Ke Koʻikoʻi o ka Multi-Target Switching i ka Kaohi ʻana i ka Lahilahi Film Composition

In nā kaʻina hana uhi vacuum holomua, he mea nui ka kaohi pololei ʻana o ka haku mele ʻili lahilahi no ka hoʻokō ʻana i nā waiwai optical, mechanical, a me ka hana i makemake ʻia. ʻO ka hoʻololi ʻana i ka multi-target, kahi ʻenehana i hoʻohana nui ʻia ma PVD, magnetron sputtering, a me nā ʻōnaehana deposition ion-assisted, he kuleana koʻikoʻi ia ma kēia ʻano ma o ka hiki ʻana i ka hoʻoponopono dynamic o ka flux material a me ka haku mele i ka wā o ka deposition. He mea nui loa kēia hiki no nā uhi multilayer paʻakikī, nā kiʻiʻoniʻoni graded-index, a i ʻole nā ​​​​​​hale alloyed kahi e hoʻopilikia pololei ai ka stoichiometry a me ke ʻano like i ka hana kiʻiʻoniʻoni.

ʻO ka hoʻololi ʻana o ka multi-target e ʻae i ka hoʻohana ʻana i nā pahuhopu like ʻole me ka ʻole o ka hoʻopilikia ʻana i ke kaʻina hana deposition, e mālama ana i nā kūlana plasma hoʻomau me ka hiki ke hoʻomalu pololei i nā lakio elemental. Ma ka hoʻoponopono ʻana i nā pae mana, ka lōʻihi sputtering, a me ka hōʻike ʻana o ka pahuhopu, hiki i nā mea hana ke hoʻoponopono pono i ka haku mele ʻana o kēlā me kēia papa i waiho ʻia, e hōʻoia ana e kūlike nā ʻōkuhi refractive, nā coefficients extinction, a i ʻole ka conductivity uila i nā kikoʻī hoʻolālā. I nā kaʻina hana sputtering reactive, hoʻomaʻamaʻa nā hoʻonohonoho multi-target i ka hoʻohui like ʻana o nā ʻāpana metala a me ka oxide me ka hoʻomalu ʻana i nā kaomi hapa oxygen a nitrogen paha, e hoʻemi ana i ka pilikia o ka make ʻana o ka pahuhopu a i ʻole ka hoʻokumu ʻana o ka pae i makemake ʻole ʻia.

Eia kekahi, hoʻonui ka hoʻololi ʻana o ka multi-target i ka maʻalahi o ke kaʻina hana a me ka hana hou ʻana. Hoʻemi ia i ka pono no ka hoʻokuʻu pinepine ʻana i ke keʻena a i ʻole ka hoʻololi lima ʻana i ka pahuhopu, no laila e mālama ana i nā kūlana vacuum paʻa a me nā palena plasma kūlike. He mea nui kēia kūpaʻa no ka hoʻokō ʻana i nā helu hoʻokaʻawale like, ka microstructure kiʻiʻoniʻoni paʻa, a me ka hoʻemi ʻana i ka hoʻokumu ʻana o nā hemahema, ʻo ia mau mea āpau he mea koʻikoʻi no nā uhi optical hana kiʻekiʻe, nā stacks multilayer anti-reflective a i ʻole high-reflective, a me nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi hana i nā photonics a i ʻole nā ​​​​​​mea ikehu.

Eia kekahi, ʻo ka hoʻohui ʻana i nā mea hana nānā in-situ e like me ka optical emission spectroscopy, quartz crystal microbalances (QCM), a i ʻole nā ​​diagnostics plasma me ka hoʻololi multi-target e hiki ai ke kaohi i ka manaʻo hoʻihoʻi manawa maoli o ka haku mele. Hiki ke hana ʻia nā hoʻoponopono me ka dynamically e uku no ka erosion target, nā ʻokoʻa i ka sputtering yield, a i ʻole nā ​​​​​​fluctuations liʻiliʻi i ke kaomi o ke keʻena a me ka ʻike kinoea koena, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka stoichiometry kūlike ma nā substrates nui a i ʻole nā ​​​​​​holomua hana hoʻolōʻihi.

I ka hōʻuluʻulu manaʻo, ʻo ka hoʻololi ʻana i nā pahuhopu he mea nui ia e hiki ai ke hoʻokele pololei i ka hoʻonohonoho ʻana o nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi i nā ʻenehana uhi vacuum hou. Ma ka hāʻawi ʻana i ka mana hoʻokele ma luna o ke kahe ʻana o nā mea, ka mālama ʻana i nā kūlana plasma hoʻomau, a me ka hoʻohui ʻana me nā diagnostics in-situ holomua, hōʻoia ia e hoʻokō nā kiʻiʻoniʻoni multilayer, alloyed, a i ʻole graded i kā lākou mau waiwai optical, uila, a me ka mechanical i hoʻolālā ʻia. He mea nui kēia hiki no nā uhi kiʻekiʻe kiʻekiʻe i hoʻohana ʻia i nā optics, photonics, nā mea ikehu, a me nā noi ʻoihana holomua ʻē aʻe.

-Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala emea hana lako uhi vacuum ʻO Zhenhua Vacuum