពជឿជាក់រយៈពេលវែង។
៧. ការរចនាប្រព័ន្ធសុញ្ញកាសកំណត់ស្ថេរភាពដំណើរការ
ការប្រើប្រាស់ថ្នាំកូតដែលមានសមាមាត្រទិដ្ឋភាពខ្ពស់ក៏ដាក់តម្រូវការខ្ពស់លើប្រព័ន្ធសុញ្ញកាសផងដែរ។ សម្ពាធមូលដ្ឋានដែលមានស្ថេរភាព ល្បឿនបូមគ្រប់គ្រាន់ និងការគ្រប់គ្រងលំហូរឧស្ម័នប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព គឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការរក្សាបរិស្ថានប្លាស្មាដែលអាចបង្កើតឡើងវិញបាន។
ប្រព័ន្ធបូមធូលីដែលមានគុណភាពខ្ពស់គួរតែសម្រេចបានសម្ពាធមូលដ្ឋានទាបគ្រប់គ្រាន់មុនពេលចាប់ផ្តើមដំណើរការ ដោយកាត់បន្ថយចំហាយទឹកដែលនៅសេសសល់ អុកស៊ីសែន អ៊ីដ្រូកាបូន និងសារធាតុបំពុលផ្សេងៗទៀត។ ក្នុងអំឡុងពេលដាក់ឧស្ម័ន ប្រព័ន្ធច្រកចូល និងប្រព័ន្ធបូមត្រូវតែរក្សាសម្ពាធការងារឱ្យមានស្ថេរភាព ទោះបីជាមានការផ្លាស់ប្តូរលំហូរឧស្ម័ន និងបន្ទុកប្លាស្មាក៏ដោយ។
ចំពោះឧបករណ៍ផលិតកម្ម បន្ទប់នេះក៏គួរតែកាត់បន្ថយរចនាសម្ព័ន្ធខាងក្នុងដែលមិនចាំបាច់ដែលអាចប៉ះពាល់ដល់ចរន្តឧស្ម័ន ឬក្លាយជាប្រភពនៃការបំពុលផងដែរ។ ការរចនាបន្ទប់ត្រឹមត្រូវ ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធបូម ការវាស់វែងសុញ្ញកាស និងបច្ចេកវិទ្យាផ្សាភ្ជាប់រួមគ្នាកំណត់ស្ថេរភាពរយៈពេលវែងនៃដំណើរការថ្នាំកូត។
៨. ការជ្រើសរើសឧបករណ៍គួរតែផ្អែកលើការផ្គូផ្គងដំណើរការ
ចំពោះសមាសធាតុដែលមានសមាមាត្រទិដ្ឋភាពខ្ពស់ មិនមានម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតសុញ្ញកាសល្អបំផុតជាសកលទេ។ ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធឧបករណ៍គួរតែត្រូវបានកំណត់ដោយយោងទៅលើសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម វិមាត្រសមាសធាតុ សមាមាត្រទិដ្ឋភាព សម្ភារៈថ្នាំកូត កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តដែលត្រូវការ មុខងារថ្នាំកូត សមត្ថភាពផលិត និងសីតុណ្ហភាពដែលអាចអនុញ្ញាតបាន។
សម្រាប់កម្មវិធីតុបតែង ការសង្កត់ធ្ងន់អាចត្រូវបានដាក់លើភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃពណ៌ រូបរាងផ្ទៃ និងការគ្របដណ្តប់បីវិមាត្រ។ សម្រាប់ថ្នាំកូតមុខងារដូចជា DLC ថ្នាំកូតធន់នឹងការពាក់ ខ្សែភាពយន្តដែលដឹកនាំចរន្ត របាំងសាយភាយ ឬខ្សែភាពយន្តអុបទិក ការយកចិត្តទុកដាក់បន្ថែមទៀតត្រូវតែយកចិត្តទុកដាក់ចំពោះដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្ត កម្លាំងស្អិត ភាពរឹង លក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី ការអនុវត្តអុបទិក និងឯកសណ្ឋានកម្រាស់។
ដូច្នេះ ដំណើរការសម្របឧបករណ៍ជាធម្មតាគួរតែចាប់ផ្តើមជាមួយនឹងការវាយតម្លៃបច្ចេកទេសនៃស្នាដៃ បន្ទាប់មកដោយការរចនាគ្រឿងបរិក្ខារ ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធប្រភពដាក់ ការជ្រើសរើសដំណើរការប្លាស្មា និងការផ្ទៀងផ្ទាត់ថ្នាំកូតគំរូ។ មានតែបន្ទាប់ពីលទ្ធផលនៃការថ្នាំកូតបំពេញតាមសូចនាករការអនុវត្តដែលត្រូវការប៉ុណ្ណោះ ទើបការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធឧបករណ៍ផលិតកម្មចុងក្រោយត្រូវបានកំណត់។
៩. ពី «អាចស្រោបបាន» ទៅ «ស្រោបស្មើៗគ្នា»
