In mekhoa e tsoetseng pele ea ho roala ka vacuum, taolo e nepahetseng ea sebopeho sa filimi e tšesaane e bohlokoa ho fihlella thepa e lakatsehang ea optical, mechanical, le ea ts'ebetso. Ho fetola lipheo tse ngata, mokhoa o sebelisoang haholo ho PVD, magnetron sputtering, le litsamaiso tsa ho beha lintho ka thuso ea ion, ho bapala karolo ea bohlokoa moelelong ona ka ho nolofalletsa phetoho e matla ea phallo ea thepa le sebopeho nakong ea ho beha lintho. Bokhoni bona bo bohlokoa haholo bakeng sa liphahlo tse rarahaneng tsa multilayer, lifilimi tse nang le li-graded-index, kapa meaho e kopantsoeng moo stoichiometry le ho tšoana ho amang ts'ebetso ea filimi ka kotloloho.
Ho fetola dipheo tse ngata ho dumella tshebediso e latellanang kapa e ts'oanang ya dipheo tse fapaneng ntle le ho sitisa tshebetso ya ho beha, ho boloka maemo a plasma a tswelang pele ha ho ntse ho nolofalletsa taolo e nepahetseng ya dikarohano tsa elemental. Ka ho fetola maemo a matla, nako ya ho phunya, le ho pepesehela dipheo, basebetsi ba ka lokisa sebopeho sa lera le leng le le leng le behilweng hantle, ba netefatsa hore di-index tsa refractive, di-coefficients tsa ho fela, kapa conductivity ya motlakase di fihlela ditaelo tsa moralo. Ditshebetsong tsa ho phunya tse arabelang, ditlhophiso tsa dipheo tse ngata di thusa ho kenngwa ha dikarolo tsa tshepe le oxide ka nako e le nngwe ha ho ntse ho laolwa kgatello ya oksijene kapa naetrojene, ho fokotsa kotsi ya chefo ya dipheo kapa sebopeho sa mohato o sa batleheng.
Ho feta moo, ho fetola dipheo tse ngata ho ntlafatsa ho tenyetseha ha tshebetso le ho ikatisa hape. E fokotsa tlhoko ya ho kenya moya khafetsa ka kamoreng kapa ho nkela sepheo sebaka ka letsoho, ka hona e boloka maemo a tsitsitseng a vacuum le diparamente tse tsitsitseng tsa plasma. Botsitso bona bo bohlokwa bakeng sa ho fihlella sekgahla se tshwanang sa ho bewa, sebopeho se teteaneng sa filimi, le ho fokotseha ha sebopeho sa diphoso, tseo kaofela di leng bohlokwa bakeng sa ho kwahela ka mahlasedi a optical a sebetsang hantle, di-stack tse ngata tse thibelang ho bonesa kapa tse bontshang haholo, le difilimi tse tshesane tse sebetsang ka hara di-photonics kapa disebediswa tsa eneji.
Ho phaella moo, ho kopanya disebediswa tsa ho lekola tse kahare ho sebaka tse kang optical emission spectroscopy, quartz crystal microbalances (QCM), kapa plasma diagnostics ka multi-target switching e nolofalletsa taolo ya maikutlo a nako ya sebele ya sebopeho. Diphetoho di ka etswa ka matla ho lefella kgoholeho ya sepheo, diphetoho tsa tlhahiso ya sputtering, kapa diphetoho tse nyane kgatellong ya kamore le dikahare tsa kgase tse setseng, ho netefatsa stoichiometry e tsitsitseng ho pholletsa le di-substrate tse kgolo kapa ho atoloswa ha tlhahiso.
Ka bokhutšoanyane, ho fetola lipheo tse ngata ke mokhoa oa motheo oa taolo e nepahetseng ea sebopeho sa filimi e tšesaane mahlaleng a sejoale-joale a ho roala ka vacuum. Ka ho fana ka taolo e matla holim'a phallo ea thepa, ho boloka maemo a plasma a tsoelang pele, le ho kopanngoa le tlhahlobo e tsoetseng pele ea in-situ, e netefatsa hore lifilimi tse nang le mekhahlelo e mengata, tse kopantsoeng, kapa tse hlophisitsoeng li fihlela thepa ea tsona ea optical, ea motlakase le ea mechini e entsoeng. Bokhoni bona bo bohlokoa haholo bakeng sa liphahlo tse nepahetseng haholo tse sebelisoang ho optics, photonics, lisebelisoa tsa matla le lits'ebetsong tse ling tse tsoetseng pele tsa indasteri.
-Sengoloa sena se phatlalalitsoe kemoetsi oa lisebelisoa tsa ho roala ka vacuum Letsoho la Zhenhua
Nako ea poso: Hlakubele-19-2026