ភាពខុសគ្នាធំបំផុតរវាងប្រពៃណីសមាសធាតុ និងរចនាសម្ព័ន្ធសមាមាត្រខ្ពស់ គឺថាការអាចដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តមិនស្មើនឹងការសម្រេចបាននូវការគ្របដណ្តប់ថ្នាំកូតដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិគ្រប់គ្រាន់នោះទេ។
ចំពោះធរណីមាត្រសាមញ្ញ ឧបករណ៍ PVD ធម្មតាអាចផ្តល់លទ្ធផលគួរឲ្យពេញចិត្តរួចទៅហើយ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ចំពោះប្រហោងជ្រៅ ចង្អូរតូចចង្អៀត រន្ធខ្វាក់ និងរចនាសម្ព័ន្ធបីវិមាត្រស្មុគស្មាញ ការសម្របឧបករណ៍ត្រូវតែដោះស្រាយប្រព័ន្ធដាក់លោហៈទាំងមូល — ចាប់ពីការបង្កើតកន្លែងទំនេរ និងការរំញោចប្លាស្មា រហូតដល់ការរៀបចំប្រភព ចលនាស្រទាប់ខាងក្រោម ការគ្រប់គ្រងភាពលំអៀង ការរចនាគ្រឿងបរិក្ខារ និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ។
គោលបំណងមិនត្រឹមតែធ្វើឱ្យប្រភេទថ្នាំកូតទៅដល់សមាសធាតុប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងបង្កើតបរិយាកាសដាក់ស្រទាប់ថ្នាំកូតដែលអាចគ្រប់គ្រងបាន និងអាចធ្វើម្តងទៀតបាន ដែលផ្តល់នូវការគ្របដណ្តប់ជំហានគ្រប់គ្រាន់ កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋាន ភាពស្អិតជាប់មានស្ថេរភាព និងដំណើរការពីមួយបាច់ទៅមួយបាច់ដែលស៊ីសង្វាក់គ្នា។
ដោយហេតុផលនេះ ថ្នាំកូតសមាមាត្រខ្ពស់គួរតែត្រូវបានចាត់ទុកថាជាបញ្ហាវិស្វកម្មដំណើរការ និងឧបករណ៍កម្រិតប្រព័ន្ធ ជាជាងគ្រាន់តែជាបញ្ហានៃការជ្រើសរើសបន្ទប់បូមធូលីធំជាង ឬបង្កើនថាមពលដាក់ស្រទាប់។
១០. ម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua៖ ការសម្របឧបករណ៍ដោយផ្អែកលើតម្រូវការកម្មវិធី
សម្រាប់សមាសធាតុដែលមានសមាមាត្រទិដ្ឋភាពខ្ពស់ Zhenhua Vacuum អាចបង្កើតការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធឧបករណ៍ទៅតាមធរណីមាត្រជាក់ស្តែង និងតម្រូវការថ្នាំកូតនៃស្នាដៃ។ តាមរយៈការរចនាសម្របសម្រួលនៃរចនាសម្ព័ន្ធបន្ទប់បូមធូលី ប្រភពដាក់សម្ភារៈ ឧបករណ៍ស្រទាប់ខាងក្រោមភព ប្រព័ន្ធលំអៀងស្រទាប់ខាងក្រោម ការសម្អាតប្លាស្មា ការគ្រប់គ្រងលំហូរឧស្ម័ន និងការគ្រប់គ្រងដំណើរការដោយស្វ័យប្រវត្តិ ប្រព័ន្ធថ្នាំកូតអាចត្រូវបានសម្របទៅនឹងសមាសធាតុបីវិមាត្រស្មុគស្មាញ និងកម្មវិធីថ្នាំកូតដែលមានមុខងារខ្ពស់។
ដំណោះស្រាយឧបករណ៍ចុងក្រោយគួរតែត្រូវបានផ្ទៀងផ្ទាត់តាមរយៈគំរូជាក់ស្តែង និងទិន្នន័យដំណើរការ រួមទាំងការចែកចាយកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត ការគ្របដណ្តប់ជំហាន ភាពស្អិត ភាពរឹង រូបរាងផ្ទៃ លក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិក ឬអគ្គិសនី និងពេលវេលាវដ្តផលិតកម្ម។ វិធីសាស្រ្តដែលផ្តោតលើការអនុវត្តនេះអនុញ្ញាតឱ្យឧបករណ៍ថ្នាំកូតផ្លាស់ប្តូរពីការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធទូទៅទៅជាដំណោះស្រាយជាក់លាក់នៃដំណើរការដែលមានសមត្ថភាពគាំទ្រដល់ផលិតកម្មឧស្សាហកម្មដែលមានស្ថេរភាព។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលីម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ សីហា-០១-២០២៦